標(biāo)準(zhǔn)解讀

《GB/T 40418-2021 電子特氣 氟甲烷》是中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)之一,該標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了用于半導(dǎo)體制造等高技術(shù)領(lǐng)域的氟甲烷氣體的技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則以及包裝、標(biāo)志、運(yùn)輸和貯存等方面的要求。適用于純度不低于99.995%(體積分?jǐn)?shù))的氟甲烷。

根據(jù)該標(biāo)準(zhǔn),對(duì)氟甲烷產(chǎn)品的質(zhì)量控制包括但不限于以下幾個(gè)方面:

  • 技術(shù)要求:明確了氟甲烷產(chǎn)品的純度指標(biāo)及雜質(zhì)含量限制,比如水分、氧氣、氮?dú)庖约捌渌赡艽嬖诘奶囟s質(zhì)的最大允許濃度。
  • 試驗(yàn)方法:提供了測(cè)定氟甲基純度及其所含雜質(zhì)的具體測(cè)試手段與步驟,確保能夠準(zhǔn)確評(píng)估產(chǎn)品質(zhì)量是否符合規(guī)定。
  • 檢驗(yàn)規(guī)則:指出了產(chǎn)品出廠前必須經(jīng)過(guò)的檢驗(yàn)項(xiàng)目、抽樣方法及合格判定準(zhǔn)則,保證每批次產(chǎn)品均達(dá)到既定標(biāo)準(zhǔn)。
  • 包裝、標(biāo)志、運(yùn)輸和貯存:詳細(xì)說(shuō)明了如何正確處理這類特殊化學(xué)品以避免泄漏或污染,并且強(qiáng)調(diào)了在標(biāo)簽上應(yīng)包含的信息如制造商名稱、地址、生產(chǎn)日期、有效期等關(guān)鍵數(shù)據(jù),同時(shí)給出了安全搬運(yùn)指南和儲(chǔ)存條件建議。


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  • 現(xiàn)行
  • 正在執(zhí)行有效
  • 2021-08-20 頒布
  • 2022-03-01 實(shí)施
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文檔簡(jiǎn)介

ICS7110020

CCSG.86.

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T40418—2021

電子特氣氟甲烷

Electronicspecialtygas—Fluoromethane

2021-08-20發(fā)布2022-03-01實(shí)施

國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局發(fā)布

國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T40418—2021

前言

本文件按照標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第部分標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則的規(guī)定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

請(qǐng)注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識(shí)別專利的責(zé)任

。。

本文件由全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出并歸口

(SAC/TC203)。

本文件起草單位浙江省化工研究院有限公司昊華氣體有限公司中船重工邯鄲派瑞特種氣體

:、、()

有限公司衢州氟硅技術(shù)研究院中化藍(lán)天氟材料有限公司福建久策氣體股份有限公司廣東華特氣體

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股份有限公司天津綠菱氣體有限公司江西華特電子化學(xué)品有限公司蘇州金宏氣體股份有限公司

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上海申南特種氣體有限公司上海華愛(ài)色譜分析技術(shù)有限公司大連大特氣體有限公司上海凡偉儀器

、、、

設(shè)備有限公司聯(lián)雄投資上海有限公司沈陽(yáng)中復(fù)科金壓力容器有限公司浙江東開半導(dǎo)體科技有限

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公司和立氣體上海有限公司昆明廣瑞達(dá)特種氣體有限責(zé)任公司西南化工研究設(shè)計(jì)院有限公司西

、()、、、

南化工研究設(shè)計(jì)院有限公司武漢分公司西南化工研究設(shè)計(jì)院有限公司雙流分公司

、。

本文件主要起草人史婉君張建君方小青孫福楠付夢(mèng)月侯玲玲鄭秋艷董云海譚慧

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褚人財(cái)顏光清何經(jīng)余曹素英傅鑄紅陳艷珊馬建修程緊葉相平王新喜孫猛陳潔吳靚方華

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孫赟瓏何波黃小強(qiáng)黃輝宮兵王大為易達(dá)文李陽(yáng)梁永強(qiáng)梁成科高靜吳克安白占旗徐嬌

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葉樹全賴曉峰方艾黎周鵬云張亮

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GB/T40418—2021

電子特氣氟甲烷

1范圍

本文件規(guī)定了電子級(jí)氟甲烷的技術(shù)要求檢驗(yàn)規(guī)則試驗(yàn)方法標(biāo)志包裝運(yùn)輸及貯存的要求

、、、、、。

本文件適用于由工業(yè)氟甲烷提純制備的電子級(jí)氟甲烷

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內(nèi)容通過(guò)文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款其中注日期的引用文

。,

件僅該日期對(duì)應(yīng)的版本適用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于

,;,()

本文件

危險(xiǎn)貨物包裝標(biāo)志

GB190

化學(xué)試劑標(biāo)準(zhǔn)滴定溶液的制備

GB/T601

化學(xué)試劑試驗(yàn)方法中所用制劑及制品的制備

GB/T603

工業(yè)用化學(xué)產(chǎn)品采樣安全通則

GB/T3723

所有部分鋼質(zhì)無(wú)縫氣瓶

GB/T5099()

氣體分析微量水分的測(cè)定第部分電解法

GB/T5832.11:

分析實(shí)驗(yàn)室用水規(guī)格和試驗(yàn)方法

GB/T6682

氣瓶顏色標(biāo)志

GB/T7144

液化氣體氣瓶充裝規(guī)定

GB/T14193

化學(xué)品安全標(biāo)簽編寫規(guī)定

GB15258

氣瓶警示標(biāo)簽

GB/T16804

氣體分析氦離子化氣相色譜法

GB/T28726

大容積鋼質(zhì)無(wú)縫氣瓶

GB/T33145

移動(dòng)式壓力容器安全技術(shù)監(jiān)察規(guī)程

TSGR0005

氣瓶安全技術(shù)規(guī)程

TSG23

3術(shù)語(yǔ)和定義

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