電池片制絨工序簡介

電池片制絨工序簡介2目錄1.生產(chǎn)太陽電池基本流程2.制絨的原理3.制絨工序流程圖4.設(shè)備構(gòu)造5.生產(chǎn)準備6.制絨的生產(chǎn)流程7.注意事項生產(chǎn)太陽能電池基本流程前清洗（制絨）擴散PECVDSiNx后清洗（刻邊/去PSG）

絲網(wǎng)印刷背電場絲網(wǎng)印刷正電極燒結(jié)測試分檔絲網(wǎng)印刷背電極退火

太陽電池就是將太陽能轉(zhuǎn)化為電能的半導(dǎo)體器件利用單晶硅的各向異性，采用化腐工藝在<100>硅片上制作的絨面，以減少入射光反射、提高短路電流和轉(zhuǎn)換效率。采用兩步法制作絨面，先用高濃度堿液、較高溫度下進行短時間“粗拋”，再在低濃度、低溫度下進行長時間“細腐”。此法所制絨面，在晶相顯微鏡下觀察，小金字塔排列規(guī)則、整齊、均勻，可使入射光的反射損失降低近10％。

2NaOH+H2O+SiNa2SiO3+2H2。原始硅片表面陽光吸收制絨后陽光吸收圖制絨后硅片表面顯微圖象制絨的原理設(shè)備的基本構(gòu)造5自動制片機制絨機生產(chǎn)準備6

操作人員進入車間必須穿戴無塵服，無塵鞋，無塵帽，口罩遮住鼻梁，戴雙層手套,頭發(fā)全部放進帽子里，并且必須由風(fēng)淋門進入。制絨的生產(chǎn)流程7下料統(tǒng)計數(shù)據(jù)挑碎片、返工片來料來料確認測試減薄量上料滿批次合格品下傳數(shù)據(jù)統(tǒng)計填寫流程單刻蝕工序確認雙方簽字確認合格不合格制絨的生產(chǎn)流程8拆片1、來料硅片托盤2、拆開紙箱取出泡沫盒3、拆開泡沫盒4、抽出瓦楞板和隔墊5、拆開外層包裝袋6、抽出隔紙后放入承載盒拆片時注意事項：

1.拆硅片托盤時，首先確認好外箱是否完好，以及核對數(shù)量；

2.拿取硅片時注意力度，做到輕拿輕放；

3.使用刀片拆泡沫盒外層膠帶時，注意刀片深度，避免劃傷硅片；

4.硅片放入承載盒時，必須保持整齊且平行放入，避免碰撞承載盒造成崩邊或碎片。7、放置在機臺邊區(qū)域內(nèi)制絨的生產(chǎn)流程9自動制片機上下花籃1、放承載盒至軌道2、上層放置空花籃3、下層收取滿花籃4、花籃放置于推車上上片時注意事項：

1.拿取承載盒時注意力度，做到輕拿輕放；

2.放置、拿取花籃時要做到輕拿輕放，并注意花籃小孔方向朝上；

3.拿取滿藍花籃時檢查花籃內(nèi)品質(zhì)，查看有無碎片、崩邊、缺角片；

4.過程中發(fā)現(xiàn)異常報警或碎片時，及時通知工序長和設(shè)備人員處理。制絨的生產(chǎn)流程10制絨機上下花籃1、將花籃放至軌道上2、放四個花籃后，點壓按鈕進片3、下料臺按壓按鈕出藍4、翻轉(zhuǎn)花籃檢查片子質(zhì)量上下花籃時注意事項：

1.放取花籃時注意力度，做到輕拿輕放；

2.拿取花籃時禁止手指接觸硅片造成污染；

3.下料機翻轉(zhuǎn)花籃時，注意旋轉(zhuǎn)方向，避免掉片、碎片；

4.花籃放入推車時，必須輕推輕放。5、把花籃放入推車中待石英舟冷卻后，用鑷子從爐口、爐中、爐尾取10片,到四探針測試儀上測試方塊電阻，并進行記錄，方塊電阻的范圍為76.5±1.15Ω，如果不在范圍立刻通知工藝人員。

測試方阻的注意事項：

1.取片放片要輕拿輕放；

2.填寫流程單要數(shù)據(jù)準確，禁止弄虛作假。

測片11擴散的生產(chǎn)流程送片注意事項:

1.送片前要再次確認流程單數(shù)量和實物數(shù)量是否一致，有問題及時反饋；

2.推車時注意速度，約1秒1步，避免速度過快導(dǎo)致片子碰撞造成崩邊或隱裂；

3.要及時送回擴散工序的空花籃，便于制絨工序的有序生產(chǎn)。送片12擴散的生產(chǎn)流程花斑分類

白斑、反片、亮面、小雨點，白油斑、黑油斑、臟片（手印、擦片）、水痕、暗斑、白圈?；ò呷藛T原料硅片污染酒精污染手工制絨操作失誤用手拿片導(dǎo)致手印或臟片分片導(dǎo)致反片裝片導(dǎo)致錯齒片設(shè)備制絨工藝工藝失調(diào)導(dǎo)致批量不良漂片導(dǎo)致錯齒大雨點清洗不凈導(dǎo)致后續(xù)出現(xiàn)花斑設(shè)備漏油滴源漏漿PECVD工藝刻蝕工藝PSG清洗不凈烘干不徹底工藝異?？涛g第一片導(dǎo)致白圈異常片燒焦片鍍膜失敗片PECVD倒片用吸盤臟制絨不良異常現(xiàn)象分析常見的小白斑制絨后臟片導(dǎo)致暗斑漂片或者裝片錯齒導(dǎo)致的大雨點生產(chǎn)人員裝片失誤導(dǎo)致的反片齒痕水圈制絨發(fā)白花斑片圖集灰色水痕狀臟片白色半圓形干水圈清洗不凈導(dǎo)致的水痕狀臟片花斑片圖集制絨原料問題或者燒焦片下傳會導(dǎo)致小白點SD角部原料白斑花斑片圖集白斑產(chǎn)生原因：

制絨時出現(xiàn)異常，導(dǎo)致的發(fā)白；

原料問題導(dǎo)致的白斑；

超凈的燒焦片產(chǎn)生的白斑；PECVD鍍膜失敗產(chǎn)生的云狀發(fā)白；反片產(chǎn)生原因：

制絨分片出錯；

超凈刀片出錯；小雨點產(chǎn)生原因：

制絨時間長，后期溶液內(nèi)酒精量少；

工藝配比不適合；

溶液使用次數(shù)多表面張力過大；水痕產(chǎn)生原因：制絨，超凈，刻蝕的清洗出現(xiàn)異常；

原料片臟導(dǎo)致制絨后有灰色線狀

水痕臟片；各種花斑產(chǎn)生原因臟片產(chǎn)生原因：原料本身臟；

各段操作人員不按規(guī)范操作

直接用手接觸硅片；

印刷的擦片導(dǎo)致的臟片；

白油斑產(chǎn)生原因：印刷漏漿；黑油斑產(chǎn)生原因：

印刷設(shè)備漏油；

類似黑油斑片可能是PVC手套臟；

注意事項上班前確認硅片是否夠當(dāng)班生產(chǎn)，不足時提前通知人員領(lǐng)料；生產(chǎn)中必須戴雙層手套，手套保持干凈，不允許接觸頭發(fā)，皮膚，避免污染硅片；制絨后的返工片嚴禁下傳；生產(chǎn)前檢查花籃是否完好，如有裂紋，沾污時必須通知設(shè)備技術(shù)人員評定是否可用；制絨間的溫度保持在20-