蝕刻速率的影響因素及操作演示文稿

蝕刻速率的影響因素及操作演示文稿現(xiàn)在是1頁(yè)\一共有17頁(yè)\編輯于星期三優(yōu)選蝕刻速率的影響因素及操作現(xiàn)在是2頁(yè)\一共有17頁(yè)\編輯于星期三影響蝕刻速率的因素比重蝕刻溫度ORP數(shù)值游離鹽酸的量速度（影響蝕刻時(shí)間，與速率無(wú)關(guān)。）藥水噴壓現(xiàn)在是3頁(yè)\一共有17頁(yè)\編輯于星期三蝕刻原理蝕刻反應(yīng)原理：Cu2++Cu=2Cu+蝕刻藥水還原：H2O2+Cu++2HCl=H2O+Cu2++2Cl-蝕刻槽內(nèi)的反應(yīng)方程式：H2O2+Cu+HCl=CuCl2+H2O現(xiàn)在是4頁(yè)\一共有17頁(yè)\編輯于星期三比重對(duì)蝕刻速率的影響當(dāng)比重小于34°Be（1.308）時(shí)，蝕刻速率隨著比重的增大而變大。當(dāng)比重大于34°Be時(shí)，蝕刻速率隨著比重的增大而減小。比重為34°Be時(shí)，蝕刻的速率最快為1.02mils/min。{ρ=144.3÷(144.3-oBe)...(a)或ρ=144.3÷(144.3+oBe)...(b)式中:ρ——表示溶液的密度（g/ml）；oBe——溶液的波美濃度；(a)式用來(lái)計(jì)算比水重的液體；（b)式用來(lái)計(jì)算比水輕的液體。}現(xiàn)在是5頁(yè)\一共有17頁(yè)\編輯于星期三現(xiàn)蝕刻工藝的比重設(shè)定值為1.30。在現(xiàn)有的條件基礎(chǔ)上，提高比重到1.305-1.31之間，可提高單位時(shí)間的蝕刻速率。現(xiàn)在是6頁(yè)\一共有17頁(yè)\編輯于星期三ORP值對(duì)蝕刻速率的影響ORP為570mv時(shí)，蝕刻速率最大。當(dāng)ORP大于580mv時(shí)，蝕刻速率不在隨ORP的改變而改變。產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程中，保持產(chǎn)線(xiàn)的ORP大于580mv，可以保持蝕刻的最大蝕刻速率。現(xiàn)在是7頁(yè)\一共有17頁(yè)\編輯于星期三蝕刻溫度對(duì)蝕刻速率的影響蝕刻速率隨著溫度的升高而變大?，F(xiàn)在是8頁(yè)\一共有17頁(yè)\編輯于星期三蝕刻溫度改變的其他影響ORP的數(shù)值會(huì)隨著溫度的增加而發(fā)生改變。（°C=（°F-32）*5/9）增大蝕刻溫度也會(huì)增大蝕刻的側(cè)蝕量。溫度提高，雙氧水、鹽酸揮發(fā)量大，增加藥水的損耗。現(xiàn)蝕刻線(xiàn)的蝕刻槽采用PVC，最高蝕刻溫度不宜超過(guò)55℃?，F(xiàn)工藝溫度為54℃。提高溫度來(lái)提高蝕刻速率的可操作范圍很小，只有1℃的操作值?，F(xiàn)在是9頁(yè)\一共有17頁(yè)\編輯于星期三游離鹽酸量對(duì)蝕刻速率的影響游離酸是指槽內(nèi)以HCL形式存在的鹽酸。增加游離酸的量可以促進(jìn)蝕刻速率。蝕刻液中必須存在一定的游離酸才能夠進(jìn)行蝕刻液的再生。0-3N的游離酸量時(shí)，蝕刻速率的增長(zhǎng)和游離酸的量成正比；3-5N的游離酸量時(shí)，增長(zhǎng)速率變緩?，F(xiàn)在是10頁(yè)\一共有17頁(yè)\編輯于星期三Cl-提高蝕刻速率的原因CuCl+2Cl-=(CuCl3）2-提高Cl-濃度可顯著提高蝕刻速率。氯化銅中發(fā)生銅的蝕刻生成的氯化亞銅不溶于水，在銅表面形成膜阻止反應(yīng)進(jìn)一步進(jìn)行過(guò)量的Cl-與氯化亞銅絡(luò)合形成可溶性的絡(luò)離子（CuCl3）2-從銅表面溶解下來(lái)提高蝕刻速率現(xiàn)在是11頁(yè)\一共有17頁(yè)\編輯于星期三游離的鹽酸還會(huì)導(dǎo)致側(cè)蝕值的變化增大游離算的濃度可以增大蝕刻值，但也會(huì)增大側(cè)蝕值；如果想控制側(cè)蝕值，游離酸的濃度不易過(guò)高。現(xiàn)在是12頁(yè)\一共有17頁(yè)\編輯于星期三不同濃度的游離酸的影響鹽酸溶度升高時(shí)，蝕刻時(shí)間減少，但藥水中游離酸的濃度增大，會(huì)增大鹽酸的揮發(fā)量，會(huì)腐蝕蝕刻的設(shè)備；且隨著游離酸濃度增加，氯化銅的溶解度會(huì)降低?，F(xiàn)蝕刻工藝的游離酸為1.45N。chemcut推薦值為1-2N，其他資料里面游離酸濃度基本為2-3N。槽內(nèi)的銅離子為180g/L,換算為物質(zhì)量為3N左右，此時(shí)6N的鹽酸和4N的鹽酸溶液的蝕刻速率基本相同，如果想提升鹽酸的量，4N的游離酸為最大值。氯化銅mol濃度6NHCl溶液4NHCl溶液2NHCl溶液水溶液現(xiàn)在是13頁(yè)\一共有17頁(yè)\編輯于星期三chemcut給的蝕刻參數(shù)ORP540mvto560mv游離酸1Nto2N比重32?Be(1.28)to34?Be(1.31)溫度130?F(54?C)實(shí)際使用數(shù)值ORP550±20mv游離酸1.45N（配槽值）屏顯值1.15N比重1.28to1.30溫度130?F(54?C)其他資料數(shù)值ORP>530mv游離酸<6N（2-3N）比重1.300溫度40?Cto55?C現(xiàn)在是14頁(yè)\一共有17頁(yè)\編輯于星期三檢測(cè)方法導(dǎo)線(xiàn)間距在質(zhì)檢分為機(jī)器檢測(cè)和手工檢測(cè)，一般使用的是手工監(jiān)測(cè)和數(shù)據(jù)測(cè)量值現(xiàn)在是15頁(yè)\一共有17頁(yè)\編輯于星期三藥水的噴壓相同產(chǎn)品，維持其他相關(guān)條件不變的前提下，2.2bar壓力下間距值為0.123mm、側(cè)蝕值為15.01um（0.015mm），2.5bar壓力下間距值為0.128mm、側(cè)蝕值為12.31um（0.012mm）。兩組數(shù)據(jù)總值相同，但2.5bar的產(chǎn)品間距值大于2.2bar的產(chǎn)品。上述數(shù)據(jù)可以看出：2.5bar的條件蝕刻速率大于2.2bar的蝕刻條件的蝕刻速率，因此增加藥水的壓力可以增加蝕刻速率?，F(xiàn)在是16頁(yè)\一共有17頁(yè)\編輯于星期三蝕刻提速可能調(diào)節(jié)的參數(shù)比重可提升0.01左右的值到1.31，來(lái)增加時(shí)刻速率。蝕刻溫度現(xiàn)溫度較高，且蝕刻槽的最大承受溫度為55℃，最多可提高1攝氏度。ORP數(shù)值可提升，使藥水的ORP數(shù)值一直保持在570mv以上，保持較高的