無塵室基礎知識

無塵室基礎知識無塵室基礎知識第1頁

1.污染定義

1.污染定義

a).全部存在于產品上，會對產品產生直接或間接危害物質；

b).全部存在于產品上，超出產品要求之外物質；

c).任何客戶不允許存在于產品上物質。

2.污染危害

a).打印白點，白線；

b).電路短路：導電物質在IC線路間；無塵室基礎知識第2頁c).ESD：不導電物在IC線路間，靜電積聚

ChargeESD；

d).粘結力不夠：加膠；

e).腐蝕，溫度積聚。

3.污染來源

人是無塵室中污染最大來源。無塵室空氣中檢測到污物中，80%來源于人，15%來源于工具和設備，5%來源于環(huán)境。無塵室基礎知識第3頁

4.污染去除污染控制一個最大突破是無塵室使用。擦洗：用無塵抹布蘸溶劑水擦除灰塵、污漬。

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5.污染逐級清潔控制

即從外圍環(huán)境到工作區(qū)域進行臺階式漸進控制，直至達到工作環(huán)境要求。以下圖1：無塵室

CleanRoomClass100/1K/10K/100K辦公室

+普通工場Class300K廠區(qū)

Class500-800K無塵室基礎知識第5頁無塵室定義無塵室分類無塵室組成無塵室控制瀚誠無塵室主要控制指標無塵室知識無塵室基礎知識第6頁

1、無塵室(CleaningRoom,C/R)定義

使室內(廠房)空氣塵粒、溫度、濕度壓力

等技術指標成為一穩(wěn)定受控區(qū)域，用來保

証某一生產或試驗過程所必需環(huán)境要求，

該區(qū)域即被稱為無塵室。2、無塵室普通分類：

Class-100/1K/10K（ISLC/R)/100K四種級別無塵室。無塵室基礎知識第7頁

3、無塵室基礎組成：

更衣室、風浴室、無塵室(工作區(qū)域)。更衣室：相對普通工場及辦公室而言，是一個更潔淨區(qū)域，主要用來穿脫無塵衣，時也能保証無塵衣貯存在一個相對清潔區(qū)域內。無塵室基礎知識第8頁

風浴室：兩側牆壁上密排空氣噴咀，它能噴出

1624M/S高速潔淨空氣，其目標是用強潔淨空氣流吹去無塵工衣表面懸浮塵埃,從而達到清潔無塵工衣表面目標。同時,地板上鋪有地板膠，其目標是將無塵鞋套底部處臟東西粘下來，從而達到清潔鞋底部功效。無塵室基礎知識第9頁

無塵室：從無塵室天花板高效清潔過濾器吹出空氣非常清潔，HepaFilter能將99.97%

大于等于φ0.3um塵粒過濾掉，過濾后空氣每立方尺中大于等于φ0.3um塵粒普通不超過1粒，從HepaFilter吹下潔淨空氣吹過無塵室工作區(qū)域全部空間，源源不斷地用干淨空氣替換已污臟空氣，最

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經回風口帶出無塵室，同時，通過調整進風量與回風量從而使得工作區(qū)域靜壓力高于外界氣壓(約高5-10pa)，從而使外界空氣不致灌進無塵室。另外，全部用來建造無塵室牆壁材料均為表面低發(fā)塵性專用材料,

應注意其牆壁保護，不可刻畫及張貼而損壞牆壁表面。

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人機料法環(huán)4、無塵室控制無塵室基礎知識第12頁

無塵室控制思想：

a).少進多出

一要做到“多出”，也就是盡可能快及盡可能多地

將無塵室塵粒排出無塵室之外；二要做到“少進”，試想，假如進入無塵室塵粒數量大于無塵室所能排出數，結果可想而知，所以“少進”也是一個非常主要原因，為了達到“少進”目標，需從人、機、料、法幾個方面尋找問題根源，盡量減少這幾個方面產生塵?？赡苄?。無塵室基礎知識第13頁

b).預防交叉污染物體與物體、物體與環(huán)境等之間相互污染。主要有以下途徑：干淨物體相對污臟環(huán)境或物體污臟物體相對干淨環(huán)境或物體無塵室基礎知識第14頁

5、無塵室控制注意事項人：在全部影響到無塵室清潔度原因中，人是最主要原因，發(fā)塵量占85%左右，實驗証明在人員走動頻繁時間內(上下班時間)，無塵室塵粒數量明顯高于穩(wěn)定工作時間塵粒數量。為什么人會對塵?？刂飘a生如此大影響呢？因為人是活躍，人新陳代謝會產生大量頭屑、皮屑等，呼出氣體中也帶有大量塵粒人到處走動尤其無塵室基礎知識第15頁

有劇烈動作時會將本身這個最大污染源到處傳播，因而使得無塵室因人出現而難以控制。全部這些都要求我們必須正確穿著無塵衣及嚴格恪守無塵室紀律，同時需講究良好個人衛(wèi)生，如勤洗澡、勤換衣等。即要做到以下幾點：

a).防止劇烈動作；

b).講究個人衛(wèi)生；

c).嚴禁在無塵室中解開無塵衣及其它無塵室違

紀行為。無塵室基礎知識第16頁

機：包含全部用在無塵室內儀器、設備，如生產一系列儀器、設備等，再如日常無塵室內用