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序號(hào)設(shè)備名稱(chēng)型號(hào)制造商數(shù)量1LOC裝片機(jī)LOC-DB3NICHIDEN1TZ-2400硅片自動(dòng)裝片機(jī)應(yīng)用行業(yè):電子
TZ-2400硅片自動(dòng)裝片機(jī)是根據(jù)光伏產(chǎn)業(yè)和國(guó)際半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展及市場(chǎng)需求而開(kāi)發(fā)研制的新型自動(dòng)化設(shè)備,可通過(guò)數(shù)控裝置可靠地實(shí)現(xiàn)自動(dòng)裝片,并有連鎖保護(hù)、工況顯示、故障報(bào)警等功能。
該設(shè)備主要用于硅片、太陽(yáng)能電池片等類(lèi)似形狀的自動(dòng)裝片,整機(jī)采用3工位立式升降機(jī)構(gòu),由伺服電機(jī)、滾珠絲杠系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)精確傳動(dòng)。是光伏、半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化裝片、大大降低裝片破損率、提高效能的生產(chǎn)型設(shè)備。結(jié)構(gòu)與特點(diǎn)1、設(shè)備為整體式框架結(jié)構(gòu),布局合理,操作方便,外觀新穎;2、工作原理是以流量和壓力可調(diào)的水為介質(zhì)柔性接觸于硅片,利用水流動(dòng)和斜面使硅片無(wú)阻力倒人盒內(nèi),有效避免人工裝片時(shí)人為目素造成的破損,實(shí)現(xiàn)簡(jiǎn)易方便、準(zhǔn)確快速地裝盒;3、硅片裝片前先放置于水槽,水槽內(nèi)的水通過(guò)加熱系統(tǒng)保持一定的溫度,做到人性化操作;4、水系統(tǒng)為循環(huán)用水,經(jīng)過(guò)初濾后再經(jīng)濾袋式過(guò)濾機(jī)循環(huán)使用;系統(tǒng)控制1、采月PLc可編程控制器,程序運(yùn)行可靠,功能齊全,各種運(yùn)行模式均可在控制面板上調(diào)節(jié)、設(shè)定;2、設(shè)備配置全套進(jìn)口交流伺服系統(tǒng)進(jìn)行高精度定位;3、采月OMRON高靈敏度傳感器進(jìn)行掃描監(jiān)控;4、設(shè)備具有零位和工作位置的校準(zhǔn)功能,校準(zhǔn)快速、準(zhǔn)確、精度高;5、操作面板簡(jiǎn)單清晰,并配有各種故障及狀志指示燈,方便操作;安全與保障1、采用水工作狀態(tài)監(jiān)控,設(shè)有水位自動(dòng)調(diào)節(jié)功能;2、運(yùn)行過(guò)程設(shè)有極限位置報(bào)警;3、設(shè)有裝料保護(hù)傳感器,防止工位與滑片槽板的碰撞;4、設(shè)備設(shè)有緊急停止及復(fù)位停止功能;5、具有整機(jī)漏電保護(hù)裝置和接地端子。反饋信息>>2LOC烘箱IPHH-201MTabai
Espec1劃片機(jī)侍該機(jī)揚(yáng)主要泊用于濤硅集致成電蔽路,飲發(fā)光評(píng)二極礦管,呈鈮酸罰鋰、恭壓電極陶瓷餡、石勺英、首砷化異鎵、蘇藍(lán)寶鳳石、羅氧化桌鋁、但氧化努鐵、泳玻璃字等材滲料的趙劃切舍加工元。
亡蛇主要末技術(shù)撞特點(diǎn)
田1.泥
Y既軸采割用滾燦動(dòng)導(dǎo)邪軌,唯進(jìn)口芳高密裁度定摟位電柔機(jī),貌光柵認(rèn)尺閉緩環(huán)控漲制,孕無(wú)誤憲差積瞎累
優(yōu)2.飼
同計(jì)時(shí)安皺裝環(huán)怪形光惑和同紙軸光量,C悼CD蓄監(jiān)視情對(duì)準(zhǔn)鄙系統(tǒng)捷。
追3.姻
簡(jiǎn)壁單、杜友好祝的用裂戶(hù)操秀作界趕面,啄具有礦刃具君磨損燒自動(dòng)傻補(bǔ)償充功能工。
惱4.則
進(jìn)首口空寧氣靜夠壓主談?shì)S(敗交流青),乞具有武精度踩高、枕剛性句好等攜特點(diǎn)疏。
火5.迷
θ肅軸采宴用直著驅(qū)交疑流伺斃服系虧統(tǒng)工米作臺(tái)投,精腸度更般高。
閣獻(xiàn)主要績(jī)技術(shù)藝指標(biāo)軸轉(zhuǎn)速3000~40000rpm對(duì)準(zhǔn)
系統(tǒng)照明光源同軸+環(huán)形輸出功率1.5kW放大倍率150XX軸切割行程Max230mm顯示器15″彩色LCD切割速度0.1~400mm/s操作
系統(tǒng)控制系統(tǒng)PCBaseY軸切割行程Max165mm操作系統(tǒng)Windows?2000單步步進(jìn)精度0.003mm語(yǔ)言中文全程最大誤差0.005/165mm加工
尺寸工作尺寸160mm×160mm或Φ6″Z軸有效行程/刀盤(pán)尺寸Max20mm/Φ61mm圓形工作臺(tái)Φ6″重復(fù)定位精度0.003mm方形工作臺(tái)160mm×160mm刀具應(yīng)用尺寸φ50mm~φ61mm安裝體積500×865×1700(mm)θ軸轉(zhuǎn)角范圍Max320°凈重500Kg重復(fù)定位精度±5″電源AC220V±10%,三相3鍵合機(jī)FB-131KAIJO2已WB哄-9店1D萌手動(dòng)淹多功卷能鍵祥合機(jī)昌(邦搬定機(jī)穗)
亮WB滋-9禍1D目是適榜合于而特殊處電子盛元器姿件封歇裝生場(chǎng)產(chǎn)中誼芯片夏內(nèi)部緒引腳霜互連屠工藝尿應(yīng)用仰的專(zhuān)勵(lì)用設(shè)紐備,按是電糟子元隆器件接封裝毅生產(chǎn)診中關(guān)皺鍵設(shè)牙備之晝一。下
醫(yī)WB嘗-9獅1D犧是可歲配置疤為具饑有球縫焊、慧楔焊航、深籮腔壓斧焊功愈能的娛手動(dòng)梨多功秘能壓誦焊機(jī)蕉。
時(shí)杏應(yīng)用輩范圍
哈□巖混合歐電路富、C馬OB脅模塊
派□廁MC鈴M、棋ME肥MS秧器件
竭□濫RF模器件太/模益塊
吧□表光電技器件
耍□臨微波休器件
孝騙功能
庫(kù)□
透球鍵霞合
噴□
睬30飾°、煮4朽5°張、沸60嘗°匠楔鍵液合
峽□
堪90俯°深囑腔鍵外合(無(wú)腔深或可達(dá)拾12握mm宋)
尊□
與手動(dòng)叉完成目各種浸線弧盼
嗽□
裹存儲(chǔ)催30徑個(gè)器促件的膏程序嬸主要鑒技術(shù)堡指標(biāo)愁鍵合廁頭
候
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竿升降難臺(tái)Z謠行程遠(yuǎn):1團(tuán)8m探m營(yíng)升降昂臺(tái)X迫-Y櫻范圍鐘:2設(shè)50德mm工×2伴70戰(zhàn)mm爹擴(kuò)超聲備波功艦率:逝0-仔3w并/0宮-5典w匪程控護(hù)壓力粥范圍變:1史0g侄-5逝0g礦/1途0g未-1道00剃g件焊線帥直徑份:鋁銜線2毀0μ僑m-便76慮μm冤
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性證電源蛛:A衣C2箭20印V±墳10忽%(待50結(jié)/6嫂0H儲(chǔ)z)留≤4刮00禍W尿外形立尺寸鄙:6苦50拒×6徹50樓×4塵00仙mm截適重量污:約補(bǔ)70門(mén)kg故標(biāo)準(zhǔn)佳配置民主機(jī)繡1驚/2誤”線仁軸漢LE驕D服照明獄燈熊體視始顯微韻鏡悄進(jìn)口閱換能點(diǎn)器復(fù)夾持杏臺(tái)播溫控舅盒(壘鋁絲旅楔焊基無(wú))脂
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閘□問(wèn)工具托包(始克力學(xué)計(jì)、計(jì)鑷子搭、厚鄉(xiāng)度塞夕尺等版)4鍵合檢查機(jī)FBC-010SANYU15塑封壓機(jī)FAMS-CNEC
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喬
拳
饞
形
陣1紫單晶跟拉伸橡:胞在適菠當(dāng)?shù)睦矞囟劝柘?,氏將特?zāi)制的賽籽晶葬與熔衫化于碌坩堝脫內(nèi)的磁高純回多晶訴材料在相接香觸,悅在籽議晶與姓坩堝掠相對(duì)焰旋轉(zhuǎn)胸的同違時(shí),眼按一踐定速貓度向凱上提經(jīng)拉籽惕晶,類(lèi)使熔促體不無(wú)斷沿木籽晶酷晶向棉結(jié)晶餃,直司接拉妹制成鏡單晶廢。相零關(guān)設(shè)輔備>砍>單圖晶爐登醒2必切片臟:評(píng)將半它導(dǎo)體超單晶鋼按所斧需晶借向切趨割成碰指定額厚度闖的薄零片相渴關(guān)設(shè)傳備>光>內(nèi)瀉圓切樂(lè)片機(jī)辛多偏刀切歡割機(jī)池致3梨倒角眨:燕由于幸剛切補(bǔ)下來(lái)瞎的晶茄片外憑邊緣辮很鋒鏟利,唐硅單早晶又漆是脆憐性材撫料,芹為避蘆免邊歸角崩蠶裂影貸響晶搜片強(qiáng)并度、豐破壞紛晶片付表面壘光潔充和對(duì)拘后工隨序帶縫來(lái)污株染顆崇粒,橋必須勉用專(zhuān)為用的弓設(shè)備波自動(dòng)快修整盼晶片摧邊緣準(zhǔn)形狀銳和外罪徑尺扣寸。獎(jiǎng)相關(guān)蠢設(shè)備是>>掩倒術(shù)角機(jī)秋牲4血拋光姨:烤利用逼拋光爭(zhēng)劑對(duì)覽研磨誘后的或晶片綿進(jìn)行位物理劫、化糠學(xué)的采表面磁加工齡,以可獲取挎無(wú)晶捏格損離傷的黑高潔并凈度允、高飼平整奮度的邪鏡面午晶片梳。相主關(guān)設(shè)約備>碧>摔單/俘雙面婆拋光盜機(jī)未單/養(yǎng)多頭釀拋光患機(jī)紀(jì)5說(shuō)清洗彩:刺合理萄的清數(shù)洗是愉保證救硅片虜表面獻(xiàn)質(zhì)量芽的重院要條賴(lài)件。同在晶遞片制島備過(guò)彈程中賢需要嚇多次浩清洗隙,以肝去除云殘留布在晶誰(shuí)片表廚面或徹邊緣滾的廢特屑等尋。相構(gòu)關(guān)設(shè)究備>秤>奏清洗求機(jī)云沖洗聚甩干厘機(jī)濁6外惑延:搭在單耳晶襯刺底晶世片上夏生長(zhǎng)遼一層長(zhǎng)具有喚與基點(diǎn)片不剛同電竿子特于性的偽薄硅歇層。景相關(guān)麻設(shè)備龍>>塘外延須爐
到7
先氧化希:狹在高烤溫下暮,氧煉和水早蒸氣桂跟硅尸表面埋起化落學(xué)作妥用,挨形成杰薄博掀、均何勻的套硅氧蛇化層訓(xùn)。撤相關(guān)避設(shè)備悔>>泄氧化矛爐潮8化勺學(xué)汽予相淀銀積(厚CV店D)靠:稻使一噴種或尼數(shù)種地物質(zhì)巷的氣貧體以瘦某種葛方式爽激活以后,無(wú)在襯你底表暗面發(fā)谷生化面學(xué)反凡應(yīng),報(bào)并淀速積所伶需固朽體薄少膜。堡相關(guān)局設(shè)備要>>庫(kù)CV做D設(shè)韻備惡9濺菠射:蒼正離約子受賊強(qiáng)電狀場(chǎng)加挖速,倉(cāng)形成毫高能栗量的耕離子狂流轟疫擊靶停材,清當(dāng)離舞子的聽(tīng)動(dòng)能拴超過(guò)漆靶原圾子的夕結(jié)合晝能時(shí)匙,靶懷表面遭的原世子就屑脫離淚表面乞,濺總射到聾對(duì)面職的陽(yáng)得極上謹(jǐn),淀浮積成姿薄膜徐。綱相關(guān)輕設(shè)備如>>魔濺射療臺(tái)弓10梨光刻餅:劍將掩苦模圖蜓形轉(zhuǎn)撓印到然涂有普光刻延膠的毅襯底垮晶片遺上。麗對(duì)準(zhǔn)扯和曝摸光是餅光刻右工藝胃中最掙關(guān)鍵披的工梁序。陸相關(guān)歸設(shè)備董>>編接觸音/接并近式驚曝光旦機(jī)啊分步福投影統(tǒng)曝光程機(jī)廚11榨刻蝕塵:駐活性師氣體嶼可使填曝光析區(qū),言在晶才片表趁面建信立幾謀何圖壯形。睜相關(guān)佩設(shè)備周>>術(shù)刻蝕漢機(jī)駱12們離子喉注入貍:燙先使漏待摻是雜的蕉原子啟電離份,再討加速仿到一康定能寨量使姥之“怖注入酷”到芳
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