二次配工程規(guī)范

二次配工程規(guī)范中緯積體電路(寧波)新建工程1.目的2.范圍3.文件送審4.施工說明5.其他說明6.驗收標(biāo)準(zhǔn)7.保固期限為使設(shè)備機(jī)臺按照計劃順利裝機(jī)、運轉(zhuǎn)，且亦能維護(hù)HookUp二次配管施工之品質(zhì)及作業(yè)安全。本規(guī)范如有任何疑慮依業(yè)主及總顧問公司解釋為準(zhǔn)。2.1.制程設(shè)備氣體管線Hook-up工程材料采購及管路安裝；Hook-up范氣瓶柜出口接至機(jī)臺(含VMB)，其他特殊氣體自位於氣體房或Subfab之氣瓶柜/架至機(jī)臺內(nèi)部接點(含VMB/VMP)，其中必要的管線，請參照”氣體站至FAB棟氣體二次配管線平面圖”(圖號SP-234)；與機(jī)臺銜接點等相關(guān)資料，請參照附件一”Bulkgastake-offlist”、附件二”SpecialtygasVMB/VMPlist”及附件三”CDAtake-offlist”。承包制(Auto2000或以上版本圖檔予顧問及業(yè)主)、安裝後泄漏偵測、各項不純物量測、訊號測試、材料存放及廢料清潔等雜項工程。其中施工圖及ISO圖面，需依照機(jī)臺用量流程圖(P&ID)及機(jī)臺設(shè)備外觀圖繪制，并配合材料明細(xì)表供業(yè)主確認(rèn)。2.3.本項工程為連工帶料施工，并包含施工中所需之施工工具、施工設(shè)備、無塵服、安全防護(hù)器具、管支撐及雜項消耗等，均由承包商負(fù)責(zé)。2.4.配合”二次配工程說明”(規(guī)范標(biāo)號NS-SP001)要求所需各項雜項費用。2.5.所有管路標(biāo)示，管路標(biāo)示依照”二次配工程說明”辦理。2.6.所有管路防震固定支撐架之安裝定位。文件名稱報價表(Quotationform)專案組織表(Projectorganization)專案執(zhí)行時程表(Projectschedule)工程界面清單及位置圖(List&locationoftie-inpoint)投標(biāo)階段(3份)XXXX設(shè)計階段(5份)XXX竣工階段(5份)XXXX投標(biāo)階投標(biāo)階段文件名稱(3份)XX設(shè)備及材料型錄及資料(Vendor’scatalogsandinformationtosupporthisquotation，includingelectricalsystem&I/Csystem)儀表安裝詳圖(Instrumentinstallationdrawing)送審文件清單及時程(Transmittallistandschedule)品質(zhì)管制程序書(Qualitycontrolprocedure)工地辦公室及物料暫存區(qū)需求(Siteofficeandwarehouserequirements)驗收及測試計劃/報告(Inspection&testplan/reports)制造商測試報告(Manufacture’sinspection&testreports/records)計算書(Contractor’scalculations)管線配置圖(Piperoutingplan)管線支撐詳圖(Pipesupportdrawing)管材規(guī)格(Pipingmaterialspecification)管線施工程序書(Pipingconstructionspecification)系統(tǒng)管儀圖(P&IDs)焊接設(shè)備清單(Equipmentlist)竣工階段(5份)XX設(shè)計階段(5份)XXXXXXXXXXXXXXXXXXXXXXX注：1.承包商需於得標(biāo)後一周內(nèi)提出文件送審清單，并於施工前2周提送設(shè)計文件及相關(guān)管件及標(biāo)示實體供審核；送審圖面則需在業(yè)主提出意見後3天內(nèi)修改并再次送審。2.所有送審文件必須以中文或英文書寫；英文送審文件需附中文說明。3.所有竣工階段需提送之文件均需檢附電子檔4.1.1.承包商應(yīng)於施工前提送施工程序書及管路測試程序書，經(jīng)審4.1.2.承攬商需於工作場所設(shè)置工程負(fù)責(zé)人，需有相關(guān)工程經(jīng)歷三4.1.2.1.施工進(jìn)度控制。4.1.2.2.施工人員管理及安排。4.1.2.3.材料數(shù)量管制。4.1.2.4.現(xiàn)場會勘放樣。4.1.2.5.參與承攬商溝通協(xié)調(diào)會議4.1.3.承攬商需於工作場所設(shè)置品管負(fù)責(zé)人，需有相關(guān)工作經(jīng)歷三年以上，其階層與工程負(fù)責(zé)人同等，其工作職責(zé)為：4.1.3.1.施工品質(zhì)控制。4.1.3.2.施工完工品質(zhì)驗收。4.1.3.3.施工驗收報告匯總。4.1.3.4.原料進(jìn)廠自主檢查。4.1.4.承攬商需於工作場所設(shè)置物管負(fù)責(zé)人，需有相關(guān)工作經(jīng)歷一年以上，其工作職責(zé)為：4.1.4.1.材料數(shù)量管理。4.1.4.2.進(jìn)廠料件驗收。4.1.5.承攬商需於工作場所設(shè)置工安衛(wèi)負(fù)責(zé)人，需有相關(guān)工作經(jīng)歷一年以上，其階層與工程負(fù)責(zé)人同等，其工作職責(zé)為：4.1.5.1.現(xiàn)場安全衛(wèi)生工作監(jiān)督。4.1.5.2.參與承攬商安全衛(wèi)生協(xié)調(diào)會議。4.1.5.3.承攬商施工人員安全衛(wèi)生訓(xùn)練。4.1.6.施工人員數(shù)組，依工程數(shù)量適時增加人員，但在工程期限內(nèi)最低需保留三組，每組人員最少三人，每組至少有一人有焊接執(zhí)照，并由一資深組長帶領(lǐng)，所有進(jìn)廠施工之人員必須經(jīng)過認(rèn)可且通過工安檢定之人員。4.1.7.品管人員數(shù)組，依工程數(shù)量適時增加人員，但在工程期限內(nèi)最低需保留一組，每組人員最少二人，由一資深組長帶領(lǐng)，但不可由品管負(fù)責(zé)人擔(dān)任。4.1.8.承攬商有任何人員調(diào)動需經(jīng)過認(rèn)可，且業(yè)主相關(guān)之人員有權(quán)提出異議要求更換，承攬商不得有異議。4.2.材料說明4.2.1.氣體管線之分類及其材質(zhì)要求如下表規(guī)定辦理。氣氣體種類GN2CDACDA(forburnbox)PNPOSiHClNHPHBH/NCl2,2,22,3,2,262,2,HBr,NF3,BCl3,HF,CHF3,CF4,C2F6,SF6,PAr,PHe,N2O,He/O2材質(zhì)SUS316LBA/5SSUS316LAP/5SSUS304/5S內(nèi)管SUS316LEP/外管SUS304BCl3、SiH2Cl2之管線需提供加熱帶以確保供氣量。一般大宗氣體燃性氣體其他氣體4.2.2.各類管線、管件及儀表廠牌，請依下表規(guī)定辦理，承包商應(yīng)規(guī)定之廠牌，需經(jīng)過業(yè)主審核同意後使得選用。Rmax<μmRmax<μmRmax<μmRmax<μmRmax<μmRmax<μmRmax<μmBellowvalve,Rmax<μmDiaphragmvalve,Rmax<μmBellowvalve,Rmax<μmDiaphragmvalve,Rmax<μmSUS316LEP,VCRtype,Rmax<SUS316LEP,VCRtype,poreSumikin/KuzeSumikin/KuzeKitz/Kuze/Swagelok/Ham-letKitz/Kuze/Swagelok/Ham-letSumikin/KuzeSumikin/KuzeKitz/Kuze/Swagelok/Ham-letKitz/Ohno/MotoyamaKitz/Fujikin/Ohno/MotoyamaKitz/Ohno/MotoyamaKitz/Fujikin/Ohno/MotoyamaAP-tech/Veriflo/Tescom/wnLBApipeSUS316LBAtubeSUS316LBAfitting(forpipe)SUS316LBAfitting(fortube)SUS316LEPpipeSUSLEPtube)SUSLEPfittingSUS316LBAvalve(≧15A)SUS316LBAvalve(<15A)SUS316LEPvalve(≧15A)SUS316LEPvalve(<15A)RegulatorMPAR234.2.3.VMB/VMP設(shè)備4.2.3.1.承包商需負(fù)責(zé)設(shè)計及提供特殊氣體供應(yīng)所需VMBSpecialtyGasVMBlist”及相關(guān)圖面指示辦理；經(jīng)過VMB/VMP後管線則直接接至使用點。照”VMB/VMP示意圖”(圖號SP-230)指示辦理。承包商於每種氣體之VMB/VMP，均需於進(jìn)氣主管路預(yù)留3/8”隔膜閥(氫氣為1/2”)以供未來擴(kuò)充用。4.2.3.3.VMB需具備差壓計以檢視排氣之正常與否。4.2.3.4.VMB須具備緊急關(guān)斷功能，且緊急關(guān)斷需能於現(xiàn)場及遠(yuǎn)端控制。4.2.3.5.所有儀電設(shè)備之組裝與測試需根據(jù)NFPA70，NationalElectricalCode。4.2.3.6.得標(biāo)商應(yīng)於現(xiàn)場進(jìn)行VMB/VMP之功能測試，現(xiàn)場測試其氦測漏率應(yīng)≦1×10-9atm-cc/sec。4.2.3.7.各VMB所需氣體偵測器由業(yè)主提供，承包商需負(fù)責(zé)安裝及連結(jié)各項控制線路。4.2.3.8.VMB內(nèi)所有閥件與管件均需以VCR形式銜接。4.2.4.承包商於每批材料進(jìn)廠時，需檢附原廠檢驗及測試報告，若為國外進(jìn)口品則需附進(jìn)出口文件；所有材料須經(jīng)業(yè)主對於外觀、潔凈度進(jìn)行檢驗，合格後方能進(jìn)廠；如有需要也要將所未達(dá)標(biāo)準(zhǔn)造成延誤之後果，由承包商負(fù)責(zé)。4.2.5.所有二次配工程所需材料，備料時間需於機(jī)臺Move-in前一個月完成，且須有足夠的安全庫存量。4.2.6.無共用管架處之獨立配管管路support由承包商負(fù)責(zé)，包商需經(jīng)過計算後，提送標(biāo)準(zhǔn)圖送審。4.3.1.預(yù)制作業(yè)4.3.1.1.於機(jī)臺movein前三十天進(jìn)行現(xiàn)場會勘，承包商依會勘結(jié)果繪制電腦施工圖。4.3.1.2.movein前二十五天進(jìn)行套圖會議，確認(rèn)各管線之高程及路徑。4.3.1.3.高純度管件需在Class1,000或更佳的環(huán)境內(nèi)進(jìn)行焊接，承包商需在現(xiàn)場提供臨時之無塵作業(yè)環(huán)境，所有管線或管件之預(yù)制作業(yè)應(yīng)在該無塵環(huán)境中進(jìn)行。4.3.1.4.承包商需提供QC儀器廠商最近三個月內(nèi)之校正報告，測試報告及校正資料需負(fù)責(zé)工程師核可方可使用。4.3.2.安裝作業(yè)裝設(shè)隔膜閥、調(diào)壓器、壓力表及過濾器，詳細(xì)安裝數(shù)量及位置請參照”SP-2二次配管詳圖”(圖號SP-231)指示辦理。4.3.2.2.所有焊接機(jī)具須能提供給十組以上人員同時使用；QC機(jī)具須能提供給三組以上人員同時使用，QC機(jī)具應(yīng)至少包括氦測漏機(jī)、Particlecounter及露點偵測機(jī)。4.3.2.3.承包商進(jìn)行管線支撐設(shè)計，應(yīng)至少每m即設(shè)計一面，供業(yè)主審閱核準(zhǔn)；如遇現(xiàn)場需求，承包商得視實際狀況增加支撐數(shù)量。4.3.2.4.切管作業(yè)：a)管徑15A以下，可以用手動切斷器；管徑15A以上，需使用電動管車刀切斷，不能使用一般鋸弓。切管完後，管壁內(nèi)外皆有毛邊，須用刮刀鏟除毛邊。b)管件預(yù)作處理前(切管或組管)，須持續(xù)以GN2吹凈。4.3.2.5.彎管作業(yè)：1/2”以下配管采彎管配管，若因現(xiàn)場因素?zé)o法執(zhí)行，則一律使用Elbow施工；彎管需使用合適之彎管器，不可使用手彎。4.3.2.6.焊接作業(yè)：a)承包商需於每日工程開始前於現(xiàn)場制作二份各種不同管徑之標(biāo)準(zhǔn)焊道樣品，以供未來現(xiàn)場TestPiece目視檢察比對之標(biāo)準(zhǔn)。b)承包商需於下列時機(jī)，當(dāng)場施作TestPiece，不可先行施作，并須紀(jì)錄焊接參數(shù)，經(jīng)QA/QC人員檢驗確認(rèn)合格後，施工承商才能開始施工。1.每日焊接開始前及結(jié)束後。2.改變管徑大小、鎢棒更換、焊接程式變更後。3.焊接工作中斷超過一小時或變更電源後。4.任何有缺陷之焊接情況發(fā)生後。c)本次氣體管線二次配工程均采用自動軌道氬焊(auto-orbitalTIG技)術(shù)施工。5.1.依業(yè)主之廠務(wù)單位提出之需求作為施工依據(jù)。5.2.配合業(yè)主系統(tǒng)運轉(zhuǎn)之需求施工，若發(fā)生趕工情形，須配合加班或增派人力，以如期完工。5.3.管線沖凈所需任何裝備及各項安全必須之設(shè)施裝備，均由承包商自行負(fù)責(zé)提供。5.4.Hookup時，機(jī)臺已有定位位置但尚未定位時，氣體配管承商需先配.需購買一臺2瓶式的氣瓶架供應(yīng)He。該氣瓶柜須具有auto-switch和auto-purge功能，依據(jù)氣體壓力、鋼瓶重量及氣體性質(zhì)自動切換鋼號包含氣體供應(yīng)狀況、氣瓶重量、壓力顯示、allalarm及runningstatus等功能；控制系統(tǒng)采用可程式化邏輯控制(PLC)，能自動及手動控制并能與氣體偵測系統(tǒng)(GasDetectionSystem)相容；所有管線銜接應(yīng)為自動焊接及VCRgasketCompressionSeals；氣瓶架歧管閥件上應(yīng)有GasketFilter及AfterFilter；得標(biāo)商應(yīng)於現(xiàn)場進(jìn)行氣瓶架SiH4房之防爆照明燈具、室內(nèi)空調(diào)設(shè)施(房間尺寸m，溫度控制范圍15~25℃，氣瓶柜排氣量需與系統(tǒng)承包商確認(rèn))，及該房間之排氣系統(tǒng)5.7.廠商須於收到PO後一周內(nèi)派人至SinoMOS(或陪同ToolsRefurbish外觀檢查：6.1.1.所有管路是否依照圖面施工，并依照規(guī)范清楚貼上管路標(biāo)示。度。。管線試壓：或6.2.2.壓力試驗應(yīng)使用圓盤式或電子式壓力紀(jì)錄器作成詳細(xì)記錄，壓，試驗之日期，時間及雙方試驗人員，并送業(yè)主存查。6.2.3.試驗前後之壓力差，在經(jīng)過溫度校正後，誤差應(yīng)不得大於1%。6.2.4.試壓後排放管內(nèi)壓力，并應(yīng)保持吹凈狀態(tài)，或使管內(nèi)保持kgcm上壓力，同時須注意安全，防止缺氧。氦測漏檢驗：6.3.1.承包商需針對所有VMB、VMP、PH2及specialtygas管線進(jìn)行氦測漏試驗。6.3.2.氦測漏率應(yīng)≦1x10-9atm-cc/sec。.4.水分含量測試：6.4.2.各類氣體測試點及含量要求應(yīng)依下表辦理：GN2≦100ppbDP≦-70℃≦10ppb≦10ppbm/s。6.5.3.各類氣體測試點及含量要求應(yīng)依下表辦理：≦10pcs/scf(>μm)≦1pcs/scf(>μm)≦1pcs/scf(>μm)氧氣含量測試：觀察其下降趨勢及作為是否合格之依據(jù)。6.6.2.各類氣體測試點及含量要求應(yīng)依下表辦理：GN2≦100ppb≦10ppb≦10ppb2ISO7.保固期限keoffListTAKEOFFOTAKEOFFerQCLabWJ(2)WJAMI0CAMI0CAMI8330CAMI8330CAMI8330CAMI0DAMI0DAMI8330DAMI8330DAMI8330DAMI0BAMI0BAMI8330BAMI8330B33333333333TAKEOFFOTAKEOFFMIBalABTegal900A333133331331333333133133133()TAKEOFFOTAKEOFFBTegal900BAMIB/AAMI0AAMI8310AAMI8310AAMI8310AAMI8310BAMI8310BAMI8310BAMI8310B337333333333333TAKEOFFOTAKEOFFPSC-1PSC-1OCDO1CR-1CR-1TER333333()TAKEOFFOTAKEOFFRLYTUBECLEANSORTER11(()TAKEOFFOTAKEOFFchemicalhoodQCMSQCSEMJSMFQCF/AG4100AG09F-1WJ-1/2WJ-1NAMI0CAMI0CAMIC33()TAKEOFFOTAKEOFFAMICAMI8330CAMI8330CAMI8330DAMI8330DAMIDAMIDAMI8330DAMI8330DAMI8330BAMI8330BAMIBAMIBAMI8330BAMI8330BNOEHOSRDOVEN3131313311111111113TAKEOFFOTAKEOFFXOVENMATRIX1IXCRCR33131333TAKEOFFOTAKEOFFPSC-1PSC-1SRDB/18SRDB/18SRDB/18DBOEDBOEDBOEBOE-1DBOEDBOEDBOEGAMAsubsystemCR-1CR-1CR-1CR-1CR-1333333()TAKEOFFOTAKEOFFFSI-1aterterrcoater10eveloperdeveloper12loperFFAG4100AG0WJ-1/2WJ-1AMIBCDAMIBAMI8330CAMI8330D12()3/8”TAKEOFFOTAKEOFFLAMBCPSC5LAM490A/B/C/PSC-1PSC-1PSC-1Tegal900A/BTegal0BAMIABAMIAAMI8310AAMI8310BAMI8310BATRIXMATRIX12222222()TAKETAKEOFFOTAKEOFFasVMBListCATEGORYNO.12VEXIC3456789iHClSiH43H2PH/N32SiH/N42BH/N2623VMBVMPSERVICETOOLNO./CONNECTORSIZE&TYPETypeNo.LocationTypeNo.Location123456783+1GVB-30389-HJ1F2F9F1JR3+1GVB-30256-GHNovelND62008F18F2RUJRUJR3+1GVB-30489-HJ1F2F7FJR3+1GVB-30156-HNovel9F18F18F2RUJRUJR3+1GVB-30589-HJ1F2F7+1GVB-70189-HJ1F2F3F4F5F5F56F7FUJRUJRUJRUJRUJRUJRUJR/4"UJR3+1GVB-30856-GHWJ1WJ23+1GVB-30656-GHWJ1WJ23+1GVB-30756-GHWJ1WJ25+1GVB-70256-EF490A490B490C8330A8330B8330C1/2"1/2"1/2"1/4"VCR1/4"VCR1/4"VCR7+1GVB-70356-FG4420A4420BP5000P50001/4"VCR1/4"VCR5+1GVB-70456-EF4420A4420BP5000P50001/4"VCR1/4"VCR3+1GVB-3096-G8310A8310B1/4"VCR1/4"VCRNO3CHF3CF4CF26SF6TypeNo.Location5+1GVB-3106-GnoVMBpeo6-F67-F56-FG6-EF6-EF6-EF56-FG67-F89-D6-EF56-FGSERVICETOOLNOCONNECTORSIZE&TYPE123456781/4"VCR1/4"VCR1/4"VCRHB1/4"VCR1/4"VCR1/4"VCR1/4"VCR1/4"VCR1/4"VCR1/4"VCRB1/4"VCR1/4"VCR1/4"VCR1/4"VCR1/4"VCR1/4"VCR1/4"VCR1/4"VCR1/4"UJR1/4"VCR1/4"VCR1/2"1/2"Tegal900ATegal900B590B590C"1/4"1/2"1/2"590A490A490B490C"1/2"1/2"1/2"4420A4420BP-5000P-50001/4"VCR1/4"VCR8310A8310B4520A4520BCoater(QC)1/4"VCR1/4"VCR1/4"VCR1/4"VCR490A490B490C590A590B590C4520A4520B1/2"1/2"1/2"1/2"1/2"1/2"4420A4420B1/4"VCR1/4"VCRCATEGORYCATEGORYNO.TypeNo.LocationTypeNO2He/O2VMPSERVICETOOLNO./CONNECTORSIZE&TYPENo.Location12345673/8”GVP-30156-GHNovel8F18F2ND6200RUJRUJRGVP-30256-FGP5000P5000TAKEOFFOCDY-eenpJFFmmΦinΦJsQQeQsJ\sCMC-OXIDEJbEC^DVD-es00(s)O^EVEKCBs3OEVVEKCV-bbeJ8\J3s8s0s0Js03s8333QJ03QJ03QJ033s833333QsJ\sMY」CMCCMCTAKEOFFOCDASSub2FFmmΦinΦ11/2/221/24011/211/2211/211/2OVEN-1RS35-1WT-1AMIAAMI8310(B)TRIXTRIXMAAMBTegal900ATegal900APSC-1OENMEDIMPNV-6200A(3)A3331353522333333333321/2TAKEOFFOCDASSub3CDASSub4FFmmΦ