特氣系統(tǒng)的規(guī)劃與設(shè)計(jì)1

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(yīng)或污染的風(fēng)險(xiǎn)值又更低了。選用三慮。若為惰性氣體使用的氣瓶架，由廠務(wù)中央供應(yīng)PN2或于現(xiàn)場(chǎng)適集中式的雙瓶PN2氣瓶架，所增加的成本與空間將相當(dāng)有限。操作性設(shè)計(jì)氣體量若為低蒸汽壓氣體，則以笛子重量磅秤來偵測(cè)鋼瓶剩余的氣體量。在日常操作功能的設(shè)計(jì)上，可分為全自動(dòng)、半自動(dòng)、手動(dòng)三種方式。通常氣瓶柜的操作執(zhí)行動(dòng)作有下列幾種：1.GN2GeneralN2)的流動(dòng)經(jīng)過真空產(chǎn)生器造成管路內(nèi)的負(fù)壓，抽出氣瓶柜盤管內(nèi)的特氣，再利用通入PN2稀釋管壁內(nèi)殘存的微量特氣，反復(fù)執(zhí)行此項(xiàng)沖保壓測(cè)試管路是否泄漏。2.后置沖吹（Post通以PN2進(jìn)行保壓測(cè)試管路是否泄漏，確認(rèn)鋼瓶接頭與管路的銜接良好，并進(jìn)行PN2的反復(fù)沖吹，將更換鋼瓶時(shí)滲人的污染物去除。3.上線沖吹(Process主要目的是將清潔用的PN2清楚，并送制程氣體上線；此過程則反復(fù)利用制程氣體的沖吹，將清潔用的PN2予以徹底的排除。4.更換鋼瓶：通常由四個(gè)主要步驟來完成，Pre-PurgeR更換鋼瓶RPostPurgeRProcess約10%時(shí)，但實(shí)際上仍需以各氣體過往的使用記錄為依據(jù)進(jìn)行判斷，污染氣源。為了達(dá)到以上步驟1到3考慮。若采用手動(dòng)的方式進(jìn)行，人員的操作將需相當(dāng)小心謹(jǐn)慎，任何險(xiǎn)性氣體筆者建議需有自動(dòng)的功能，當(dāng)自動(dòng)無法順利運(yùn)作時(shí)才改為半自動(dòng)的方式進(jìn)行。若為惰性氣瓶架，雖然沒有危險(xiǎn)性，路氣體流向控制。（B).手動(dòng)控制閥，主要當(dāng)作第二道的防護(hù)，如管路的出口。（C).CheckPN2和抽氣用的GN2管路。（D).調(diào)壓閥（Regulator),用于調(diào)整并控制供應(yīng)的氣體壓力。（E).壓力傳輸器（Pressure，這是防護(hù)系統(tǒng)安全的重啟，同時(shí)亦可檢知鋼瓶的氣體剩余量。（F).真空產(chǎn)生器（Vacuum利用GN2的快速流動(dòng)產(chǎn)生吸引的負(fù)壓，將管路中的氣體帶出，以達(dá)到抽氣的目的。（G)氣體過濾器（Line，裝于供氣的出口外，用以過濾掉VMB的供氣口都會(huì)安裝符合制程條件需求的過濾器，故而個(gè)人不建議于此處裝設(shè)過濾器。（H).流量偵測(cè)器（FlowSensor),對(duì)管路上異常大量的流量進(jìn)行偵測(cè)，若是超過可能的設(shè)定值，即判定管路上有可能大量的泄漏，進(jìn)而啟動(dòng)緊急關(guān)閉裝置，中斷供氣。（I).Orifice),以限制大量的氣流量通過，裝設(shè)于Vent的排氣管上，其主要防止特氣Vent時(shí)的大量排放，造成區(qū)域式廢棄處理系統(tǒng)無法負(fù)荷的狀況發(fā)生。針對(duì)SIH4,因其具有毒性與強(qiáng)烈爆炸性，建議可于靠近鋼瓶的出口端加裝直徑約0.01寸的限流孔，使其最高流量不得高于。在此閥盤組的管路設(shè)計(jì)上，有一些需特別注意的項(xiàng)目。首先，以如前面所提，不兼容氣體的Purge管路不可相連，而且不兼容的氣體不蝕性、供應(yīng)的壓力為高壓或者低壓等；并且注意管路上死角Purge的問題，若設(shè)計(jì)的死角越多或越嚴(yán)重，反復(fù)Purge的次數(shù)就要越多，花供應(yīng)的考慮下，將可避免未來擴(kuò)充點(diǎn)增加時(shí)需要再添購一組氣瓶柜，當(dāng)然若能在VMB上預(yù)留足夠的擴(kuò)充電腦亦可能可以解決相關(guān)的問題。安全防護(hù)設(shè)計(jì)總結(jié)前面所提的氣瓶柜防護(hù)設(shè)計(jì)，包括氣瓶柜外罩的防火與防暴設(shè)UV/IR設(shè)計(jì)、Vent限流孔、現(xiàn)場(chǎng)與遠(yuǎn)程的手動(dòng)緊急關(guān)斷開關(guān)等。其中消防灑水透在氣柜內(nèi)的溫度超過℃時(shí)，開始動(dòng)作灑水；需特別注意的CF3會(huì)因與誰起劇烈反應(yīng)，不可安裝灑水頭。在氣體室則需加裝易造成誤判外，皆需與自動(dòng)廣播系統(tǒng)聯(lián)機(jī)，當(dāng)有任何動(dòng)作時(shí)，可實(shí)時(shí)的廣播疏散相關(guān)的人員，并立即集結(jié)緊急應(yīng)變小組進(jìn)行處理。用性，如緊急手動(dòng)停氣按鈕(EMO,Emergency除氣瓶柜上需必備法進(jìn)入關(guān)閉源頭的鋼瓶；此外報(bào)警的燈示，除現(xiàn)場(chǎng)VMB盤、氣瓶柜護(hù)器具，如更換毒氣瓶時(shí)使用的空氣面罩。自從921計(jì)方式，可避免當(dāng)一臺(tái)受到外力的干擾時(shí)（如施工）即造成誤動(dòng)作，因此執(zhí)行氣體關(guān)斷的動(dòng)作必須至少2三角形延伸至廠區(qū)內(nèi)另2議設(shè)定的地震儀惰性等距為五級(jí)地震，執(zhí)行關(guān)閉的設(shè)備包括鋼瓶之ValveShutter、氣瓶柜/架、。另一項(xiàng)氣體大量泄漏時(shí)的外圍防護(hù)設(shè)計(jì)為裝設(shè)緊急的廢氣出了ESE,Emergencysafety其處理點(diǎn)可包括氣瓶柜、VMB、AsH3、PH3等氫化物氣體、酸性氣體或NH3等，需與氣體政策器聯(lián)動(dòng)，并使用化學(xué)吸附劑的方式進(jìn)行處理，但目前因價(jià)格昂貴，尚未普及。氣瓶柜的關(guān)斷時(shí)機(jī)有下列幾種狀況（氣體政策泄漏達(dá)到上限警報(bào)；（B）.火焰?zhèn)蓽y(cè)器或消防偵的發(fā)生，倘無自動(dòng)關(guān)斷，可籍?dāng)z影監(jiān)視系統(tǒng)進(jìn)行判斷，再以人員手動(dòng)的方式執(zhí)行遠(yuǎn)程的緊急關(guān)斷；（C.2部地震儀同時(shí)偵測(cè)到五級(jí)（含）以上的地震；（D）.過流量開關(guān)開啟；（E）.EMO動(dòng)作控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)控制系統(tǒng)目前普遍采用每臺(tái)氣瓶柜皆有獨(dú)立的單機(jī)PLCPLC的通訊接口，將設(shè)備上所以的訊息納入整廠中央監(jiān)控系統(tǒng)與相關(guān)(Local、消防系統(tǒng)...等，以建構(gòu)一個(gè)安全性極高的氣體供應(yīng)系統(tǒng)設(shè)計(jì)。閥盤與管路VMB設(shè)計(jì)VMB內(nèi)氣體種類配置的設(shè)計(jì)基本上有二種方式，一種以供應(yīng)的氣體點(diǎn)，讓同一機(jī)臺(tái)的氣體管路供應(yīng)來源集中在相同的VMB內(nèi)，不致使的負(fù)擔(dān)，高、VMB設(shè)計(jì)于操作簡(jiǎn)單、擴(kuò)充性佳等?；旧?，VMB的設(shè)計(jì)于氣體柜內(nèi)大同小異，包括防護(hù)箱體、強(qiáng)制抽氣、氣體泄漏偵測(cè)器、緊急自動(dòng)關(guān)斷閥、EMO、Purge等管路，但以手動(dòng)閥進(jìn)行供應(yīng)控制，氣動(dòng)閥做為緊急關(guān)斷之用。通常VMB內(nèi)部設(shè)計(jì)UV/IR一般而言，此處于是該測(cè)漏驗(yàn)收后，管路不再移動(dòng)且不常操作，或進(jìn)一定的水平，發(fā)生泄漏的幾率極低，所以，通常當(dāng)緊急狀況如泄漏、地震發(fā)生時(shí)，可利用氣動(dòng)閥進(jìn)行自動(dòng)關(guān)斷，將氣源做分段的隔離。機(jī)的保護(hù)。VMB一般可依業(yè)主要求設(shè)計(jì)、8、10或其他數(shù)目的接點(diǎn)，氣的壓力，設(shè)定偏移±5psi時(shí)發(fā)出報(bào)警。管路設(shè)計(jì)管路設(shè)計(jì)時(shí)需考慮輸送的距離、距離越長(zhǎng)、成本越高，風(fēng)險(xiǎn)也越高。般氣體小于20ml/sec,可燃性氣體小于腐蝕性/毒性氣體則小于8ml/sec前者與氣體特性有關(guān)，后者在使用電一般為1/4寸~3/8寸。管路型式依氣體特性設(shè)計(jì)，惰性氣體使用一般的單層管，腐蝕性、可燃性、毒性則可考慮雙套管，但因其制作成本高，除非是自燃爆炸或極毒性危害氣體，如SiH4PH3AsH3常以雙套管制作外