腐蝕工種資質(zhì)培訓(xùn)教材

硅料表面處理培訓(xùn)2010年1月報(bào)告人：史海輝1

第一部分、基本介紹1.表面處理車間在公司生產(chǎn)中的作用2.硅料簡(jiǎn)介3.相關(guān)化學(xué)品安全知識(shí)第二部分、各段工藝簡(jiǎn)介1.硅料部酸洗操作規(guī)范

2.硅料部硅料浸泡操作規(guī)范

3.硅料部堿洗操作規(guī)范

4.硅料部超聲清洗操作規(guī)范

5.硅料部硅料脫水操作規(guī)范

6.方棒化學(xué)拋光操作規(guī)范

主要內(nèi)容21.表面處理車間在公司生產(chǎn)中的作用?

答：硅料經(jīng)過(guò)腐蝕后，可以把硅料上的金屬離子、氧化物及其他無(wú)機(jī)物質(zhì)和有機(jī)物質(zhì)清洗干凈，保證硅料在下一到工序中不受到其自身雜質(zhì)的污染，從而提高硅料回收利用率。第一部分、基本介紹3硅：是一種化學(xué)元素，它的化學(xué)符號(hào)是Si，舊稱矽（xi）。原子序數(shù)14，相對(duì)原子質(zhì)量28.09，同素異型體有無(wú)定形硅和結(jié)晶硅。屬于元素周期表上ⅣA族的類金屬元素。硅在自然界分布極廣，地殼中約含27.6%。

晶體硅為鋼灰色，無(wú)定形硅為黑色，密度2.4g/cm3，熔點(diǎn)1420℃，沸點(diǎn)2355℃，晶體硅屬于原子晶體，硬而有光澤，有半導(dǎo)體性質(zhì)。在高溫下能與氧氣等多種元素化合，不溶于水，硝酸和鹽酸，溶于氫氟酸和堿液。在常溫下，化學(xué)性質(zhì)非常穩(wěn)定，除氟化氫以外，很難與其他物質(zhì)發(fā)生反應(yīng)。2.硅料簡(jiǎn)介多晶硅：多晶硅為灰色有金屬光澤。密度2.32~2.34。熔點(diǎn)1410℃。沸點(diǎn)2355℃。溶于氫氟酸的混酸中，不溶于水、硝酸和鹽酸。硬度介于鍺和石英之間，室溫下質(zhì)脆，切割是易碎裂。加熱至800℃以上既有延性，1300℃時(shí)顯出明顯變形。高溫下與氧、氮、硫等反應(yīng)。高溫熔融狀態(tài)下，具有較大的化學(xué)活潑性，能與幾乎任何材料作用。具有半導(dǎo)體性質(zhì)，是極為重要的優(yōu)良半導(dǎo)體材料，但微量的雜質(zhì)即可大大影響其導(dǎo)電性。2.1硅基本特性4單晶硅：是硅的單晶體。是一種良好的半導(dǎo)材料。純度要求達(dá)到99.9999%，甚至達(dá)到99.9999999%以上。用于制造半導(dǎo)體器件、太陽(yáng)能電池等。單晶硅可用高純度的多晶硅在單晶爐內(nèi)拉制而成。單晶硅具有準(zhǔn)金屬的物理性質(zhì)，有較弱的導(dǎo)電體。在超純單晶硅中摻入微量的IIIA族元素，如硼可提高其導(dǎo)電的程度，而形成P型硅半導(dǎo)體；如摻入微量的VA族元素，如磷或砷也可提高導(dǎo)電程度，形成N型硅半導(dǎo)體。2.2半導(dǎo)體基本概念及性質(zhì)半導(dǎo)體阻態(tài)：半導(dǎo)體分為高阻態(tài)、低阻態(tài)。在電阻非常高的狀態(tài)通?？醋麟娮锜o(wú)限大，這種狀態(tài)稱為高阻態(tài)；相反我們稱之為低阻態(tài)，它的電阻接近零。通過(guò)檢測(cè)，呈現(xiàn)高阻態(tài)的半導(dǎo)體材料，我們稱為高阻材料，簡(jiǎn)稱高阻，同一半導(dǎo)體材料，部分呈現(xiàn)高阻態(tài)，部分呈現(xiàn)低阻態(tài)（重?fù)剑?，我們稱之為局部重?fù)?。重?fù)剑涸诎雽?dǎo)體中，加入導(dǎo)電元素后的材料，以加入的比例不同分為輕摻雜、中摻雜和重?fù)诫s。5空穴：是自由電子跑掉后留在原地的正電荷，空穴的移動(dòng)其本質(zhì)是自由電子的移動(dòng)，只是一種等效的概念，實(shí)際是不存在的。半導(dǎo)體的極性（導(dǎo)電類型）：在半導(dǎo)體硅晶體中摻入三價(jià)元素雜質(zhì)可構(gòu)成缺殼粒的P型半導(dǎo)體，摻入五價(jià)元素雜質(zhì)可構(gòu)成多余殼粒的N型半導(dǎo)體。兩種半導(dǎo)體接觸在一起的點(diǎn)或面構(gòu)成PN結(jié)，這種半導(dǎo)體我們成為P/N混合型半導(dǎo)體材料。半導(dǎo)體極性分為：P型、N型、P/N混合型。

P型半導(dǎo)體中空穴導(dǎo)電，空穴帶正（Positive）電荷；

N型半導(dǎo)體中電子導(dǎo)電，電子帶負(fù)（Negative）電荷。6頭尾料分類頭尾料原料中，通常含有雜質(zhì)，如：小料、臟料、碎粉、垃圾等，除去上述硅料我們對(duì)頭尾料進(jìn)行如下分類：來(lái)源——自產(chǎn)料、外買料阻態(tài)——高阻、重?fù)健⒕植恐負(fù)缴a(chǎn)來(lái)料——邊皮料、頭尾料、頭尾片、碎晶棒、吊肩料等極性——P型、N型、P/N混合型頭尾料分類介紹邊皮料：切方過(guò)程中產(chǎn)生的廢硅料。頭尾料：切斷過(guò)程中產(chǎn)生的廢硅料。頭尾片：切片過(guò)程中產(chǎn)生的廢硅料。頭尾料：切斷過(guò)程中產(chǎn)生的廢硅料。碎晶棒：報(bào)廢的單晶硅棒敲碎的硅料。吊肩料：拉晶過(guò)程中，未充分融化而報(bào)廢的硅料臟料：含有石英，石墨等雜物的硅料小料：直徑小于10mm的碎硅片碎粉：直徑小于3mm的硅料2.3回收硅料介紹頭尾料：在拉晶、切斷及切方過(guò)程中，產(chǎn)生的不合格硅料。定義7可循環(huán)使用作為單晶生產(chǎn)原料。這種硅料多含有石英、石墨、石墨雜質(zhì)，直徑小于10mm的堝底料稱為堝底小料或堝底料顆粒。按硅料來(lái)源、阻態(tài)、極性對(duì)堝底料進(jìn)行如下分類：阻態(tài)：高阻、重?fù)?、局部重?fù)綐O性：P型、N型、P/N混合型堝底料：在單晶硅棒（拉晶）生產(chǎn)過(guò)程中，在拉晶的內(nèi)壁表面、單晶爐石英坩堝表面附著、殘留的硅料，稱為堝底料，定義多晶硅料介紹1.多晶硅分類生產(chǎn)工藝來(lái)料：多晶邊體料、多晶底料、多晶頂料、多晶硅塊等。半導(dǎo)體阻態(tài)：高阻、重?fù)?、局部重?fù)?。極性：P型N型2.多晶硅料分類介紹多晶邊體料：硅錠周圍切下的硅料多晶頂料：硅塊頂部自上往下被切5mm的硅料塊狀多晶硅：直徑大余10mm的多晶硅料多晶硅顆粒：直徑小于10mm，大于3mm的多晶硅料多晶硅碎粉：直徑小于3mm的多晶硅料83.相關(guān)化學(xué)品安全知識(shí)氫氟酸：對(duì)皮膚有強(qiáng)烈的腐蝕作用。灼傷初期皮膚潮紅、干燥。創(chuàng)面蒼白，壞死，繼而呈紫黑色或灰黑色。深部灼傷或處理不當(dāng)時(shí)，可形成難以愈合的深潰瘍，損及骨膜和骨質(zhì)。本品灼傷疼痛劇烈。眼接觸高濃度本品可引起角膜穿孔。接觸其蒸氣，可發(fā)生支氣管炎、肺炎等。慢性影響：眼和上呼吸道刺激癥狀，或有鼻衄，嗅覺(jué)減退?？捎醒例X酸蝕癥。骨骼Ｘ線異常與工業(yè)性氟病少見(jiàn)。硝酸：其蒸氣有刺激作用，引起眼和上呼吸道刺激癥狀，如流淚、咽喉刺激感、嗆咳，并伴有頭痛、頭暈、胸悶等?？诜鸶共縿⊥?，嚴(yán)重者可有胃穿孔、腹膜炎、喉痙攣、腎損害、休克以及窒息。皮膚接觸引起灼傷。慢性影響：長(zhǎng)期接觸可引起牙齒酸蝕癥。

丙酮：急性中毒主要表現(xiàn)為對(duì)中樞神經(jīng)系統(tǒng)的麻醉作用，出現(xiàn)乏力、惡心、頭痛、頭暈、易激動(dòng)。重者發(fā)生嘔吐、氣急、痙攣，甚至昏迷。對(duì)眼、鼻、喉有刺激性?？诜螅扔锌诖?、咽喉有燒灼感，后出現(xiàn)口干、嘔吐、昏迷、酸中毒和酮癥。慢性影響：長(zhǎng)期接觸該品出現(xiàn)眩暈、灼燒感、咽炎、支氣管炎、乏力、易激動(dòng)等。皮膚長(zhǎng)期反復(fù)接觸可致皮炎。

9乙醇：為中樞神經(jīng)系統(tǒng)抑制劑。首先引起興奮，隨后抑制。急性中毒：急性中毒多發(fā)生于口服。一般可分為興奮、催眠、麻醉、窒息四階段。患者進(jìn)入第三或第四階段，出現(xiàn)意識(shí)喪失、瞳孔擴(kuò)大、呼吸不規(guī)律、休克、心力循環(huán)衰竭及呼吸停止。慢性影響：在生產(chǎn)中長(zhǎng)期接觸高濃度本品可引起鼻、眼、粘膜刺激癥狀，以及頭痛、頭暈、疲乏、易激動(dòng)、震顫、惡心等。長(zhǎng)期酗灑可引起多發(fā)性神經(jīng)病、慢性胃炎、脂肪肝、肝硬化、心肌損害及器質(zhì)性精神病等。皮膚長(zhǎng)期接觸可引起干燥、脫屑、皸裂和皮炎。

冰醋酸：對(duì)眼睛健康的影響－有強(qiáng)烈的刺激作用。液體或氣體會(huì)使視力嚴(yán)重?fù)p傷或?qū)е乱暳适?。含量?0%以上的水溶液會(huì)引起嚴(yán)重的結(jié)膜刺激和角膜損傷,對(duì)皮膚健康的影響－會(huì)對(duì)皮膚造成嚴(yán)重的化學(xué)燒傷。誤吞后對(duì)健康的影響－吞咽后可能會(huì)有如下后果:腐蝕口腔,喉嚨和消化道。吸入后對(duì)健康的影響－當(dāng)口腔中含量達(dá)到15ppm時(shí)可能有下面一些危害:鼻子,喉嚨和呼吸道受到刺激.含量升高會(huì)有如下危害:嚴(yán)重刺激鼻子,喉嚨和呼吸道。氫氧化鈉：有強(qiáng)烈刺激和腐蝕性。粉塵刺激眼和呼吸道，腐蝕鼻中隔；直接接觸皮膚和眼睛可引起灼傷；誤服可造成消化道灼傷，粘膜糜爛、出血和休克。

10第二部分、各段工藝簡(jiǎn)介YNOYNO回收料檢驗(yàn)脫水酸洗入庫(kù)超聲清洗包裝堿洗浸泡入庫(kù)組料復(fù)洗多晶硅退庫(kù)超聲清洗分選硅料表面處理車間工藝流程圖111.硅料部酸洗操作規(guī)范

工藝流程酸洗配置溶液裝料作業(yè)前準(zhǔn)備過(guò)水沖洗裝料、稱重作業(yè)前準(zhǔn)備：1.按照表面處理車間的規(guī)定穿防酸服、戴防酸手套和防酸面罩、口罩等必要?jiǎng)诒Ｓ闷罚?.工具：量杯、棒、酸洗槽、酸洗花籃、百潔布、錘子、制程標(biāo)識(shí)卡；3.化學(xué)品：電子級(jí)氫氟酸、電子級(jí)硝酸、洗衣粉、丙酮、酒精；4.按要求檢查是否有安全隱患存在（手套是否完好，通風(fēng)設(shè)備處于開(kāi)啟的狀態(tài)，酸洗槽、量杯無(wú)泄漏，風(fēng)機(jī)吸風(fēng)量是否正常），確認(rèn)無(wú)誤后方能開(kāi)始操作；12⑴、將片狀硅料碎料，碎硅片不能有超過(guò)整片1/4（防止疊片，影響酸洗效果）；⑵、用刀片劃開(kāi)塊狀原生硅包裝袋，觀察是否存在體積過(guò)大不便酸洗的原生硅，使用榔頭將其砸碎；⑶、將同一批次的大料與小料分開(kāi)裝入Φ30×16.5H(mm)聚丙烯花籃；⑷、裝料時(shí)，大料不能超過(guò)花籃體積的2/3、片料、小料不能超過(guò)花籃體積的1/3；⑸、大料的碎粉和顆粒硅料必須用細(xì)眼花籃裝料，避免硅料的流失；⑹、邊皮料使用500L×360W×270H（mm）的專用花籃裝料，裝料量不得超過(guò)花籃體積的1/3；⑺、將有裂紋的塊狀料挑出，戴上護(hù)具（面罩、雙層勞保手套）從裂紋處敲碎，以防酸漬殘留裂縫；裝料：13根據(jù)不同硅料、季節(jié)、溫度的變化調(diào)節(jié)腐蝕液的配比（具體如下），用5000毫升的塑料量杯量取酸液，倒入580L×390W×230H（mm）的酸洗槽，混酸倒入不宜過(guò)多（不超過(guò)45升，邊皮料不超過(guò)40升），以防酸液洗硅料時(shí)溢出。并將混酸攪拌均勻，準(zhǔn)備酸洗硅料。A、塊狀料：HF（電子級(jí)氫氟酸）:HNO3（電子級(jí)硝酸）=1:3～1:10（體積比）推薦比例（夏天1：8春秋天1：6冬天1：4）邊皮料推薦比例：（夏天1：10春秋天1：8冬天1：6）B、片狀料（IC級(jí)碎硅片，循環(huán)利用單晶、多晶氧碳含量測(cè)試片）、小料（粒徑5mm至10mm）：HF（電子級(jí)氫氟酸）:HNO3（電子級(jí)硝酸）=1:10～1:20（體積比）推薦比例（夏天1：18春秋天1：15冬天1：10）C、碎粉（粒徑小于5mm）：采用浸泡工藝HF（電子級(jí)氫氟酸）浸泡12-24小時(shí)D、籽晶（拋光過(guò)）：HF（電子級(jí)氫氟酸）:HNO3（電子級(jí)硝酸）=1:4～1:10（體積比）E、外觀無(wú)雜質(zhì)干凈自產(chǎn)單、多晶碎硅片：HF（電子級(jí)氫氟酸）：H2O（電子級(jí)高純水）=1：2～1：4（體積比）配制溶液：

14將裝有硅料的花籃迅速放入酸洗槽中，動(dòng)作不宜過(guò)大以防酸液濺出；在酸洗硅料過(guò)程中，操作人員使用Φ22（mm）聚四氟乙烯棒（PTFE）或PP棒，攪動(dòng)硅料，塊狀料以翻動(dòng)為宜，片料則須均勻攪動(dòng)，增加表面腐蝕的均勻性，防止粘連，達(dá)不到腐蝕效果；根據(jù)硅料的大小、環(huán)境溫度控制酸洗時(shí)間在20—90秒鐘，（隨酸液溫度降低和升高適當(dāng)作增加和減少調(diào)整，酸洗操作人員必須學(xué)會(huì)觀察以便掌控合適酸洗時(shí)間，外表面含有較多雜質(zhì)的特采硅料可適當(dāng)延長(zhǎng)酸洗時(shí)間）；根據(jù)不同的硅料，操作人員必須學(xué)會(huì)觀察以便掌控硅料合適的腐蝕程度，以硅料表面光亮為準(zhǔn)，避免造成過(guò)度腐蝕，增加硅料損耗隨著酸洗硅料數(shù)量的增加，酸液的腐蝕硅料性能逐漸下降，操作者應(yīng)根據(jù)硅料與酸的實(shí)際情況（硅料酸洗60秒鐘以上，表面仍不光亮），決定是否添加HF(電子級(jí)氫氟酸)，或?qū)⑺嵋簣?bào)廢回收，更換新酸（添加三次新氫氟酸之后）；保持酸液潔凈不允許有雜物，一批硅料酸洗完成后，及時(shí)清理酸液中的碎粉；酸洗：

15沖洗槽準(zhǔn)備好干凈而且流動(dòng)的高純水，水流量保持適中；酸洗完成后，迅速將花籃從酸液中提出，并立刻浸入沖洗槽內(nèi)，（花籃從腐蝕槽移至清洗槽的時(shí)間越短越好，一般應(yīng)控制在2秒以內(nèi)）不停轉(zhuǎn)動(dòng)和晃動(dòng)花籃，不斷沖洗，清除殘留酸液；同時(shí)觀察硅料表面是否光亮，有無(wú)水跡斑痕等，一旦發(fā)現(xiàn)個(gè)別硅料有上述現(xiàn)象則須挑出重新酸洗；沖洗：通常直接酸洗的物料：A、原生多晶硅（碳頭料除外）；B、單晶循環(huán)料：?jiǎn)尉ь^尾料（不包括頭尾片）、單晶硅棒、單晶樣片、邊皮料、單晶吊肩料、外觀無(wú)雜質(zhì)干凈自產(chǎn)單晶碎硅片（硅片分選工藝產(chǎn)生廢料）；C、多晶循環(huán)料：多晶頂料、多晶中料（不包括頭尾片）、多晶邊體料、多晶樣片、多晶頂皮料、外觀無(wú)雜質(zhì)干凈自產(chǎn)多晶碎硅片（硅片分選工藝產(chǎn)生廢料）；D、混合料：觀察混合各個(gè)組分是否滿足直接酸洗的條件；16將過(guò)完水的硅料裝入紗網(wǎng)，稱重，再超聲清洗；裝料、稱重

：過(guò)水：⑴、打開(kāi)排水閥、進(jìn)水閥，準(zhǔn)備好流動(dòng)的高純水；⑵、將花籃過(guò)兩道三級(jí)溢流水槽，六個(gè)水槽依次過(guò)水，確保高純水浸沒(méi)硅料處于；⑶、過(guò)水過(guò)程中，操作人員需要仔細(xì)檢查硅料表面是否有污漬，表面有藍(lán)霧、白霧，或有酸氧化，出現(xiàn)上述情況，須將硅料挑出重新酸洗；⑷、將硅料過(guò)傳遞窗水槽；⑸、硅料不宜停留在水中過(guò)長(zhǎng)時(shí)間；172.硅料部硅料浸泡操作規(guī)范

出料浸泡裝料準(zhǔn)備工作過(guò)水沖洗工藝流程準(zhǔn)備工作：按規(guī)定穿好防酸服、耐酸堿膠靴（必要時(shí)鞋內(nèi)再穿一雙一次性鞋套以防膠鞋漏水）、系好防酸圍裙、戴好防護(hù)面罩和防毒面罩；并戴四雙手套：從里到外分別為一次性手套、妙潔手套、防酸手套和塑料手套；檢查浸泡池是否完好，有無(wú)漏酸、漏水現(xiàn)象，并對(duì)浸泡池進(jìn)行清洗以確保浸泡池的潔凈，確保浸泡作業(yè)前浸泡池一定要清潔，無(wú)雜質(zhì)、垃圾；將浸泡柜通風(fēng)閥門打開(kāi)，開(kāi)啟室外浸泡間風(fēng)機(jī)，調(diào)解變頻器，將吸風(fēng)量調(diào)大，確保室內(nèi)透風(fēng)量充足（浸泡車間內(nèi)氟化氫氣體濃度低于環(huán)保限值），防止由于通風(fēng)不暢而從浸泡池內(nèi)溢出的酸霧在空氣中無(wú)法散出導(dǎo)致作業(yè)員中毒；18對(duì)領(lǐng)來(lái)的硅料確認(rèn)品名、批號(hào)、重量等是否與物料卡相符；將待浸泡的硅料裝入浸泡花籃，放入浸泡花籃的硅片不得有超過(guò)1/4的整片大小，防止硅片疊合而影響浸泡效果；

裝料：

打開(kāi)浸泡柜移門、浸泡槽蓋板，將載有硅料的花籃放入浸泡槽；擰開(kāi)酸桶蓋，將酸液桶傾斜，酸液均勻流出，流入浸泡槽中，倒入的酸液需蓋過(guò)浸泡花籃中的硅料，酸液蓋過(guò)硅料高度3-4厘米為佳，用蓋板將浸泡槽蓋嚴(yán)實(shí)、防止泄漏關(guān)閉，浸泡槽移門，調(diào)解變頻器，減少風(fēng)機(jī)吸風(fēng)量，防止酸液揮發(fā)過(guò)快；作好相應(yīng)浸泡記錄：要求品名、物料批號(hào)、重量、浸泡時(shí)間、浸泡池編號(hào)、所用酸（酸名和次數(shù)）等準(zhǔn)確無(wú)誤；浸泡：19按照各種硅料的自身特點(diǎn)或操作工藝要求進(jìn)行浸泡作業(yè)。各種硅料的浸泡工藝要求具體參見(jiàn)下表注：對(duì)于外觀無(wú)雜質(zhì)的干凈自產(chǎn)多晶碎硅片、自產(chǎn)單晶碎硅片、拋光片、樣片、頭尾片無(wú)須浸泡可直接堿洗。浸泡過(guò)程動(dòng)作不宜過(guò)大，以防酸液濺出灼傷；泡堝底料酸液使用四次后必須報(bào)廢，泡碎硅片、碎料的酸液可以使用4-6次；硅料類型浸泡液浸泡時(shí)間（供參考）原片、拋光片、自產(chǎn)碎硅片、頭尾片、多晶碎料（多晶混合料）工業(yè)氫氟酸（含量≧55%）浸泡時(shí)間根據(jù)酸液使用次數(shù)、附著的厚度為12-24小時(shí)不等堝底料、堝底小料工業(yè)氫氟酸（含量≧55%）浸泡時(shí)間根據(jù)酸液使用次數(shù)、附著石英的厚度為24-48小時(shí)不等20打開(kāi)浸泡槽蓋板，撈出少許硅料使用自來(lái)水沖洗、仔細(xì)檢查檢查硅料表面石英、表面沾污是否已被去除干凈。若達(dá)不到要求，則延長(zhǎng)浸泡時(shí)間，并根據(jù)實(shí)際情況決定是否添加新酸；出料：過(guò)水沖洗：擰開(kāi)沖洗槽自來(lái)水閥門（開(kāi)啟角度小于60°），將完成浸泡的硅料放入沖洗槽，自來(lái)水不斷沖洗硅料，不時(shí)攪動(dòng)、翻動(dòng)硅料。并觀察硅料是否浸泡到位（表面光亮、無(wú)石英）。沖洗時(shí)間1-4分鐘，使用試紙測(cè)試水質(zhì)pH=7；213.硅料部堿洗操作規(guī)范

作業(yè)前準(zhǔn)備過(guò)水、沖洗堿洗去層配置溶液超聲酸浸泡超聲去殘堿工藝流程按照表面處理車間的規(guī)定穿防酸堿服、戴防酸堿手套和防酸面罩等必要?jiǎng)诒Ｓ闷?；化學(xué)品：工業(yè)用氫氧化鈉；工具：長(zhǎng)柄漏勺、短柄漏勺、泡酸槽、pH試紙、電子秤、周轉(zhuǎn)箱、標(biāo)識(shí)卡；仔細(xì)檢查堿堝、漏勺、紗網(wǎng)等輔料是否有生銹、損壞；將未使用堿洗工位的通風(fēng)閥關(guān)閉，以增加通風(fēng)量（建議堿洗時(shí)只用一個(gè)工位）；按要求檢查是否有安全隱患存在（水、通風(fēng)設(shè)備），確認(rèn)無(wú)誤后方能開(kāi)始；作業(yè)準(zhǔn)備

：22稱取12-15公斤硅料投入堿堝內(nèi)，并使用長(zhǎng)柄漏勺將硅料攤平；使用電子秤稱取片堿用量，投入堿鍋中，擰開(kāi)閥門加入自來(lái)水，根據(jù)硅片臟污程度，確定腐蝕液的配比濃度（重量）（所配制堿液的容量不得超過(guò)堿堝容積的70%）；通常堿腐蝕液的配比度為：自產(chǎn)碎硅片堿的濃度為20%～30%；（1公斤片堿堿洗硅料3-5公斤）IC級(jí)碎硅片（做母合金用）堿的濃度為60%～80%；（1公斤片堿堿洗硅料3-5公斤）配置溶液：23使用漏勺均勻攪拌硅料，堿洗過(guò)程中要使硅料均勻反應(yīng)防止粘連；根據(jù)不同的硅料的、堿液濃度控制堿洗時(shí)間，通常自產(chǎn)碎硅片堿洗時(shí)間在1－4分鐘（以表面光亮無(wú)雜質(zhì)為準(zhǔn)）、IC級(jí)碎硅片堿洗時(shí)間，在沸騰的堿液中堿洗150-160秒（即堿液沸騰之后，再堿洗150-160秒；并不是僅僅只堿洗150-160秒）；反應(yīng)隨堿液濃度降低和升高適當(dāng)作增加和減少調(diào)整，堿洗操作人員必須學(xué)會(huì)觀察以便掌控合適堿洗時(shí)間，以便掌控硅料合適的腐蝕程度，避免造成過(guò)度腐蝕，增加硅料損耗；堿洗過(guò)程中適時(shí)加水，防止堿液暴沸、干鍋現(xiàn)象發(fā)生；用短柄漏勺撈起硅料、用水沖洗后看硅料表面是否光亮無(wú)雜質(zhì)（如表面仍有沾污，則延長(zhǎng)堿洗時(shí)間）；使用漏勺將硅料撈出、裝入紗網(wǎng)；打開(kāi)堿堝閥門、將堿液排放，并將堿堝底部的硅料撈出、裝入紗網(wǎng)；堿洗去層：

24單槽沖洗槽準(zhǔn)備好干凈流動(dòng)的自來(lái)水，水的流量適中（自來(lái)水閥開(kāi)啟角度小于60°）；將完成堿洗的硅料投入紗網(wǎng)，硅料在沖洗槽中，沖洗1－2分鐘，并攪動(dòng)、翻動(dòng)硅料以達(dá)到除去殘堿的目的；將硅料依次過(guò)兩個(gè)三槽溢流水，過(guò)水過(guò)程中上下抖動(dòng)紗網(wǎng)，使硅料充分潤(rùn)濕，過(guò)最后一個(gè)溢流槽（超聲前一個(gè)溢流槽）水質(zhì)不能渾濁，用試紙測(cè)試pH值小于9；

過(guò)水、沖洗：25將過(guò)完水的硅料在清洗槽中清洗干凈殘堿后進(jìn)行超聲；超聲波機(jī)中硅料堆放厚度不超過(guò)8厘米，頭尾片、樣片重量不得超過(guò)30公斤，碎硅片重量不得超過(guò)20公斤；詳細(xì)參見(jiàn)硅料部超聲清洗點(diǎn)檢規(guī)范、硅料部超聲清洗操作規(guī)范；超聲去殘堿：物料名稱超聲時(shí)間（分鐘）換水次數(shù)碎硅片厚度小于250μm302頭尾片、樣片151碎硅片（IC級(jí)）202頭尾料、邊皮料（經(jīng)過(guò)堿洗）50注意：換水時(shí)間不計(jì)算在超聲時(shí)間之內(nèi)，經(jīng)過(guò)堿洗的所有硅料都須超聲；完成堿洗作業(yè)后，用pH計(jì)測(cè)試超聲波槽內(nèi)水的pH值小于7.5；超聲時(shí)間表：26將超聲波內(nèi)臟水放盡，用高純水漂洗硅片后過(guò)酸液；厚度小于250μm的碎硅片使用氫氟酸浸泡：在稀酸浸泡槽中稀釋2-3倍的的氫氟酸（電子級(jí)氫氟酸）溶液（使用高純水稀釋），將硅片放入浸泡槽內(nèi)浸泡1-2分鐘，并攪拌硅片避免疊片。IC級(jí)單晶碎硅片、多晶樣片、單晶樣片、頭尾片使用HF（電子級(jí)氫氟酸）：HNO3（電子級(jí)氫氟酸）=1：15－20（體積比）的混酸進(jìn)行酸泡30-40秒。注意：氫氟酸中一旦漂浮白色硅膠生成物或氫氟酸pH值大于4（試紙測(cè)試），立即更換氫氟酸詳細(xì)參見(jiàn)硅料部酸洗操作規(guī)范；酸浸泡：274.硅料部超聲清洗操作規(guī)范

工藝流程水質(zhì)檢驗(yàn)N準(zhǔn)備工作取料、漂洗硅料脫水設(shè)備維修設(shè)備點(diǎn)檢清潔、加水超聲清洗加水、放水NYY準(zhǔn)備工作：作業(yè)人員在作業(yè)前需按規(guī)定穿好潔凈服、耐酸堿膠鞋、戴好防水圍裙、PVC家用手套和口罩；檢查純水總閥門（粗管）開(kāi)啟角度是否在50°～60°；檢查純水回水閥門（細(xì)管）是否保持開(kāi)啟的狀態(tài)（禁止關(guān)閉）；28參照硅料部超聲設(shè)備點(diǎn)檢規(guī)范，點(diǎn)檢超聲波清洗設(shè)備。一旦超聲波清洗機(jī)出現(xiàn)故障、或超聲功率衰減，應(yīng)立即停止使用該機(jī)器并做設(shè)備已壞標(biāo)識(shí)；設(shè)備點(diǎn)檢：清洗槽清潔、加水：

將超聲波清洗槽內(nèi)清洗過(guò)后的水排盡、殘留的碎硅料打掃干凈后，方可進(jìn)行加水超聲作業(yè)。加入水的量至超聲波溢流口，超聲波清洗機(jī)所使用的水必須是電阻率在15.3MΩ·cm（電導(dǎo)率0.065μs/cm）以上的高純水(Ⅱ級(jí)電子級(jí)水)，禁止用自來(lái)水或淡水替代超洗；29各種硅料超聲時(shí)間表硅料品名超聲時(shí)間（分鐘）換水次數(shù)IC級(jí)碎硅片（母合金）303（多晶、單晶）自產(chǎn)碎硅片607堝底料202堝底料小料（粒徑5mm至10mm）303顆粒碎硅棒（粒徑大于5mm）403顆粒碎硅棒（粒徑3-5mm）405碎粉（粒徑1-3mm）606（多晶、單晶）樣片/（多晶、單晶）頭尾片202邊皮料151多晶循環(huán)料（頂料、中料、底料、邊體料）151多晶循環(huán)料（碎料、混合料）202多晶硅/塊狀多晶硅（大塊）202多晶硅（小料）30330將硅料投入清洗槽中，并把硅料攤平，確定高純水完全覆蓋硅料后，擰開(kāi)“啟動(dòng)開(kāi)關(guān)”開(kāi)始超聲清洗。每隔4分鐘將硅料全部翻動(dòng)或攪拌一次。超聲清洗6-10分鐘，待設(shè)定時(shí)間到后清洗機(jī)自動(dòng)停機(jī)，擰開(kāi)排水閥、溢流閥將槽內(nèi)已用過(guò)的清洗水排放盡；擰開(kāi)進(jìn)水閥門重新加入高純水，至蓋過(guò)硅料2-3厘米的位置。再次進(jìn)行超聲清洗。每隔3分鐘翻動(dòng)硅料一次。6-10分鐘以后，待設(shè)定時(shí)間到后清洗機(jī)自動(dòng)停機(jī)，擰開(kāi)排水閥、溢流閥將槽內(nèi)已用過(guò)的清洗水排放盡；重復(fù)步驟2直至硅料超聲清洗次數(shù)達(dá)到規(guī)定要求；（按照硅料超聲時(shí)間表操作）注：換水時(shí)間不計(jì)算在超聲時(shí)間之內(nèi)，每次換水作業(yè)前必須先停機(jī)，再放水。清洗槽數(shù)與換水次數(shù)之間關(guān)系：換水次數(shù)+1次=清洗槽數(shù)，（如換水次數(shù)2次，則清洗槽數(shù)3次即要清洗3槽水）；超聲波槽內(nèi)硅料（大料）的堆積厚度不得超過(guò)20厘米（重量不得超過(guò)45公斤），碎硅片堆積厚度不得超過(guò)8厘米（重量不得超過(guò)30公斤），加入高純水的高度蓋過(guò)清洗物2-3厘米，且清洗過(guò)程中不允許有硅料漂浮在水面；超聲清洗

：31使用電導(dǎo)率分析儀檢驗(yàn)清洗槽內(nèi)水的電導(dǎo)率是否大于0.3μs/cm。如果電導(dǎo)率讀數(shù)大于此數(shù)值則重新超聲清洗，再次測(cè)試洗槽內(nèi)水的電導(dǎo)率，直至電導(dǎo)率小于0.3μs/cm；水質(zhì)檢驗(yàn)

：取料、漂洗：

待水質(zhì)檢測(cè)合格后，放水、移走硅料。擰開(kāi)單級(jí)溢流槽高純水閥門（開(kāi)啟角度小于60°），并保持溢流槽內(nèi)高純水處于流動(dòng)狀態(tài)。將完成超聲工藝的硅料依次過(guò)兩個(gè)單級(jí)溢流槽。過(guò)水過(guò)程中，要抖動(dòng)紗網(wǎng)，使得硅料與水充分接觸。清洗槽的高純水水質(zhì)不能出現(xiàn)渾濁；325.硅料部硅料脫水操作規(guī)范

烘烤硅料裝料、裝車甩干/吹干作業(yè)前準(zhǔn)備出料烘箱清潔冷卻、稱重工藝流程331、操作員按規(guī)定穿好潔凈服和雨鞋，戴好口罩和帆布手套、袖套手套；2、將烘箱的電源、鼓風(fēng)、加熱、定時(shí)、報(bào)警、備用開(kāi)關(guān)全部打開(kāi)，并將溫度控制儀的和溫度保護(hù)儀的溫度設(shè)定為110℃(已設(shè)定好，禁止隨意修改)；3、檢查烘箱通風(fēng)口是否通風(fēng)正常（可使用風(fēng)速計(jì)精確檢測(cè)）；4、檢查盛放硅料的尼龍網(wǎng)是否有破損，如有破損則更換新的尼龍網(wǎng)；5、檢查花籃是否脫膠，如有脫膠更換新的花籃；花籃一旦出現(xiàn)掉粉現(xiàn)象，說(shuō)明花籃已經(jīng)老化，應(yīng)停止使用，并更換花籃；6、工具：AVM-01型風(fēng)速計(jì)、烘箱花籃、烘車、隔熱手套、絲光毛巾、風(fēng)槍、電子秤、尼龍網(wǎng)；

準(zhǔn)備工作34兩人合作，每人拿住尼龍網(wǎng)相鄰的兩個(gè)角，將已完成超聲清洗的硅料（小料、碎硅片、碎粉）放入干燥機(jī)內(nèi)膽，并擺布均勻；（硅料重量不得超過(guò)15千克）擺弄好尼龍網(wǎng)，避免蓋子壓到尼龍網(wǎng)，蓋上上熱式干燥機(jī)蓋子，將旋鈕擰到“1”或“2”的位置，轉(zhuǎn)筒轉(zhuǎn)動(dòng)開(kāi)始工作，聲音均勻，無(wú)噪音。時(shí)間60-120秒后，將旋鈕擰到“0”的位置，腳踏剎車，讓轉(zhuǎn)筒迅速停下；（在起動(dòng)轉(zhuǎn)筒時(shí)可先轉(zhuǎn)動(dòng)一下電動(dòng)機(jī)，反復(fù)兩次后再進(jìn)入正常動(dòng)轉(zhuǎn)，以利轉(zhuǎn)筒內(nèi)硅料趨于均勻）將盛有塊狀料的尼龍網(wǎng)放入烘箱花籃內(nèi)。將硅料攤開(kāi)、并使用風(fēng)槍逐一吹掃硅料，以減少硅料所帶水量。第一次吹掃完成后，將硅料擺布均勻（邊皮料排插好），并控制硅料堆積高度（不超過(guò)15㎝）再次使用風(fēng)槍吹掃；甩干/