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文檔簡介

大學物理學1*等厚條紋待測工件平晶

請問：此待測工件表面上，有一條凹紋還是一條凸紋？這條紋方向是怎么樣的（平行于或垂直于側(cè)棱）？答：凸紋，是垂直于側(cè)棱。若平行于側(cè)棱，等厚干涉條紋是什么樣子的？16-3-4

等厚干涉的簡單應(yīng)用1.檢查光學表明2*

例:有一個玻璃劈尖放在空氣中，劈尖夾角=810-5

用單色光垂直照射,=589.3nm，測得條紋間距l(xiāng)=2.4mm。求此玻璃的折射率.解:根據(jù)可得3*

例:制造半導體元件時，常常要精確測定硅片上氧化硅薄膜的厚度，這時可把氧化硅薄膜的一部分腐蝕掉，使其形成辟尖，利用等厚度條紋測其厚度。已知Si的折射率為3.42，SiO的折射率為1.5，入射光波長為589.3nm，觀察到7條暗紋。問SiO薄膜的厚度e是多少？解：可得=(2×6+1)×589.3×10-9/(4×1.5)=1.28×10-6m=1.28μm兩束反射光都有半波損失注意：第0級條紋的位置4*h待測塊規(guī)λ標準塊規(guī)平晶校驗塊規(guī)1.精密測長度待測樣品石英環(huán)λ平晶干

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