標準解讀

《YS/T 1129-2016 鎢鈦合金靶材》是一項針對鎢鈦合金靶材的技術(shù)標準，由中華人民共和國工業(yè)和信息化部提出并歸口。該標準主要規(guī)定了用于濺射沉積工藝中的鎢鈦合金靶材的要求、試驗方法、檢驗規(guī)則以及標志、包裝、運輸和貯存等內(nèi)容。

在化學成分方面，標準詳細列出了鎢鈦合金靶材中鎢（W）與鈦（Ti）的具體含量范圍，并對雜質(zhì)元素如鐵(Fe)、鎳(Ni)等的最大允許含量做出了限制。這些規(guī)定旨在保證材料純度，以滿足不同應用場景下對薄膜性能的需求。

對于物理性能，包括密度、硬度及導電性等，《YS/T 1129-2016》也給出了明確指標。其中，密度反映了材料內(nèi)部結(jié)構(gòu)緊密程度；而硬度則關(guān)系到靶材在使用過程中的耐磨損能力；良好的導電性能有助于提高濺射效率。

此外，還涉及到了外觀質(zhì)量要求，比如表面不允許存在裂紋、氣孔等缺陷，以確保最終制備出的薄膜具有均勻一致的質(zhì)量。

為了驗證上述各項技術(shù)參數(shù)是否符合標準要求，《YS/T 1129-2016》提供了相應的檢測方法，包括但不限于化學分析法測定元素組成、密度測量采用阿基米德原理等科學手段。

最后，在產(chǎn)品出廠前需經(jīng)過嚴格的質(zhì)量控制程序，只有當所有項目均達到標準所設定的標準值時，才能被認定為合格品，并按照規(guī)定進行標識后方可進入市場流通環(huán)節(jié)。同時，對于產(chǎn)品的包裝方式、運輸條件以及儲存環(huán)境也有具體指導，目的是保護產(chǎn)品免受損害，延長使用壽命。


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  • 現(xiàn)行
  • 正在執(zhí)行有效
  • 2016-07-11 頒布
  • 2017-01-01 實施
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文檔簡介

ICS77.160

H72

中華人民共和國有色金屬行業(yè)標準

YST1129—2016

鎢鈦合金靶材

Tungstentitaniumalloysputteringtarget

2016-07-11發(fā)布2017-01-01實施

中華人民共和國工業(yè)和信息化部發(fā)布

YST1129—2016

前言

本標準按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標準由全國有色金屬標準化技術(shù)委員會提出并歸口

(SAC/TC243)。

本標準起草單位西安瑞福萊鎢鉬有限公司北京天龍鎢鉬科技股份有限公司廈門虹鷺鎢鉬工業(yè)

:、、

有限公司

。

本標準主要起草人李長亮任吉文劉云飛蘇國平白鋒韓蕊蕊

:、、、、、。

Ⅰ

YST1129—2016

鎢鈦合金靶材

1范圍

本標準規(guī)定了濺射用鎢鈦合金靶坯的要求試驗方法檢驗規(guī)則標志包裝運輸貯存質(zhì)量證明

、、、、、、、

書及訂貨單或合同等內(nèi)容

()。

本標準適用于鎢鈦合金濺射靶材加工用靶坯

。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

致密燒結(jié)金屬材料與硬質(zhì)合金密度測定方法

GB/T3850

所有部分鎢化學分析方法

GB/T4324()

金屬平均晶粒度測定方法

GB/T6394

金屬板材超聲板波探傷方法

GB/T8651

金屬材料中氫氧氮碳和硫分析方法通則

GB/T14265、、、

高純鎢化學分析方法痕量雜質(zhì)元素的測定輝光放電質(zhì)譜法

YS/T901

3要求

3.1分類

3.1.1產(chǎn)品按外形分圓形矩形

、。

3.1.2產(chǎn)品按化學成分分為

WTi-99.9、WTi-99.95、WTi-99.99、WTi-99.995、WTi-99.999。

3.2化學成分

產(chǎn)品的化學成分應符合表的規(guī)定其中鎢鈦含量為減去表中非氣體雜質(zhì)實測含量總和

1,100%。

表1化學成分

牌號

元素

WTi-99.9WTi-99.95WTi-99.99WTi-99.995WTi-99.999

鎢鈦含量質(zhì)量分數(shù)不小于

()/%,99.999.9599.9999.99599.999

合金元素含量余量

W

質(zhì)量分數(shù)

()/

%Ti5~15

Al20151053

非氣體雜質(zhì)含量

質(zhì)量分數(shù)Ca105321

()/%

-6不大于

(×10),Cr151085

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