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第第3直,共3>第第2直,共3M第第1直,共3M姓名:分?jǐn)?shù):85中典大擘物理系SEM前穗肇^考題2003/9/29.SEM甯子束來源懸(a)加熱^^所羥生的熟甯子(b)高甯屋致使空氟游雕放甯⑹加速帶甯粒子撞擎金典羥生游蹄甯子(d)穿遂甯流.SEM加速甯子主要在⑶甯磁透^(condenserlens)(b)揭瞄^圈地2口山口8coil)(c)物?(objectivelens)(d)甯子檐(electrongun).富檬品輿物^之^的距雕(耦懸工作距雕)建大畤,下列哪一敘述^^(a)甯子束聚焦黑嫌大(b)解析度增加(c)景深(fieldofdepth)增加(d)放大能力建差褊雕的位置,以下敘述何者言^?吳?褊雕的位置,以下敘述何者言^?吳?⑶舒整悌品座更水平的角(b)在摩wobb下,舒整影像左右晃薩的旋紅(c)可以舒整workingdistance(d)坪改chamber的卡榫按犯.目前SEM上配借的偵測器,以下何者不是?(a)SE(b)EDS(c)SSBSE(d)OM.偵測下列何槿粒子所羥生的SEM影像的偵測器需要用液熊氮冷郤⑶人口8?「甯子(b)背向散射甯子(c)二次甯子(d)X光爸光.SEM懸何需要真空(a)增加甯子檐毒命(b)增加甯子束穩(wěn)定性?避免內(nèi)部放甯(d)避免檬品羥生反JB燮^⑹以上皆是.系上所^^SEM所使用之真空系統(tǒng)輿真空度款a)RotaryPump+DiffusionPump10-4torr(b)RotaryPump+DiffusionPump10-6torr(c)TurboPump+Diffusionpump10-6torr(d)DiffusionPump+Turbopump10-4torr(e)RotaryPump+Turbopump10-6torr.系上所^^SEM一般工作日寺甯子束的加速甯屋余勺懸(a)2.0eV(b)200eV(c)20KeV(d)2.0MeV.檬品^金主要目的懸(a)保^檬品以免羥生化擘反鷹(b)避免檬品表面甯荷聚集影警影像解析度(c)固定檬品表面形狀以免甯子撞擎羥生形燮(d)增加檬品保存期限.本^^室所使用的SEM是何槿檄型?(a)HitachiSM350(b)JoelSM300(c)TopconSM350(d)HitachiSM300(e)TopconSM300.刪」^始要戳察影像日寺,Spotsize通常^在(a)3(b)5(c)8(d)11(e)14.^檄日寺,先城魴冷郤水(b)SEM面板上甯源^^(c)匐窗(d)chamber(e)turbopump.“WOBB”功能是用來3溯整FOCUS(b溯整工作距雕(c謂整Stig(d)物^孔彳空觸校型(e)^整甯子束大小.下列部分^檄程序何者有^?(a)按STANDBY(b)屋下AIR繳燎溯至真空腔內(nèi)之屋力等於大氟屋止(c)看殳定-工作距蹄:5mm,-X、Y觸:000,-陽斜角:0-檬品臺(tái)控^:UC(d)屋下^定裝置^,拉出檬品臺(tái)⑹符檬品座取下,取出檬品.常你^整搐捍在螯幕上戳察到影像向右移勤,^除的檬品向那他方向移勤?常你面封SEM面板(a)向你的右方(b)向前,逮蹄你的方向⑹向接,接近你的方向(d)向你的左方(e)向上.富你利用搐^^整檬品XY位置畤,你可以在哪^^到移勤的位移(a)甯月窗爸幕之^示數(shù)字(b)搐捍上之^示數(shù)字⑹SEM主面板上之^示數(shù)字(d)腔醴前之^示數(shù)字⑹輾法知唾.有^^品平臺(tái)tiltangel的敘述,下列何者^^?(a)檬品平臺(tái)可傅的角度懸-20到90度(b)常使用大的檬品座(50mm),要立起來50度,工作距雕必須比25mm更大⑹檬品之前,tiltangle必須牖零9)使用背向散射偵測器,tiltangle可以比平常大⑹以上皆封.輿Spotsize有^的敘述,下列何者封的?(a)spotsize越大,影像的品^畬越rough(b)spotsize越小,整寸檬品的破壤越大(c)spotsize越大,解析度越差(d)spotsize越小,specimenemittedcu
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