電子能譜學筆記

電子能譜學電子能譜學的定義電子能譜學可以定義為利用具有一定能量的粒子（光子，電子，粒子）轟擊特定的樣品，研究從樣品中釋放出來的電子或離子的能量分布和空間分布，從而了解樣品的基本特征的方法。入射粒子與樣品中的原子發(fā)生相互作用，經(jīng)歷各種能量轉遞的物理效應，最后釋放出的電子和粒子具有樣品中原子的特征信息。通過對這些信息的解析，可以獲得樣品中原子的各種信息如含量，化學價態(tài)等電子能譜學的應用電子能譜學的應用主要在表面分析和價態(tài)分析方面?？梢越o出表面的化學組成，原子排列，電子狀態(tài)等信息。對于XPS和AES還可以對表面元素做出一次全部定性和定量分析，還可以利用其化學位移效應進行元素價態(tài)分析；利用離子束的濺射效應可以獲得元素沿深度的化學成份分布信息。此外，利用其高空間分別率，還可以進行微區(qū)選點分析，線分布掃描分析以及元素的面分布分析。這些技術使得電子能譜學在材料科學，物理學，化學，半導體以及環(huán)境等方面具有廣泛的應用。X射線光電子譜(XPS)—特點XPS的主要特點是它能在不太高的真空度下進行表面分析研究，這是其它方法都做不到的。當用電子束激發(fā)時，如用AES法，必須使用超高真空，以防止樣品上形成碳的沉積物而掩蓋被測表面。X射線比較柔和的特性使我們有可能在中等真空程度下對表面觀察若干小時而不會影響測試結果。此外，化學位移效應也是XPS法不同于其它方法的另一特點，即采用直觀的化學認識即可解釋XPS中的化學位移，相比之下，在AES中解釋起來就困難的多。XPS-光電過程機理光與物質的相互作用光電離激發(fā)過程光電離幾率偶極發(fā)射和表面發(fā)射從光電撞子譜泄線的活特點盈及表釀示滑光線貞與物走質的統(tǒng)相互噴作用賄：1奉、鞠反射軟（能邊量不石損失程）愿；2破、則吸收鴿（能貧量轉酷化為場熱能設）眼；3愿、新光電殘離（叫轉化檢為電胡子）歷M啞+鴨hV旦－－恒》葛M+割央＋杰e悠一般響為單倦電子殼過程碰要光硬子能授量足滾夠，?？梢月〖ぐl(fā)侵出所趕有軌京道電白子。尋光電粱離過炒程裂：喊X射雨線光瞎電子抗能譜殘基于斥光電勉離作疲用，濱當一桃束光寫子輻猶照到夾樣品召表面畏時，惑光子寫可以漏被樣丹品中兵某一玻元素穗的原叫子軌宿道上吼的電帝子所濫吸收嫂，使移得該鉤電子吧脫離膝原子耐核的摩束縛磁，以秒一定污的動攀能從冊原子堂內部匆發(fā)射陪出來田，變琴成自山由的蜓光電弱子，鎖而原圣子本購身則倚變成指一個碌激發(fā)碗態(tài)的敢離第子夸光電衡離幾淘率吃：擺1、益對于講每一淋種物喊質其巨光電計離幾鍋率與述很多軋因素樣有關袖：如鵲激發(fā)農光子童能量銷，原子子種刻類，鼠原子乓狀態(tài)涉等?？?、辰在光用電子繼能量告閾值退附近豈具有辟最高坐的電濤離截機面譽光電旗子譜棟線的跡特點甩及表冬示膜：逝1、突光電逆子譜反線與撫原子稿結構翼有關攔；2怒、其莖特點紗是量挎子化誼的；卷3、銹標記辟可用攝激發(fā)船躍遷螺的能麥級來進標記夜XP紀S-觸結合必能原庫理驕：貫1、扮光電半子能畜譜的掠結合奸能原襯理；呈2、桶氣態(tài)淡分子制的結誰合能陶；3葡、固頸體物上質的戰(zhàn)結合富能；黨4、銳凈電皂荷的靜計算潑；5很、弛戴豫過辱程培XP稀S慎結合劈能女在悔XP懇S薦分析未中，粱由于泰采用鋤的滔X橫射線猶激發(fā)緩源的組能量澡較高禁，不暗僅可殖以激犧發(fā)出伴原子撤價軌看道中炮的價晨電子啞，還訪可以券激發(fā)或出芯塞能級瞇上的度內層走軌道循電子斬，其湊出射伶光電溜子的琴能量趨僅與毛入射剪光子寺的能飾量及亭原子宋軌道弦結合慈能有旗關。姑因此虹，對危于特濱定的螺單色索激發(fā)橫源和匙特定洗的原歐子軌嫌道，防其光茫電子產的能貪量是客特征貨的。弦當固飾定激塞發(fā)源摘能量幟時，頂其光曲電子煤的能高量僅題與元難素的析種類艱和所置電離炎激發(fā)邊的原獄子軌父道有幅關。淹因此松，我毒們可枕以根煌據(jù)光借電子身的結誦合能促定性遲分析療物質長的元躲素種膨類。倘X射植線光嘗電子座譜儀襲X廣射線趟源是攀用于匙產生滔具有劫一定虜能量炒的旁X叼射線擾的裝站置，嚼在目黨前的超商品硬儀器畏中，憲一般吃以靠Al陣/M纏g匪雙陽尾極游X榴射線渡源最父為常軋見望。貨XP俘S饒?斤?固X氣射線擱光電陜子譜豐基本狂原理物1、修X紹射線袖光電釣子譜繡基本騰原理巷：趙X以射線池光電者子能遣譜的返理論旦依據(jù)鳳就是行Ei虛ns榴te票in滋的光貞電子咳發(fā)射嬌公式注，在慚實際堂的對X芒射線據(jù)光電倆子譜糧分析倦中，努不僅厭用己XP缺S菊測定屑軌道用電子活結合載能，羨還經(jīng)疲常用然量子艦化學臺方法毒進行循計算名，并污將二輔者進腳行比腫較。道2、替突然世近似爺體系帆受激盼出射繳光電患子后品，原委穩(wěn)定財?shù)碾娳呑咏Y老構受耐到破唐壞，侵這時絡體系跪處于劃何種廟狀態(tài)儉、如計何求第解狀謀態(tài)波謹函數(shù)榴及本討征值獨遇到灑了很側大的大理論課處理順困難叫。突遮然近越似認摟為，藏電離吉后的添體系采同電扎離前塊相比預，除曠了某幫一軌略道被尿打出始一個感電子歉外，怠其余類軌道劈電子劉的運游動狀癢態(tài)不掘發(fā)生喬變化肚而處壩于某制一種康“瞇凍結乏狀態(tài)促”纖。痰按照皺這個怪假設豬前提僵，皆Ko共op龜ma屈ns里認為喚軌道蹈電子美的結合合能靠在數(shù)怎值上灑等于悲中性訪體系遭該軌茅道自絡洽單院電子藍波函眨數(shù)的斥本征粱值的摩負值慕，即涉其中種：表逢示用孫自洽炎場方半法求屈得的弊ES拆CF末(幼n,弓l違,澇j喊)藝軌道結電子狐能量貿的本課征值磁，拾n,淋l過,貫j割為軌旁道的液三個群量子零數(shù)。耀表示燈E紡a沸SC繩F豆用若Ko免op得ma殺ns三定理抵確定序的蠟(沾n,年l懼,割j廊)越軌道餓電子前結合舒能。拆Ko擦op神ma豪ns撲定理診使某媽軌道司電子封結合妙能崇E蘋B潤的求英取變炊成計滋算該交軌道凍電子袋波函墻數(shù)本異征值繁而與蒸終態(tài)替無關剃，使準計算惡簡化護。標因為智忽略偽了電最離后蓄終態(tài)跨的影叨響，救這種悲方法聽只適貸用于還閉殼奏層體覺系。愁結合窩能參診照基靈準膀在用落XP思S測星定內流層電襪子結跳合能搶與理緊論計振算結判果進王行比宮較時憶，必坡須有炭一共右同的按結合白能參亮照基賤準。廁對于灶孤立絲原子舅，軌孤道結州合能盞的定蚊義為課把一強個電稀子從撓軌道題移到勸核勢集場以脾外所蛛需的劣能量泛，即挽以你“努自由喘電子難能級吩”迅為基爺準的謀。在帖XP瓜S中蘇稱這輕一基以準為乏“卻真空露能級粱”浮，它胸同理貞論計榜算的省參照蔥基準呀是一野致的反。拋對于繭氣態(tài)斥XP嶄S，勵測定躍的結蛾合能衫與計嶄算的箭結合亮能是柔一致羅，因堤此，戴可以江直接績比較孟對于貧導電潤固體倘樣品他，測自定的妄結合且能則擺是以貼Fe鼓rm臥i能戒級為哄基準拴的，友因此暑，同庸計算氧結果悉對比奶時，駱應用貫公式注進行伍換算費。蘭對于升非導互電樣演品，蘋參考花能級飼的確迅定是券比困棋難的料。些X列射線風光電窯子譜恰儀的柳能量次校準庭X若射線羨光電浩子能靠譜分知析的克首要避任務愚是譜顛儀的鄙能量銅校準付。一垂臺工債作正董常的鏡X蜻射線順光電獅子譜籮儀應削是經(jīng)細過能熟量校艙準的恒。輕X門射線劇光電寶子譜傷儀的味能量陳校準數(shù)工作授是經(jīng)星常性紛的，走一般財?shù)卣f饞，每姨工作咐幾個饑月或悟半年掃，就嗓要重崗新校森準一怪次?；襒薄PS恥?戴?嫌XP撲S中罪的化素學位校移醋化學主位移呆由于紐原子被所處現(xiàn)的化鄭學環(huán)隔境不慕同而調引起譯的內潤層電削子結祖合能胞的變絕化，蛋在譜俱圖上簡表現(xiàn)派為譜山峰的將位移扛，這魂一現(xiàn)僅象稱園為化臉學位獄移。攏化學銳位移熟的分獲析、思測定朗，是源XP片S盾分析伯中的浙一項踏主要僵內容昂，是召判定矛原子鼓化合鏡態(tài)的僑重要訪依據(jù)礎。它XP污S皆?陷?蜻XP急S詠分析柔方法壺化合潑態(tài)識尼別衣在火XP禁S湖的應瓦用中管，化律合態(tài)雪的識庸別是顆最主問要的己用途愛之一晴。識店別化街合態(tài)栗的主扁要方纖法就畜是測侵量比X柔射線逢光電拆子譜煉的峰錢位位貓移。援對于亡半導加體、偽絕緣砌體，墾在測裳量化比學位恐移前狠應首煎先決剃定荷布電效扁應對攝峰位崗位移僚的影燒響。蠟化合傘態(tài)識寒別罪-首光電菠子峰回由于掛元素圣所處慈的化概學環(huán)液境不爪同，菊它們櫻的內第層電搏子的魂軌道待結合喜能也缸不同段，即捧存在卻所謂路的化預學位守移。挖其次犧，化救學環(huán)房境的傭變化生將使已一些赤元素阻的光陣電子雷譜雙案峰間取的距屠離發(fā)短生變尾化，類這也兆是判允定化馬學狀策態(tài)的臥重要醫(yī)依據(jù)污之一于?；I元素效化學看狀態(tài)興的變援化有減時還鴿將引懶起譜宰峰半撐峰高脫寬的拐變化價?？慷糠捶治龆?邀元素暈靈敏始度因畏子法礙悔同舉AE叔S誕中的盈靈敏欣度因映子法勇相似扎。區(qū)央別在拔于榆AE坊S范定量聾分析酒中一醬般以拿譜線鉤相對檔高度微計算叔，同鳥時對堵背散結射因既子等色作出友校正??；艙XP張S半中一郊般以除譜峰完面積恨計算鈔，不班計入團背散項射效害應。當XP蘆S菜分析絨中，苦定量畢分析蹦的方喊法與姨AE未S旗的定稻量方杏法基皮本相徑似，句如標散樣法扯，校鞭正曲亡線法虧等，罷大同鋸小異斧。朝小面沿積奶XP泄S允分析雨某小面建積X授PS兔是近災幾年皇出現(xiàn)折的一賢種新怒型技表術。牧由于市X射格線源飄產生悅的X咸射線海的線黃度小打至0薪.0箭1沫mm謊左右章，使映XP眉S的峰空間摘分辨拉能力應大大駱增加綠，使灰得X姑PS客也可依以成雹像，陷并有剖利于柱深度已剖面績分析腔。傍俄歇鞋電子權能譜噴(A訪ES銅)猛俄歇倆電子勞能譜競的基晨本機驕理是肝：董入射聽電子影束或茄X射鳳線使央原子估內層匯能級檢電子薄電離斜，外呀層電夜子產岡生無遍輻射礎俄歇敏躍遷泡，發(fā)豐射俄飄歇電飽子，爪用電踐子能誕譜儀木在真屑空中癥對它擺們進藥行探駕測。旨俄歇嬌電子灰能譜完儀特檢點砌：撇AE而S大嚇都用便電子晶作激蝦發(fā)源桑，因霧為電倡子激爬發(fā)得外到的胸俄歇聯(lián)電子梨譜強榨度較爆大聞。宜光電哥子或瞎俄歇襲電子鹽，在出逸出令的路鐘徑上搭自由表程很忽短，鞏實際徹能探誦測的厚信息菜深度候只有院表面致幾個齒至十麻幾個疏原子卻層，矮光電閘子能伏譜通督常用蒜來作晨為表飲面分季析的事方法必。癥1）魄俄歇盛電子哥的能隱量是綿靶物攻質所脈特有為的，鞋與入擦射電嫁子束巾的能弱量無黨關。東汪2）釣俄歇富電子惜只能兆從2互0埃候以內杯的表性層深余度中寬逃逸遵出來及，因透而帶注有表慕層物昌質的徒信息寬，即籃對表聰面成翼份非慰常敏慌感。犁正因針如此拳，俄兆歇電販子特書別適謝用于慨作表繼面化昆學成撫份分參析。音3）興作為臉固體括表面麻分析冷法，賢信息鹽深度鉗懲備取逗決于音俄歇伐電子懸逸出喚深度躁，對膛于能兄量為秧50誦ev匹-2煩ke熱v范交圍內崖的俄奔歇電斃子，鄉(xiāng)逸出盤深度捎為0卡.4僚-2棋nm策,深報度分惱辨率攻約為求1n猛m,低橫向愧分辨勁率取洲決于杜入射丙束斑標大小裂。漸4）墊可分勒析除壟H、母He慶以外他的各漢種元愧素。述5）伯對于浴輕元疫素C精、O拋、N鄰、S拳、P烘等有憂較高畝的分催析靈流敏度腿。胞6）樹可進緩行成盜分的衡深度示剖析吳或薄某膜及對界面驚分析掀。硬俄歇覆能譜胖儀簡患介姑俄歇鏈能譜偉儀主越要由金電子挖槍、慈電子虧能量降分析沿器、搭超高壺真空碎系統(tǒng)調、離輩子槍扭和樣砌品安槳置系瞇統(tǒng)及辛計算取機數(shù)豪據(jù)采商集和梳處理散系統(tǒng)甜等幾己個部私分組置成。顛電子殘槍卻：玩由陰己極產閃生的啞電子鐵束經(jīng)精聚焦擔后成磚為很扛小的古電子底束斑按打在亞樣品高上，梁激發(fā)畜產生財俄歇櫻電子碧。燈豬絲陰抄極材鉆料一威般用圾六氟叢化鑭算(L自aF奴6)矮，六激氟化糖鑭燈泰絲比輛鎢絲驕亮度很大。裹現(xiàn)在舉的電勺子能范譜儀撈也采咐用場遣發(fā)射呢電子桐槍，添場發(fā)厭射電站子槍悲可以引提供狠比鎢饒絲和參六氟津化鑭會絲更惑小的儲電子撐束斑剖，束咳流密寨度大待，空繼間分畫辨率罵高，海缺點劃是易莫損壞堤。職電子蛙能量圖分析播器葬：注電子潑能量乞分析喉器其弓作用假是探追測樣熄品發(fā)伴射出贏來的良不同掙能量井電子候的相揀對強蒼度。掌它必建須在楚高真撇空條合件下針工作駐即壓霧力要并低于數(shù)10屠-3舍帕，悄以便胳盡量容減少密電子托與分倘析器手中殘笨余氣愛體分撕子碰脆撞的洪幾率某。夏超高萄真空壇系統(tǒng)摸：口（一吼）貓使樣石品室澡和分摘析器栗保持現(xiàn)一定胃的真乘空度雙，以森便使彎樣品妨發(fā)射挪出來兇的電樣子的雜平均都自由性程相物對于搜譜儀桐的內巷部尺攔寸足排夠大輪，減怒少電頂子在共運動群過程龜中同交殘留翼氣體尸分子鉛發(fā)生浙碰撞銹而損六失信艘號強在度。丹（二陣）緞降低稱活性答殘余粱氣體儀的分橫壓。寧因在倍記錄倆譜圖躺所必兔需的謠時間井內，蒙殘留金氣體錯會吸中附到蛾樣品假表面制上，陶甚至樹有可難能和監(jiān)樣品襯發(fā)生劑化學放反應剛，從形而影調響電津子從黑樣品拒表面輝上發(fā)挑射并曾產生巡外來敏干擾花譜線狀。錦離子羽槍將：替它由英離子您源和別束聚雪焦透奏鏡等顏部分上組成煙，有啟如下違功能府：畏①略清潔任試樣唉表面抗；錯②兔逐層偶刻蝕排試樣孟表面近，進偽行試缸樣組墳成的清深度享剖面椅分析重。訪樣品萄安置登系統(tǒng)憤：愿一般變包括茂樣品沫導入噸系統(tǒng)輪，樣朵品臺崇，加盡熱或年冷卻繳附屬棍裝置盤等。喝為了義減少虎更換輕樣品兔所需性的時南間及戶保持揉樣品秀室內般高真貼空，噸俄歇判譜儀放采用朋旋轉邪式樣殃品臺堅，能轎同時育裝6眠-1境2個冊樣品使，根緊據(jù)需撤要將紛待分半析樣充品送嚇至檢讓測位事置。權俄歇層能譜胞儀的亮樣品舟要求家能經(jīng)遮得住括真空醫(yī)環(huán)境疫，在忍電子姐束照惹射下屬不產訴生嚴哈重分筒解。依有機譯物質儀和易場揮發(fā)攝物質主不能聞進行霧俄歇餓分析烏，粉壟末樣煌品可良壓塊評成型統(tǒng)后放方入樣伴品室白。晉過分析犬方法芬俄歇通電子凳能譜玩分析私有四鵝種基桑本方跌法：漠定點混定性福分析形、線派掃描搞分析兇、面河掃描像分析嘩和定擺點定鍵量分己析。訊評（1申）定露性分旗析篩根據(jù)責實測讀的直確接譜皂或微侵分譜膊上的寒譜峰棕的位福置識護別元項素，陣方法偏是與賊標準均譜進擺行對楚比。目（2錫）定故量分只析罪貫氣件考復校儉氣于未慌麗能否譜儀責在穩(wěn)喬定的蹤電子野束照專射下超得到味的俄抹歇電沙子能盞譜圖孔，在毫扣除垂背景蛇計數(shù)惡率后稿，各考元素誓的同凡類特竹征譜欠線的謀強度罩值與溉它們亡的濃警度相聞對應牽。但凡是實筑際上吹并不就是這孩樣。五其分池析精攪度低鍵。泉（3玉）線止掃描區(qū)分析膏吉線掃隙描分旬析是酷了解程一些持元素鴿沿某嗓一方勁向的額分布謀情況尼。菠利用前線掃掉描分超析可儲以在悄微觀虹和宏論觀的顆范圍蝴內進潮行。括常用貌于表糞面擴描散，伍界面拘分析議等。鹿（徐4）礙面掃拳描分說析松面掃艦描分監(jiān)析又兼稱為耍俄歇汁電子信能譜杠的元暈素分緒布的裙圖像結分析慕?？善D以把推某元巡素的顆某一卵區(qū)域切內的迅分布輝以圖港像的畜方式贏表示憤出來扣。提腸供了勺元素習的分盯布像駝。結拾合俄喂歇化灑學位純移分蠟析，枝可以顯獲得命化學世價態(tài)誠元素蓮的化憤學分躺布像貝。適婆合于憶微型抱材料限和技鈔術的圓研究泡。禽化學茅效應希1）旋俄歇柔躍遷君不涉斷及價侍帶，柏化學復環(huán)境馬的不狐同將宅導致浪內層全電子脈能級廚發(fā)生離微小弱變化晃，造呈成俄債歇電蜂子能來量微樸小變眉化，訓表現(xiàn)水在俄殼歇電廚子譜與圖上坦，譜兇線位墻置有腐微小火移動宜，這背就是嶺化學贈位移宏。衰2）追當俄顛歇躍魚遷涉警及到毯價電補子能瑞帶時抬，情勉況就層復雜流了，售這時畝俄歇毀電子嫁位移描和原船子的際化學萌環(huán)境晉就不敏存在柏簡單膚的關點系，印不僅明峰的撲位置畝會變拾化，致而且政峰的遇形狀燒也會燃變化貨。粒3)見能量槳損失顆機理叢導致君的變包化將杠改變礦俄歇斤峰低杠能側賭的拖套尾峰渴電子瓣探針丹顯微暫分析常電子推探針偶的應舌用范蜘圍越伙來越喉廣，悔特別叮是材坊料顯褲微結鞭構－惕工藝擇－性鑄能關芹系的蹤研究付，電窄子探朗針起敲了重亡要作積用。直電子伐探針篩顯微呆分析允有以速下幾眨個特扇點：麻1、拿顯微磨結構惑分析能；2構、元理素分丙析范鼠圍廣繁；3電、定瞎量分治析準且確度閃高；說4、煮不損降壞試圣樣、叨分析師速度貞快；魄5、匙微區(qū)缸離子忠遷移心研究下1顯鍬微結朱構分撈析及：筆電子降探針畏是利族用鏈0.跡5依μ多m身－搬1液μ省m痛的高冒能電手子束改激發(fā)市所分驅析的禿試樣裂，通更過電徹子與杜試樣盞的相窯互作芝用產購生的新特征阿X坡射線冰、二潮次電及子、鴿吸收甲電子灶、逗背散爬射電防子及為陰極捏熒光糊等信哀息來珠分析逃試樣費的微膝區(qū)內出(負μ果m蘋范圍立內托)蓮成份盜、形梳貌和嶄化學未結合糾狀態(tài)丈等特埋征。增電子塵探針朝成分詳分析帳的空開間分敞辨率校（微技區(qū)成浸分分織析所泳能分欣析的稈最小燕區(qū)域稼）是熊幾個逢立方督μ厭m漆范圍裙，擠微區(qū)禮分析監(jiān)是它坊的一瓦個重度要特袍點之段一曠,稅它能缺將微織區(qū)化蜜學成漫份與虹顯微胞結構軌對應肅起來冊，是勿一種衛(wèi)顯微喝結構封的分襲析。廁而一租般化針學分帖析、弄X駁膊光熒秩光分丈析及腰光譜申分析估等，膊是分忽析試括樣較腰大范漿圍內芳的平查均化鑒學組司成，得也無激法與把顯微勢結構歲相對嫩應蛙,淘不能嫩對材癢料顯前微結圖構與首材料秧性能胃關系泊進行改研究鴿。卻2、訊元素搜分析憤范圍更廣遙：黑電子彎探針傷所分形析的臣元素萄范圍網(wǎng)一般庫從硼泊(B藝)—止—遮鈾潑(蹲Ｕ靠)騰，因映為電羨子探嚷針成擇份分傳析是朝利用危元素訪的特訊征涼X艙射線濱，而架氫和河氦原芒子只蜘有控K丹層電跑子，學不能碎產生辟特征蛾X鋼射線水，所產以無食法進梢行電驕子探胖針成晃分分逆析。隙鋰棒(L將i)滿和鈹緒(B嗽e)賽雖然恩能產疑生區(qū)X邊射線川，但衣產生守的特欄征暮X您射線顧波長趙太長廣，通施常無銹法進陶行檢燥測，象少數(shù)隱電子吹探針冊用大受面間半距的坊皂化扭膜作遞為衍鋪射晶白體已己經(jīng)可頂以檢隙測度Be機元素玉。能者譜儀護的元舉素分塑析范賄圍現(xiàn)噸在也沃和波況譜相腰同，景分析植元素毫范圍嗚從硼茄(B滴)—喊—慌鈾淘(庫Ｕ勻)修3、鮮定量準分析蘋準確中度高大：托電子懲探針第是目亂前微服區(qū)元批素定敵量分弓析最鏡準確柴的儀疏器。揚電子駕探針貓的檢妙測極開限抹(曉能檢扭測到墳的元汗素最銅低濃垮度納)巧一般臂為（抬0.秘01彈－惕0.感05枝）保%挪，額不同盡測量增條件司和不諒同元播素有罵不同吼的檢露測極以限，汗但由欺于所叮分析觀的體挑積小亂，所域以檢侵測的袖絕對測感量荒極限仔值約弓為襪10圖-1引4g任，主瓜元素余定量默分析漲的相互對誤溜差為獨(1膏—3悼)%凍，對魔原子閃序數(shù)遙大于窯11疾黑的元南素，贈含量細在月10拜%躍以上專的時腳，其聞相對知誤差刻通常墨小于粱2%慧。輝4、另不損窮壞試跡樣、蝴分析捧速度采快：怪現(xiàn)在炕電子河探針討均與道計算軋機聯(lián)矮機，梯可以于連續(xù)判自動源進行鉤多種蛋方法蠻分析逮，并喬自動垂進行褲數(shù)據(jù)宴處理藏和數(shù)錦據(jù)分膀析，雄對含研10擔個元拜素以肯下的蕉試樣基定性鏡、定慰量分學析，述新型塘電子星探針閣在腫30僵mi觸n州左右妄可以唇完成倡，如原果用剩ED哨S圣進行土定性獸、定揉量分含析，鉤幾分版種即習可完來成。遙對表管面不賞平的古大試船樣進伶行元打素面沃分析候時，跳還可患以自們動聚愚焦分普析。陡電子約探針壓分析爭過程躺中一古般不滅損壞抱試樣常，試妙樣分儉析后彎，可肢以完計好保擾存或悄繼續(xù)飲進行巧其它覆方面默的分培析測將試，編這對處于文烤物、趁古陶桿瓷、頓古硬勿幣及養(yǎng)犯罪異證據(jù)躍等的勒稀有喉試樣斬分析間尤為航重要酒。存5、自微區(qū)跑離子醫(yī)遷移鏡研究?。哼m多年伯來，星還用壩電子情探針悼的入罩射電輛子束跪注入鴿試樣征來誘寸發(fā)離扇子遷級移，艘研究閱了固顏體中眨微區(qū)賠離子傷遷移姿動力悉學、循離子腥遷移進機理名、離定子遷窮移種可類、糊離子貨遷移領的非乎均勻規(guī)性及港固體趙電解糞質離判子遷越移損席壞過色程等獨，已棋經(jīng)取陡得了探許多辮新的縱結果嘩。喇定性朝分析奪的基打本原估理微電子簡探針讓除了概用電椅子與懷試樣煤相互胡作用歌產生感的二嶄次電街子、蹲背散惡射電志子進炸行形軌貌觀啦察外獅，主喉要是陶利用蠶波譜燈或能維譜，村測量繞入射宗電子鐮與試陜樣相袖互作治用產稈生的儀特征澇X轉射線代波長浙與強頌度，界從而州對試攏樣中證元素港進行之定性糠、定認量分獵析芬定性脾分析眾的基舍礎是廚Mo患se放le強y斑關系石式吃:液式中猜ν叛為元絹素的靈特征流X物射線惹頻率耳，用Z薪為原情子序祝數(shù)，悟K龜與漲σ搭均為碑常數(shù)考，卸C搜為光娛速。餅當俯σ≈役1羨時，咳λ爆與魯Z她的關幫系式奧可寫著成蓄:以由式日可知吧，組灘成試磚樣的愛元素清(辯對應鴨的原姥子序確數(shù)裹Z)類與它悔產生柔的特栗征掉X航射線饑波長培(慮λ旋)刊有單敘值關撇系，舉即每駛一種趟元素淹都有申一個丘特定給波長離的特僚征中X姥射線療與之談相對翻應，款它獄不隨崇入射夾電子句的能獅量而名變化飲。如焰果用泰X線射線忌波譜慚儀測嘉量電貌子激棕發(fā)試甩樣所逗產生剃的特捉征標X飾射線告波長萄的種望類，濤即可即確定討試樣喘中所矩存在鞏元素馬的種鞠類，僑這就夕是定秘性分采析的濕基本酒原理水。虹能譜亭定性止分析治主要有是根案據(jù)不養(yǎng)同元雕素之您間的愧特征負X集射線冶能量翻不同翼，即菠E仔＝懶h窗ν沃，慈h這為普亡朗克辮常數(shù)什，犧ν糾為特心征硬X送射頻單率，聚通姐過僑ED假S下檢測懼試樣亂中不涌同能頓量的學特征蠅X粒射線共，即恐可進蓮行元棟素的授定性手分析繪，模ED甩S篇定性榜速度礙快，婦但由親于它椒分辨誰率低雅，不體同元演素的濱特征咸X艘射線惕譜峰郊往往著相互繡重疊友，必告須正千確判舊斷才黑能獲紅得正綢確的咽結果派，分裁析過略程中鄭如果貨譜峰壤相互黃重疊瞧嚴重知，可諸以用然WD邊S育和瓦ED丈S伴聯(lián)合庸分析育，這倒樣往控往可坊以得宵到滿到意的沒結果鵲。魚定量菊分析氏的基鉤本原矩理丟試樣苗中燙A忌元素士的相灰對含威量貧CA黎與該取元素倡產生悟的特借征逢X摧射線刮的強加度揮IA僵(橋X樸射線純計數(shù)蛾)郊成正慚比律:C贊A員∝查IA碧，如廟果在飄相同伸的電悉子探校針分床析條奏件下陜，同久時測需量試虛樣和憂已知敞成份踐的標河樣中喉A便元素瞎的同愛名貴X故射線洞(毯如鏈K耗α粘線犧)斥強度夠，經(jīng)么過修心正計仿算，娘就可窯以得朽出試支樣中要A加元素速的相惱對百疏分含頑量糖CA擱:贏式中項CA交為某廁A塊元素胃的百瀉分含乘量，圓K艙為常海數(shù)，測根據(jù)到不同栽的修紙正方討法氣K憂可用丟不同神的表粘達式挖表示追，寒IA硬厲和增I(正A)英暈分別必為試醉樣中制和標正樣中紐A絕元素踩的特糾征傷X哪射線愿強度川，同文樣方鞭法可磨求出欣試樣叉中其語它元達素的攤百分祖含量愉。騾電子猛探針媽的儀艘器構夏造家電子拴探針登的主是要組漲成部停份為壤:1哈.層電子渣光學符系統(tǒng)漸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