無塵室異物對(duì)策課件

Pune製程教育制缺教少無塵室之異物對(duì)策PINEL就就穿制總敦267異物對(duì)策異物不良米左右CMO製造TF機(jī)能的良率原因之一為異物米因此,針對(duì)工廠全體之所有異物施以對(duì)策進(jìn)而產(chǎn)到之目的使用材料丶使用設(shè)備丶治工具類丶對(duì)人對(duì)策丶器具備品類丶文具類、消耗品和其他若和一般環(huán)境中之製造業(yè)比較’必須付出數(shù)倍的投資額與維持費(fèi)用。所有異物對(duì)策之目的PINEL就就穿制總敦3/67異物對(duì)策異物成為何種不良1)Aray工程發(fā)生大批patm不良。斷路丶短路。2Pane程發(fā)生大批之pattern不良電病特性及表示畫面不良3模組工程電氣特性不良B/L異物不良。畫面不良的原因。PINEL就就穿制總敦4067異物對(duì)策異物是何種尺寸的東西在一般家庭中出現(xiàn)那樣大的物質(zhì)稱為垃圾。米以μm尺寸(size)為單位的物質(zhì)稱為異物異物尺寸從最大數(shù)」m到需用電子顯微鏡觀察確認(rèn)的001cm之物質(zhì)皆有現(xiàn)在的半導(dǎo)體業(yè)已經(jīng)從64M0.28μm更進(jìn)一步到256M0.2m的Pattern線,必需要求同程度以下的異物對(duì)策。人的頭髮直徑大約在50~70mTF的配線大約在6m的程度PINEL就就穿制總敦5/67異物對(duì)策工廠的異物管理米依Amay:Panel.Module之不同,對(duì)異物大小(sie)所訂定之管理辦法亦不同米Aray無麈室(全室)管理等級(jí)訂定100米Pane管理等級(jí)訂定100~10000米Module部份的管理等級(jí)訂定1000010000PINEL就就穿制總敦6/067異物對(duì)策異物從何處進(jìn)入?與人的衣服丶鞋子和搬人物一趕從人口帶進(jìn)細(xì)麈室。米與材將丶臺(tái)車消耗品丶容器等物質(zhì)一起帶進(jìn)米從設(shè)備和工具,保修部品等帶進(jìn)從管理表和記錄用紙丶筆記文具等帶進(jìn)從器具備品棚架和臺(tái)車帶進(jìn)。上薤物件被異物附著後’如未除去,不能進(jìn)人無塵室中PINEL就就穿制總敦7/67異物對(duì)策異物如何進(jìn)入水付著者在物品上進(jìn)入般的異物都是付著在攜人物而進(jìn)人的’萬一沒有被去除而攜人時(shí)’異物一定會(huì)進(jìn)人無麈室人員攜鞋子和無塵服和食物丶手提袋.等’會(huì)帶人污染物從環(huán)境破壞而人從門縫丶建篥縫隙丶天花板的間隙.等·建篥物的不良部份侵人。PINEL就就穿制總敦8/067異物對(duì)策異物如何產(chǎn)生金圖丶塑膠、大部份的物品摩擦?xí)r,一定會(huì)有異物產(chǎn)生。加工時(shí)所使用的托盤及通箱’在取放製品時(shí),會(huì)因摩擦而產(chǎn)生異物材將的閏邊和材質(zhì)會(huì)產(chǎn)生異物在TFT基板表面加工的加工途中,材料的角邊和材質(zhì)會(huì)因剝落而產(chǎn)生異物摩擦的地方、部份…等金部會(huì)發(fā)醒PINEL就就穿制總敦967異物對(duì)策實(shí)際上從哪裡產(chǎn)生的?裝置驅(qū)動(dòng)的地方就是產(chǎn)生異物的地方。齒輪·輸送帶丶輸送機(jī)丶鍊子.等ν會(huì)摩擦的地方為發(fā)麈源關(guān)於膠帶類的接著材的接著部份在經(jīng)過一定期間後’接著劑會(huì)因乾燥而變成異物,另外膠帶旁會(huì)有細(xì)小的異物付著。人體會(huì)有很多細(xì)小的異物產(chǎn)生皮膚丶毛髮丶體毛…等異物會(huì)產(chǎn)生。PINEL就就穿制總敦10/67異物對(duì)策有哪些種類的異物存在?塵埃類土類丶油類丶煙類丶塑膠類其它。金屬頫置類丶器具備品類丶保管庫丶其它