GB/T 33555-2017潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境靜電控制技術(shù)指南

ICS1304030

C70..

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T33555—2017

潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境

靜電控制技術(shù)指南

Cleanroomandassociatedcontrolledenvironments

technicalguidelinesofelectrostaticdischargecontrol

2017-05-12發(fā)布2017-09-01實(shí)施

中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布

中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T33555—2017

目次

前言

…………………………Ⅲ

引言

…………………………Ⅳ

范圍

1………………………1

規(guī)范性引用文件

2…………………………1

術(shù)語(yǔ)和定義

3………………1

靜電控制

4…………………2

培訓(xùn)與規(guī)范

5………………7

附錄資料性附錄防靜電潔凈工作服主要性能

A()……………………8

參考文獻(xiàn)

………………………9

Ⅰ

GB/T33555—2017

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出并歸口

(SAC/TC319)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位中電投工程研究檢測(cè)評(píng)定中心蘇州天華超凈科技股份有限公司中天道成蘇

:、、(

州潔凈技術(shù)有限公司中國(guó)電子學(xué)會(huì)潔凈技術(shù)分會(huì)中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)化協(xié)會(huì)中國(guó)電子儀器行業(yè)協(xié)會(huì)防靜電裝

)、、、

備分會(huì)信息產(chǎn)業(yè)防靜電產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)中心北京世源希達(dá)工程技術(shù)公司北京希達(dá)建設(shè)監(jiān)理有限

、、、

責(zé)任公司深圳市億天凈化技術(shù)有限公司浙江三威防靜電裝備有限公司上海陽(yáng)森精細(xì)化工有限公司

、、、、

深圳市亨達(dá)洋靜電技術(shù)有限公司

。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人王堯王大千姜偉康翟傳明裴振華楊子強(qiáng)殷曉冬孫延林趙長(zhǎng)明

:、、、、、、、、、

宋競(jìng)男劉清松陳霖新張利群蘇鋼民劉玥王鴻明王樣孫玉榮夏群艷莊曉榮馬敏生

、、、、、、、、、、、。

Ⅲ

GB/T33555—2017

引言

潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境的污染包括懸浮粒子污染控制潔凈度生物污染控制菌落數(shù)空

()、(CFU)、

氣分子污染控制環(huán)境中億級(jí)至萬(wàn)億級(jí)微量氣相酸性堿性有機(jī)及摻雜物質(zhì)靜電污染靜電帶電

(10、、)、(

和靜電放電等

)。

靜電污染是不可忽視的危害靜電荷產(chǎn)生力學(xué)效應(yīng)能吸附塵埃粒子而放電效應(yīng)和感應(yīng)效應(yīng)

,“”,“”“”

嚴(yán)重時(shí)對(duì)電子元器件產(chǎn)品微電子線路分立半導(dǎo)體器件厚膜和薄膜電阻混合器件印刷線路板及晶

(、、、、

體管等造成損壞對(duì)潔凈室設(shè)施造成破壞如電氣管道接地系統(tǒng)失靈信息產(chǎn)業(yè)如微電子光電子

);(、)。(、

航天航空業(yè)如大飛機(jī)航天器的靜電污染控制技術(shù)受到高度重視和廣泛應(yīng)用

……)、(、……)。

Ⅳ

GB/T33555—2017

潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境

靜電控制技術(shù)指南

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)給出了潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境控制靜電的術(shù)語(yǔ)和定義靜電控制培訓(xùn)與規(guī)范等要求

、、。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境的靜電控制

。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

工業(yè)科學(xué)和醫(yī)療射頻設(shè)備騷擾特性限值和測(cè)量方法

GB4824—2013、(ISM)

室內(nèi)空氣中臭氧衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)

GB/T18202

潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范

GB50073—2013

電子設(shè)備的靜電防護(hù)通用要求

IEC61340-5-1(Protectionofelectronicdevicesfrom

electrostaticphenomena—Generalrequirements)

電子設(shè)備的靜電防護(hù)用戶指南

IEC/TR61340-5-2(Protectionofelectronicdevicesfromelec-

trostaticphenomena—Userguide)

電子設(shè)備的靜電防護(hù)靜電敏感設(shè)備包裝特性和要求分級(jí)

IEC61340-5-3(Protectionofelec-

tronicdevicesfromelectrostaticphenomena—Propertiesandrequirementsclassificationforpackaging

intendedforelectrostaticdischargesensitivedevices)

3術(shù)語(yǔ)和定義

下列術(shù)語(yǔ)和定義適用于本文件

。

31

.

靜電耗散材料static-dissipativematerials

表面電阻率在512之間或體積電阻率在411之間的材料

10Ω~10Ω,10Ω·cm~10Ω·cm。

32

.

靜電場(chǎng)electrostaticfield