YS/T 1164-2016硅材料用高純石英制品中雜質(zhì)含量的測(cè)定電感耦合等離子體發(fā)射光譜法

ICS81040

Q35.

中華人民共和國(guó)有色金屬行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)

YS/T1164—2016

硅材料用高純石英制品中雜質(zhì)含量的測(cè)定

電感耦合等離子體發(fā)射光譜法

Testmethodforthecontentofimpuritiesinhighpurityquartzusedforsilicon

material—Inductivelycoupledplasmaatomicemissionspectrometrymethod

2016-07-11發(fā)布2017-01-01實(shí)施

中華人民共和國(guó)工業(yè)和信息化部發(fā)布

中華人民共和國(guó)有色金屬

行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)

硅材料用高純石英制品中雜質(zhì)含量的測(cè)定

電感耦合等離子體發(fā)射光譜法

YS/T1164—2016

*

中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)出版社出版發(fā)行

北京市朝陽(yáng)區(qū)和平里西街甲號(hào)

2(100029)

北京市西城區(qū)三里河北街號(hào)

16(100045)

網(wǎng)址

:

服務(wù)熱線

:400-168-0010

年月第一版

201812

*

書號(hào)

:155066·2-33756

版權(quán)專有侵權(quán)必究

YS/T1164—2016

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出并歸口

(SAC/TC243)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位亞洲硅業(yè)青海有限公司昆明冶研新材料股份有限公司洛陽(yáng)中硅高科技有限

:()、、

公司新特能源股份有限公司

、。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人王體虎魏東亮蔡延國(guó)宗冰季靜佳陳英張?jiān)茣煆垐@園邱艷梅

:、、、、、、、、。

Ⅰ

YS/T1164—2016

硅材料用高純石英制品中雜質(zhì)含量的測(cè)定

電感耦合等離子體發(fā)射光譜法

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了多晶硅用高純石英制品中鋁鈣鉀鈉銅鎂磷砷鋅鎳硼含量的測(cè)定方法

、、、、、、、、、、。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于多晶硅用高純石英制品中鋁鈣鉀鈉銅鎂磷砷鋅鎳硼含量的測(cè)定測(cè)定范

、、、、、、、、、、,

圍見表

1。

表1測(cè)定范圍

元素質(zhì)量分?jǐn)?shù)元素質(zhì)量分?jǐn)?shù)

/(μg/g)/(μg/g)

鋁磷

1.00~50.000.10~10.00

鈣砷

1.00~50.000.10~10.00

鉀鋅

0.10~50.000.10~10.00

鈉鎳

1.00~50.000.10~10.00

銅硼

0.10~5.000.10~10.00

鎂

1.00~5.00——

2規(guī)范性引用文件

下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

分析實(shí)驗(yàn)室用水規(guī)格和試驗(yàn)方法

GB/T6682—2008

數(shù)值修約規(guī)則與極限數(shù)值的表示和判定

GB/T8170

3方法提要

稱取一定量的試樣用氫氟酸溶解使二氧化硅轉(zhuǎn)化為四氟化硅除去殘?jiān)名}酸溶解試樣溶液

,,,。

引入電感耦合等離子體原子發(fā)射光譜儀在選定的測(cè)定條件下測(cè)量試液中各元素的含量

,,。

4試劑

41實(shí)驗(yàn)用水應(yīng)符合中規(guī)定的一級(jí)水的要求

.GB/T6682—2008。

42氫氟酸ρ每種雜質(zhì)元素含量均低于

.(≈1.14g/mL),100ng/L。

43鹽酸ρ每種雜質(zhì)元素含量均低于

.(≈1.12g/mL),100ng/L。

44鹽酸

.(1+1)。

45單元素標(biāo)準(zhǔn)貯存溶液采用國(guó)內(nèi)外可以量值溯源的有證標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)其質(zhì)量濃度為

.:,1000μg/mL。

46混合