激光干涉測長技術(shù)

激光干涉測長技術(shù)第一頁，共二十三頁，2022年，8月28日一、激光干涉測長的基準(zhǔn)

1975年召開的第十五屆國際計量大會“要求國際計量局和各國研究所繼續(xù)對這些引起輻射（指甲烷和碘穩(wěn)定的氦氖激光波長）進(jìn)行研究”。由于穩(wěn)頻技術(shù)的進(jìn)展，甲烷和碘穩(wěn)定的氦氖激光波長值的穩(wěn)定性和再現(xiàn)性都很高，因之有可能取代86Kr的波長而作為長度的自然基準(zhǔn)。在1979年6月召開的國際“米”定義咨詢委員會第六次會議上，已提出了一個“米”定義的建議草案。建議將“米”定義為“平面電磁波在1/299792458秒的時間間隔內(nèi)在真空中傳播的距離”。§6-1激光干涉測長概述第二頁，共二十三頁，2022年，8月28日二、激光干涉儀的特點(diǎn)

激光干涉儀，除了具有經(jīng)典的邁克爾遜干涉測量系統(tǒng)的高精度，高靈敏度等優(yōu)點(diǎn)外，還具有以下特點(diǎn)。1．實現(xiàn)了條紋計數(shù)自動測量。2．無需補(bǔ)償板。3．角錐棱鏡的優(yōu)點(diǎn)得到充分利用。由于角錐棱鏡在運(yùn)動時即使有小的轉(zhuǎn)動也不影響反射光軸的方向，從而大大降低了對運(yùn)動導(dǎo)軌的機(jī)械精度要求。由于反射光束和入射光束是非共軸的，從而避免了反射光的干擾。4．降低了對光闌的要求。由于激光單色性好、亮度高，所以，激光干涉系統(tǒng)對光闌的主要作用是減小激光器二次發(fā)散光束的影響和擋住背景雜散光，它可安置在準(zhǔn)直光管物鏡的主焦點(diǎn)上。光闌的形式為小圓孔。5．空氣折射率自動測量與修正。第三頁，共二十三頁，2022年，8月28日一、基本測量公式

邁克爾遜雙光束干涉儀測長的公式為（在真空中）（“增量法”測長）當(dāng)介質(zhì)為空氣時，上式變?yōu)槭街蠰為被測長度，n是空氣折射率，λ0是真空中的波長，N是干涉條紋明暗變化的數(shù)目?！?-2激光干涉儀設(shè)計第四頁，共二十三頁，2022年，8月28日二、幾種典型的布局

1．使用角錐棱鏡反射器的干涉系統(tǒng)。（1）圖（a）結(jié)構(gòu)的主要特點(diǎn)是反射光束不能反饋回激光器。缺點(diǎn)是這種成對使用的角錐棱鏡要求配對加工，而且加工精度要求高。（2）圖（b）結(jié)構(gòu)只用一個角錐棱鏡作可動鏡，鏡M1和M3還能做成一體，如圖（c）所示。（3）圖（d）的布局只用一個角錐棱鏡作動鏡，已基本上不受鏡座多余自由度的影響，而且光程增加一倍。所以也叫做雙光程干涉儀系統(tǒng)。第五頁，共二十三頁，2022年，8月28日幾種典型布局第六頁，共二十三頁，2022年，8月28日2．整體式布局。這是一種將多個光學(xué)元件結(jié)合在一起，構(gòu)成一堅固組件的布局結(jié)構(gòu)。如圖所示。特點(diǎn)：系統(tǒng)對外界的抗干擾性較好。缺點(diǎn)是調(diào)整不方便。該系統(tǒng)不僅多余自由度消除好，靈敏度也提高一倍。整體式布局系統(tǒng)第七頁，共二十三頁，2022年，8月28日3．光學(xué)倍頻的布局（特倫系統(tǒng)）。為了提高干涉儀的靈敏度，可以用光學(xué)倍頻（也稱光程差放大器）的棱鏡系統(tǒng)，如圖所示。M1每移動λ/2k就有一個干涉條紋的位移。在這種情況下，當(dāng)a作為棱鏡斜邊長度時，M2對M1的位移為a/k（k為正整數(shù)）。特點(diǎn)：能用簡單的脈沖計數(shù)邏輯做精密測量，而無須依靠條紋細(xì)分，這種技術(shù)還使干涉儀結(jié)構(gòu)緊湊，可使熱、空氣以及機(jī)械干擾減小。光學(xué)倍頻系統(tǒng)第八頁，共二十三頁，2022年，8月28日三、干涉條紋的對比度1．對比度的定義：式中：IM和Im分別為干涉條紋信號強(qiáng)度的極大值和極小值。當(dāng)k≥0.75時，對比度是好的。當(dāng)k≥0.5時，對比度是滿意的。當(dāng)k=0.1時，條紋可分辨，但很難使儀器正常工作。2．影響對比度的因素：（1）光源單色性對條紋對比度的影響式中：Δυ為光源譜線寬，δ為光程差。第九頁，共二十三頁，2022年，8月28日又知，光源的相干長度δΔυ為于是，只要干涉系統(tǒng)的光程差等于或小于光源相干長度的四分之一，即以代入對比度便可達(dá)對于波長λ=6328?的激光，它的Δλ<10-7埃。相干長度理論上可達(dá)40公里，因此，用激光作干涉儀的光源是可以得到很好對比度干涉條紋的。（2）光源的大小造成條紋對比度。由此激光光束截面上的不同點(diǎn)，有確定的位相關(guān)系，所以激光光束截面上各點(diǎn)發(fā)出的光皆可產(chǎn)生干涉。因此，激光作干涉儀的光源，不受發(fā)光面積大小的限制。第十頁，共二十三頁，2022年，8月28日（3）兩支相干光，強(qiáng)度比的影響。設(shè)干涉體系一支光路的光振動為：E1=E0cosωt光強(qiáng)為它的k倍的另一支光路的相干光振動為：合成光振動的復(fù)數(shù)表達(dá)式為合成光強(qiáng)度I于是，兩支光強(qiáng)不同引起的對比ki為：若取k=4，則Ki可達(dá)0.8。第十一頁，共二十三頁，2022年，8月28日四、非期望光的抑制那些不反映被測量的光就稱為非期望光線或雜光。消除非期望的光線。采取的措施大致有以下幾種：（1）設(shè)計時盡可能減少干涉體系光學(xué)零件的數(shù)目，以減少不必要的反射面和產(chǎn)生非期望光線的機(jī)會。在不希望反射的界面上鍍以增透膜，鏡筒、鏡框內(nèi)表面涂黑漆，以減低非期望光線的強(qiáng)度。（2）析光鏡上常常產(chǎn)生非期望光線。析光板產(chǎn)生的非期望光線第十二頁，共二十三頁，2022年，8月28日●動條紋：除了在析光板鍍膜面上分裂而成的兩條期望的相干光線1、2處，還可能產(chǎn)生光線3和4，其光強(qiáng)雖代于前者，若所形成條紋的間隔適當(dāng)還是足以察覺出來，它和期望的干涉圖樣一樣，也會隨著反射鏡的平移而運(yùn)動?！耢o止條紋：如析光板的楔角適當(dāng)，還會在干涉場上看到不隨反射鏡移動而變的一組固定的干涉條紋。解決的辦法是加厚析光板或?qū)⑺瞥尚ㄐ?，使非期望光線移向一邊而不能進(jìn)入干涉場。（3）在光路中適當(dāng)?shù)牡胤桨仓靡会樋坠怅@，擋去大部分非期望光線，讓沿著設(shè)計的路徑行進(jìn)的相干光線照常通過。針孔光闌一般安置在透鏡的焦面上或高期光束的束腰位置上。還有許多阻擋非期望光線進(jìn)入干涉場的方法，如在接收元件前面加遮光罩和針孔，干涉體系自成密閉等。（4）光學(xué)零件表面的塵埃會產(chǎn)生衍射花樣，這種現(xiàn)象在激光束很細(xì)的地方更為嚴(yán)重，必須認(rèn)真做好光學(xué)元件的清潔工作。同理，對光學(xué)元件的表面質(zhì)量，材料的多項質(zhì)量指標(biāo)均應(yīng)予以適當(dāng)提高。第十三頁，共二十三頁，2022年，8月28日（5）用偏振的方法來消除非期望光線。原理是：用偏振元件使沿著設(shè)計路徑行進(jìn)的光束能不受阻擋地進(jìn)入干涉場，而其他所有的非期望光線都被排除在干涉場之處。例如圖，光線入射到析光鏡2之前已被起偏振器1變成線偏振光，干涉場前面放置一個檢偏器7，并使它和起偏振器正交，因此，從干涉儀任何表面反射來的光線都被檢偏器阻擋了，就連所期的兩束相干涉的光也不能通過7進(jìn)入干涉場，為此需要在反光鏡5、6前面安放一個光軸與入射偏振光成45°的波片4，使反射前后光線的偏振方向旋轉(zhuǎn)90°，于是所期望的光束就能通過檢偏器，而一切非期望光線則被排除在干涉場之外，稍稍轉(zhuǎn)動波片，還能調(diào)節(jié)光束的強(qiáng)度，以平衡兩束相干光線的強(qiáng)度。這種偏振的方法在實踐中是非常有用的。第十四頁，共二十三頁，2022年，8月28日用偏振的方法來消除非期望光線第十五頁，共二十三頁，2022年，8月28日五、反射器各種反射器如圖所示，有平面反射鏡1、直角棱鏡2、角錐棱鏡3、三種貓眼系統(tǒng)4和固定反射鏡與直角棱鏡的組合5。各種反射器第十六頁，共二十三頁，2022年，8月28日六、移相器

干涉條紋屬增量碼，需要判向可逆記數(shù)。干涉條紋的移相就是為了判別動鏡移動的方向和倍頻的需要。它是將干涉條紋用一定的方法分為二部分并使兩者的位相偏移π/2，經(jīng)光電轉(zhuǎn)換后，這兩部分輸出的電信號的位相也偏移π/2，可用這兩組信號來進(jìn)行判向和倍頻。下面介紹幾種常見的移相方法。1．翼形板和分象棱鏡組合的移相。翼形板的形狀如圖，是由兩厚度相等、材料相同的玻璃平板膠合而成，兩板夾角170°，厚度5mm翼形板在激光干涉比長儀中是如圖方式安置的，即它被放在干涉光路（測量光路或參考光路均可）光束截面的下半部。使用時，以兩板的交棱為軸，適當(dāng)轉(zhuǎn)動翼形板，使通過兩板的光線彼此有λ/4的光程差。翼形板及其安置方式第十七頁，共二十三頁，2022年，8月28日2．狹縫移相當(dāng)。在兩光電接收器前分別置兩狹縫，如圖，使兩狹縫相對移開1/4干涉條紋的距離，這樣通過兩狹縫的兩組干涉條紋就有π/2的位相差。狹縫移相第十八頁，共二十三頁，2022年，8月28日3．在析光鏡上鍍移相膜法。在析光鏡上鍍移相膜第十九頁，共二十三頁，2022年，8月28日七、光電接收時的光電匹配問題光電匹配問題為兩個方面：一是我們在設(shè)計原則時已討論過的光電匹配，是應(yīng)使激光器輸出的功率經(jīng)干涉系統(tǒng)到達(dá)探測器的光強(qiáng)正好是在該探測器輸出線范圍；另一方面是從信噪比出發(fā)，要求探測器的寬度b和條紋的寬度e的比取b/e=0.37為最佳。八、方向判別與四倍頻計數(shù)由于動鏡在導(dǎo)軌上沿光軸移動的過程中，存在各種偶然因互的干擾（例如外界振動、導(dǎo)軌的平直度誤差以及機(jī)械傳動系統(tǒng)的不穩(wěn)定等），使動鏡產(chǎn)生偶然的反向運(yùn)動，這種偶然的反向運(yùn)動使計數(shù)器所顯示的脈沖數(shù)為正反向移動的總數(shù)，而不是真正的被測長度，因此必然存在測長誤差。為了解決這一問題，經(jīng)光電轉(zhuǎn)換并放大整形后，信號進(jìn)入一方向判別電路，該電路把計數(shù)脈沖分成加、減二種脈沖，工作臺正向移動時引起的脈沖為加脈沖、反向移動時引起的脈沖為減脈沖、把這兩種脈沖分開后送入可逆計數(shù)器計數(shù)。第二十頁，共二十三頁，2022年，8月28日方向判別電路的原理。先在干涉系統(tǒng)中應(yīng)用移相方法（詳見后述）將干涉條紋分為兩組且彼此位相偏移π/2，分別經(jīng)光電轉(zhuǎn)換后，輸出的兩組光電信號也彼此有π/2的位移偏移，這兩組光電信號分別經(jīng)放大、整形、倒相，變成四個位相依次差π/2的矩形脈沖，再經(jīng)斯密特電路把波形變換成尖脈沖。當(dāng)工作臺正向移動時，脈沖的排列為1、3、2、4、1；反向移動時，脈沖排列次序為1、4、2、3、1，如圖所示。在邏輯電路上可根據(jù)脈沖1的后面是1或4來判別正向加脈沖或反向減脈沖，并分別逆入加脈沖的“門”或減脈沖的“門”中去，從而可得到總的加脈沖或減脈沖信號。第二十一頁，共二十三頁，2022年，8月28日判向電路除提高了儀器的抗干擾能力外，還把一個周期的干涉條紋變化（即亮暗變化一次）變成四個脈沖輸出信號。因此在測長時，當(dāng)條紋變一條時，可逆計數(shù)器顯示4個脈沖數(shù)，這等于把條紋4細(xì)分了，常稱四倍頻計數(shù)。此時每一脈沖代表λ/8的移動量，所測得的長度辯向電路原理第二十二頁，共二十三頁，2022年，8月28日九、激光球面干涉儀偏振干涉系統(tǒng)