標(biāo)準(zhǔn)解讀

《YS/T 1141-2016 鈦蒸發(fā)料》是中國有色金屬行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)之一，該標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了用于制造半導(dǎo)體、光電材料等領(lǐng)域中高純度鈦金屬薄膜的鈦蒸發(fā)料的技術(shù)要求、試驗方法、檢驗規(guī)則以及標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和貯存等方面的要求。根據(jù)此標(biāo)準(zhǔn)，鈦蒸發(fā)料指的是通過物理氣相沉積（PVD）技術(shù)，在特定條件下能夠蒸發(fā)形成均勻薄膜的鈦或鈦合金材料。

對于化學(xué)成分而言，《YS/T 1141-2016 鈦蒸發(fā)料》明確了不同等級鈦蒸發(fā)料的具體化學(xué)成分范圍，包括但不限于鈦含量不低于99.9%，同時對雜質(zhì)元素如鐵、硅、氧等設(shè)定了嚴(yán)格的上限值，以確保材料的高純度特性。此外，還對某些特殊用途下的鈦蒸發(fā)料提出了更高的純度要求。

在物理性能方面，該標(biāo)準(zhǔn)也給出了明確的規(guī)定，比如外觀應(yīng)無裂紋、氣孔等缺陷；密度需達(dá)到一定標(biāo)準(zhǔn)；粒度分布也有具體要求，以便于控制蒸發(fā)過程中的成膜質(zhì)量。針對形狀與尺寸，則根據(jù)不同應(yīng)用場景給出了推薦規(guī)格，并允許供需雙方協(xié)商確定最終產(chǎn)品形式。

為了保證產(chǎn)品質(zhì)量，《YS/T 1141-2016 鈦蒸發(fā)料》詳細(xì)列出了相應(yīng)的測試方法，涵蓋了從原材料進(jìn)廠檢驗到成品出廠前的各項檢測程序。這其中包括采用電感耦合等離子體質(zhì)譜法測定化學(xué)成分；使用電子天平測量密度；通過顯微鏡觀察表面狀況等。所有這些測試都旨在確保每批次產(chǎn)品的穩(wěn)定性和一致性。


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....

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  • 正在執(zhí)行有效
  • 2016-07-11 頒布
  • 2017-01-01 實施
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文檔簡介

ICS77.150.50

H64

中華人民共和國有色金屬行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)

YST1141—2016

鈦蒸發(fā)料

Evaporatedtitaniummaterial

2016-07-11發(fā)布2017-01-01實施

中華人民共和國工業(yè)和信息化部發(fā)布

YST1141—2016

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會提出并歸口

(SAC/TC243)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位有研億金新材料有限公司中國有色金屬工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)計量質(zhì)量研究所

:、。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人張濤劉書芹何金江萬小勇徐學(xué)禮羅俊鋒丁照崇王越高巖劉冬青

:、、、、、、、、、、

吳艷華

。

Ⅰ

YST1141—2016

鈦蒸發(fā)料

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了鈦蒸發(fā)料的要求試驗方法檢驗規(guī)則和標(biāo)志包裝運(yùn)輸貯存及質(zhì)量證明書與合同

、、、、、

或訂貨單內(nèi)容

()。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于半導(dǎo)體行業(yè)用的鈦蒸發(fā)料

。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

計數(shù)抽樣檢驗程序第部分按接收質(zhì)量限檢索的逐批檢驗抽樣計劃

GB/T2828.11:(AQL)

海綿鈦鈦及鈦合金化學(xué)分析方法氧量氮量的測定

GB/T4698.7、、

海綿鈦鈦及鈦合金化學(xué)分析方法碳量的測定

GB/T4698.14、

海綿鈦鈦及鈦合金化學(xué)分析方法氫量的測定

GB/T4698.15、

高純鈦化學(xué)分析方法痕量雜質(zhì)元素的測定輝光放電質(zhì)譜法

YS/T891

高純鈦化學(xué)分析方法痕量雜質(zhì)元素的測定電感耦合等離子體質(zhì)譜法

YS/T892

3要求

3.1產(chǎn)品分類

3.1.1產(chǎn)品按照純度分為三個牌號

IC-Ti99.9、IC-Ti99.995、IC-Ti99.999。

3.1.2產(chǎn)品主要分為片狀柱狀如圖所示

、,1。

說明

:

A邊長

———;

B邊長

———;

C厚度

———;

D直徑

———;

L長度

———。

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