GB/T 36705-2018氮化鎵襯底片載流子濃度的測試拉曼光譜法

ICS77040

H21.

中華人民共和國國家標準

GB/T36705—2018

氮化鎵襯底片載流子濃度的測試

拉曼光譜法

Testmethodforcarrierconcentrationofgalliumnitridesubstrates—

Ramanspectrummethod

2018-09-17發(fā)布2019-06-01實施

國家市場監(jiān)督管理總局發(fā)布

中國國家標準化管理委員會

GB/T36705—2018

前言

本標準按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標準由全國半導體設備和材料標準化技術(shù)委員會與全國半導體設備和材料標準

(SAC/TC203)

化技術(shù)委員會材料分會共同提出并歸口

(SAC/TC203/SC2)。

本標準起草單位中國科學院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所蘇州納維科技有限公司中關村天

:、、

合寬禁帶半導體技術(shù)創(chuàng)新聯(lián)盟有色金屬技術(shù)經(jīng)濟研究院東莞市中鎵半導體科技有限公司中國電子

、、、

技術(shù)標準化研究院

。

本標準主要起草人鄭樹楠張育民石林邱永鑫王建峰徐科付雪濤楊素心丁曉民陸敏

:、、、、、、、、、、

楊建

。

Ⅰ

GB/T36705—2018

氮化鎵襯底片載流子濃度的測試

拉曼光譜法

1范圍

本標準規(guī)定了利用拉曼光譜測試型氮化鎵襯底片載流子濃度的方法

N。

本標準適用于在藍寶石碳化硅硅氮化鎵材料上生長的型氮化鎵襯底片載流子濃度的測試

、、、N。

測試范圍17-320-3

:1×10cm~1×10cm。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

非本征半導體單晶霍爾遷移率和霍爾系數(shù)測量方法

GB/T4326

數(shù)值修約規(guī)則與極限數(shù)值的表示和判定

GB/T8170

半導體材料術(shù)語

GB/T14264

3術(shù)語和定義

界定的術(shù)語和定義適用于本文件

GB/T14264。

4方法提要

在一定溫度下物質(zhì)晶格中的原子各自在其平衡位置附近作微振動晶格振動晶格振動的能量用

,(),

聲子表示氮化鎵材料中一定濃度的載流子與晶格振動相互作用可以形成縱光學聲子與載流子的耦

。,

合模簡稱該耦合模可以在拉曼光譜上出現(xiàn)低頻支高頻

(LOphonon-plasmoncoupledmode,LOPC),、

支常標記為和的特征峰該特征峰的峰位隨載流

(lowerandupperfrequencybranches,LPP-LPP+)。

子濃度的變化而改變通過峰位的變化可計算出載流子濃度本方法通過拉曼光譜可實現(xiàn)對型氮化

,。N

鎵襯底片載流子濃度的微區(qū)測試測量直徑為

,0.7μm~2μm。

5干擾因素

51拉曼光譜常用來檢測薄膜材料中的應力因此需要在測試時考慮應力引入的影響當載流子濃度

.,。

較低時約17-3以極化聲子模的峰位對載流子濃度進行計算為了消除應力對極

(<3×10cm),A1(LO),

化聲子模峰位產(chǎn)生的影響可采用氮化鎵材料拉曼光譜中H峰位來標定樣品的應力狀態(tài)根

A1(LO),E2,

據(jù)式推得極化聲子模峰位因受應力影響而產(chǎn)生的移動

(1)A1(LO):

.×(ω)

ω'=ω-08E-568

AA………………(1)