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文檔簡介

1、確認(rèn)Maintenance界面內(nèi)GUN/AC內(nèi)GUN參數(shù)(電流值穩(wěn)定)和0.00)。EVAC常亮。(1)點(diǎn)擊ON，打開高壓，依照樣品選取所需電壓。旋鈕進(jìn)行像散調(diào)節(jié)，調(diào)節(jié)亮度與對(duì)比度(可按ACB自動(dòng)調(diào)節(jié)或手動(dòng)調(diào)節(jié))，直至樣品表面特性圖像清晰為止(低倍率時(shí)，運(yùn)用AUTO鍵a)如果聚焦時(shí)浮現(xiàn)圖像是模糊，需要進(jìn)行電子束對(duì)中調(diào)節(jié)。動(dòng)(X方向擺動(dòng)調(diào)節(jié)X旋鈕，Y方向擺動(dòng)調(diào)節(jié)Y旋鈕)。c)關(guān)閉WOBB鍵，此時(shí)STIG鍵自動(dòng)亮，分別旋轉(zhuǎn)鍵盤上X、Yd)繼續(xù)放大倍數(shù)，轉(zhuǎn)動(dòng)FOCUS旋鈕進(jìn)行聚焦，如圖像不清晰，ee)如果圖像已經(jīng)調(diào)節(jié)好，，按鍵盤上“RDCIMAGE”鍵關(guān)閉調(diào)節(jié)O(5)按“FREEZE”鍵取消鎖定，按“QUICKVIEW”進(jìn)行迅速掃13、背散射(BEIdetector)觀測5)找好要分析樣品位置，調(diào)節(jié)好倍率，聚焦及像散。6)在圖像顯示區(qū)域選取圖像信號(hào)為BEC“Save”模式進(jìn)行保存。。1)將放大倍率調(diào)至最低倍。4)按下VENT鍵放氣，直至VENT常亮。戴手套操作，并保證樣品在樣4、實(shí)驗(yàn)完畢后只需關(guān)閉計(jì)算機(jī)顯示屏，其她任何頁面及裝置不介EXCHPOSN：顯示樣品臺(tái)與否處在樣品互換位置(燈亮表達(dá)處在該處)HL

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