GB/T 24577-2009熱解吸氣相色譜法測定硅片表面的有機污染物

犐犆犛２９．０４５

犎８０

中華人民共和國國家標準

犌犅／犜２４５７７—２００９

熱解吸氣相色譜法測定

硅片表面的有機污染物

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２００９１０３０發(fā)布２０１００６０１實施

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局

發(fā)布

中國國家標準化管理委員會

書

犌犅／犜２４５７７—２００９

前言

本標準修改采用ＳＥＭＩＭＦ１９８２１１０３《熱解吸附氣相色譜法評估硅片表面有機污染物的方法》。

本標準對ＳＥＭＩＭＦ１９８２１１０３格式進行了相應(yīng)調(diào)整。為了方便比較，在資料性附錄Ｂ中列出了本標準

章條和ＳＥＭＩＭＦ１９８２１１０３章條對照一覽表。并對ＳＥＭＩＭＦ１９８２１１０３條款的修改處用垂直單線標

識在它們所涉及的條款的頁邊空白處。

本標準與ＳＥＭＩＭＦ１３８９０７０４相比，主要技術(shù)差異如下：

———去掉了“目的”、“關(guān)鍵詞”；

———將實際測試得到的單一試驗室的精密度結(jié)果代替原標準中的精度和偏差部分，并將原標準中

的精度和偏差部分作為資料性附錄Ａ。

本標準的附錄Ａ、附錄Ｂ為資料性附錄。

本標準由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標準化技術(shù)委員會提出。

本標準由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標準化技術(shù)委員會材料分技術(shù)委員會歸口。

本標準起草單位：信息產(chǎn)業(yè)部專用材料質(zhì)量監(jiān)督檢驗中心、中國電子科技集團公司第四十六研

究所。

本標準主要起草人：王奕、褚連青、李靜。

Ⅰ

書

犌犅／犜２４５７７—２００９

熱解吸氣相色譜法測定

硅片表面的有機污染物

１范圍

１．１本標準規(guī)定了硅片表面的有機污染物的定性和定量方法，采用氣質(zhì)聯(lián)用儀或磷選擇檢測器或者兩

者同時采用。

１．２本標準描述了熱解吸氣相色譜儀（ＴＤＧＣ）以及有關(guān)樣品制備和分析的相關(guān)程序。

１．３本標準的檢測限范圍取決于被檢測的有機化合物，比如碳氫化合物（Ｃ８～Ｃ２８）的檢測范圍就是

１０－１２ｇ／ｃｍ２～１０－９ｇ／ｃｍ２。

１．４本標準適用于硅拋光片和有氧化層的硅片。

１．５本標準中包含了兩種方法。方法Ａ適用于切割后的硅片，方法Ｂ則適用于完整的硅片。兩種方

法的不同點在第７部分中有詳細描述。

２規(guī)范性引用文件

下列文件中的條款通過本標準的引用而成為本標準的條款。凡是注日期的引用文件，其隨后所有

的修改單（不包括勘誤的內(nèi)容）或修訂版均不適用于本標準，然而，鼓勵根據(jù)本標準達成協(xié)議的各方研究

是否可使用這些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本適用于本標準。

ＡＳＴＭＤ６１９６吸附劑的選擇和取樣／熱解吸分析程序檢測空氣中的揮發(fā)性有機物

３術(shù)語、定義和縮略語

下列術(shù)語和定義及縮略語適用于本標準。

３．１術(shù)語和定義

３．１．１

空白晶片犫犾犪狀犽狑犪犳犲狉

一片經(jīng)過熱處理但未吸收任何有機污染物的硅片。

３．２縮略語

ＡＥＤ———ａｔｏｍｉｃｅｍｉｓｓｉｏｎｄｅｔｅｃｔｏｒ原子發(fā)射檢測器

Ｃ１６———ｎｈｅｘａｄｅｃａｎｅ，ｎＣ１６Ｈ３４正十六烷

ＦＩＤ———ｆｌａｍｅｉｏｎｉｚａｔｉｏｎｄｅｔｅｃｔｏｒ火焰離子化檢測器

ＦＰＤ———ｆｌａｍｅｐｈｏｔｏｍｅｔｒｉｃｄｅｔｅｃｔｏｒ火焰光度檢測器

ＧＣ———ｇａｓｃｈｒｏｍａｔｏｇｒａｐｈｙ氣相色譜

ＭＳ———ｍａｓｓｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｅｒ質(zhì)譜

ＮＰＤ———ｎｉｔｒｏｇｅｎ／ｐｈｏｓｐｈｏｒｕｓｔｈｅｒｍｉｏｎｉｃｉｏｎｉｚａｔｉｏｎｄｅｔｅｃｔｏｒ氮磷檢測器