半導體清洗工藝課件

半導體清洗工藝超聲波清洗

超聲波清洗工藝超聲波清洗技術以其清洗潔凈、清洗快速，并節(jié)省大量人力、物力而得到廣泛應用?，F從超聲波的清洗原理、超聲波清洗工藝、清洗劑的配制等幾個方面提供意見，以供參考。

一、超聲波清洗原理

超聲波清洗機理極為復雜，到目前為止，還有許多問題有待研究人員論證，目前，相關人員對以下提法形成了共識，利用超聲場所產生強大的作用力，以促使物質發(fā)生一系列物理、化學變化而達到清洗目的。具體來說：當超聲波的高頻(20-50KHZ)機械振動傳給清洗液介質以后，液體介質在這種高頻波振動下將會產生近真空的“空腔泡”，“空腔泡”對清洗對象的強烈的作用稱為“空化作用”。

二、清洗劑的配制

在討論清洗劑的配制時，首先要想到清洗劑對污物的清洗原理及清洗過程。洗滌歷史雖然已久，但因洗滌過程及體系的高度復雜，至今理論界對之仍只具備理論上研究而對洗滌過程難以達到數據控制。這是因為溶液體系是多相分散體系。分散介質又是含有各式各樣組分的復雜溶液：體系中涉及的表面和界面，及污垢的性質都極為復雜。具體到光學鏡片鍍膜前的清洗，簡言之：由于清洗液的存在，使水的表面張力得到極大程度的降低，并使固液面發(fā)生極大程度的潤濕、滲透、乳化等一系列的化學作用，從而使污物脫離固體表面而使鏡片表面干凈、無塵。

超聲波清洗工藝光學鏡片加工中不同的工序應有不同的清洗工藝，從整體流程看，可分為四道工序：洗滌、漂洗、脫水、干燥。洗滌主要利用有機溶劑如三氯乙烯對上盤膠、蠟、防霉劑等的高度溶解而達預洗目的，然后利用洗滌劑對鏡片表面的濕潤、滲透、乳化而綜合成的去污作用。漂洗，通過清水對鏡片表面的沖洗及超聲作用，使洗滌后松散于鏡片表面的洗滌劑脫離鏡片表面。

脫水：經漂洗后的鏡片表面含有大量水分，進入脫水劑中進行脫水，脫水劑多為有機溶劑，和水能充分混溶。

干燥：干燥劑應和脫水劑沸點相近，互溶性好。

華林科納簡介

CSEBriefIntroduction蘇州華林科納半導體設備技術有限公司由中國科學院蘇州納米技術與納米仿生研究所合資成立于2008年3月，投資4500萬元。主要從事半導體設備、太陽能光伏設備、液晶濕制程設備、真空設備的研發(fā)、技術推廣和生產銷售。

SuzhouCSESemiconductorEquipmentTechnologyCo.,Ltd.,isajoint-stockenterpriseinvestedbyCASSuzhouInstituteofNano-techandNano-bionicsandBeijingHLCo.,whichwassetupinMar.2008anditsregisteredcapitalis45millionRMB.TheCompany’smajorproductsaresemiconductorequipments,solarphotovoltaicequipments,LCDcleaningfacilities,vacuumequipmentsandetc.清洗設備資料上料機械手下料背部上下位移邊路控制水平傳動槽體全自動硅料清洗設備

1.全自動硅料清洗設備主要參數設備名稱：全自動硅料清洗機設備型號：CSE-DLR-09XX清洗工件：破碎后6~150mm的不規(guī)則硅塊設備外形尺寸：LxWxH=9000x2250x2300mm；最大產量：1300噸/年節(jié)拍：450秒/批處理量：30kg/批處理最大重量：45Kg2.華林科納全自動硅料清洗機特點PLC控制工藝全過程，10.4英寸大型觸摸屏（彩色）人機界面顯示。設備由職業(yè)設計師設計，采用人性化的設計理念，專業(yè)的行業(yè)特用材料定制而成，是設備實現性價比最佳配合的同時兼顧設備的美觀大方。設備為自動智能全封閉的清洗設備，由PLC控制機械手根據設定的工藝程序，自動將實現對工件的去酸洗、漂洗、超聲、干燥等工藝處理。避免人工操作不確定性和污染，確保產品性能的一致性。合理的潔凈單元及排風系統(tǒng)設置，確保清洗環(huán)境的高潔凈度。優(yōu)異的工藝配置確保產品的質量的同時，提供多種循環(huán)利用功能，為您節(jié)省消耗成本。設備采用不間斷流程節(jié)拍，可以很好的結合工廠生產需要，配有手動、自動相互轉換功能。采用單臂式機械臂，由進口伺服馬達控制，定位精度≤0.3mm，可靠性高；升降及懸臂部分均用PP包覆，使用壽命長；加減速運動平穩(wěn)，沖擊?。粏为毜臋C械臂急停開關和過載保護等多重保護，確保操作安全。精巧周到的細節(jié)設計，使給你意想不到的回報；

設備構成

面向設備，左端上料，右端下料，觸摸屏于左前端。設備由本體、進料工位、超聲槽（個）、酸洗槽（1個）、三階溢流槽（1套）、氮氣切水槽（1個）、真空烘干槽（3個）、出料工位、電氣控制部分等組成。聯(lián)系我們蘇州華林科納半導體設備技術有限公司地址：蘇州工業(yè)園區(qū)獨墅湖高等教育區(qū)若水路398號聯(lián)系人：王麗娟電話箱：網址：SuzhouCSESemiconductorEquipmentTechnology