JJG 661-2004平面等傾干涉儀

中華人民共和國國家計(jì)量檢定規(guī)程

JJG661—2004

平面等傾干涉儀

FlatnessInterferometerwithIsoclinicCircleFringe

2004-09-21發(fā)布2005-03-21實(shí)施

國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布

中華人民共和國

國家計(jì)量檢定規(guī)程

平面等傾干涉儀

JJG661—2004

國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布

*

中國質(zhì)檢出版社出版發(fā)行

北京市朝陽區(qū)和平里西街甲號

2(100013)

北京市西城區(qū)復(fù)外三里河北街號

16(100045)

網(wǎng)址

:

服務(wù)熱線

/p>

年月第版

200521

*

書號

:155026·J-1857

版權(quán)專有侵權(quán)必究

JJG661—2004

??

平面等傾干涉儀檢定規(guī)程??????????????

?JJG661—2004?

??

??

?????????????

VerificationReulationofFlatness代替JJG661—1990?

g??

InterferometerwithIsoclinicCircleFringe

本規(guī)程經(jīng)國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局于年月日批準(zhǔn)并自

20040921,

年月日施行

20050321。

歸口單位:全國幾何量工程參量計(jì)量技術(shù)委員會

起草單位:中國測試技術(shù)研究院

本規(guī)程委托全國幾何量工程參量計(jì)量技術(shù)委員會負(fù)責(zé)解釋

JJG661—2004

本規(guī)程起草人:

冉慶中國測試技術(shù)研究院

()

陳永康中國測試技術(shù)研究院

()

張成悌中國測試技術(shù)研究院

()

曹箭中國測試技術(shù)研究院

()

JJG661—2004

目錄

范圍……………………

1(1)

引用文獻(xiàn)………………

2(1)

概述……………………

3(1)

計(jì)量性能要求…………

4(1)

測微目鏡的示值誤差極差及回程誤差……………

4.1(1)

工作臺移動的直線度………………

4.2(2)

工作臺移動的示值誤差及回程誤差………………

4.3(2)

鋼球支架的工作性能………………

4.4(2)

標(biāo)準(zhǔn)干涉環(huán)直徑測量的標(biāo)準(zhǔn)偏差…………………

4.5(2)

干涉環(huán)小數(shù)干涉級測量的重復(fù)性…………………

4.6(2)

通用技術(shù)要求…………

5(3)

外觀…………………

5.1(3)

各部分相互作用……………………

5.2(3)

計(jì)量器具控制…………

6(3)

檢定條件……………

6.1(3)

檢定項(xiàng)目……………

6.2(4)

檢定方法……………

6.3(4)

檢定結(jié)果的處理……………………

6.4(6)

附錄等傾干涉儀測量平面度測量結(jié)果的不確定度評定…………

A(7)

附錄檢定證書和檢定結(jié)果通知書內(nèi)頁格式………

B(10)

JJG661—2004

平面等傾干涉儀檢定規(guī)程

1范圍

本規(guī)程適用于平面等傾干涉儀的首次檢定后續(xù)檢定和使用中的檢驗(yàn)

、。

2引用文獻(xiàn)

通用計(jì)量術(shù)語及定義

JJF1001—1998

測量不確定度評定與表示

JJF1059—1999

測量儀器特性評定

JJF1094—2002

使用本規(guī)程時應(yīng)注意使用上述引用文獻(xiàn)的現(xiàn)行有效版本

,。

3概述

平面等傾干涉儀是一種用于平面量值傳遞的標(biāo)準(zhǔn)計(jì)量器具主要用于檢定尺寸較大

,

的平晶各種尺寸的長平晶和標(biāo)準(zhǔn)平尺等的平面度

、。

儀器工作原理如圖所示

1。

圖工作原理圖

1

平晶球支承平晶半反射鏡測微鼓輪觀察者目鏡組

1—;2—;3—;4—();5—;6—;7—