耐腐蝕抽廢氣真空泵設(shè)備工藝原理

耐腐蝕抽廢氣真空泵設(shè)備工藝原理抽廢氣真空泵是一種常工作在高真空和超高真空范圍內(nèi)的真空泵，其作用是抽出裝置中殘存的氣體和水分，使在工作區(qū)域形成穩(wěn)定的高真空或超高真空環(huán)境。本文將介紹耐腐蝕抽廢氣真空泵設(shè)備的工藝原理。耐腐蝕材料由于抽廢氣真空泵常抽取各種化學(xué)氣體和腐蝕性氣體，因此泵內(nèi)部及其部件需采用耐腐蝕材料。常用的材料有不銹鋼、鎳基合金、鈦合金等。其中，不銹鋼輪廓明顯，價格實惠，耐高溫但腐蝕性一般；鈦合金腐蝕性最小，但價格昂貴，且不適合高溫環(huán)境；鎢鋼和鉬鋼特別的高溫、高真空環(huán)境下能保持很好的耐腐蝕性。設(shè)備工藝原理抽廢氣真空泵的工藝原理主要與以下三個方面相關(guān)：真空度在真空氣氛下，物質(zhì)通過分子碰撞等方式向泵體流動，被吸入，形成氣體流。真空度是反映氣氛稀薄程度的物理量。抽廢氣真空泵的真空度可以達到高度10^-6Pa級別，每次抽氣時，需將泵體內(nèi)的氣體盡量排出，以達到更高的真空度。抽氣速率抽氣速率是指單位時間內(nèi)泵出氣體的真實量。抽廢氣真空泵的速率與泵體密閉性、泵的類型、真空程度、泵功率等因素有關(guān)。抽氣速率高，則快速排除氣體，增加真空度。一種有效方法是在工作過程中升高泵的溫度，增加異沖效應(yīng)和排氣速率。腐蝕性抽廢氣泵工作環(huán)境中往往有強酸、強堿等腐蝕性氣體。泵內(nèi)部所采用的材料需要具有耐腐蝕性。此外，在實際應(yīng)用中，還需要采用防腐涂層材料，防止介質(zhì)侵蝕泵體及密封件。技術(shù)參數(shù)抽廢氣真空泵設(shè)備的主要技術(shù)參數(shù)包括：最大抽速，最大抽程，問題面積，泵油冷卻方式以及工作環(huán)境溫度等。常見廠家生產(chǎn)的抽廢氣真空泵型號及技術(shù)參數(shù)如下表所示：廠家型號抽速(L/s)抽程(mm)驅(qū)動功率(kW)工作環(huán)境溫度(℃)UlvacVDN1078020035~40PfeifferHiPace80761400.785~40VarianDS-62561521.610~40EdwardsQDP80601501.25~40LeyboldTURBOVAC50i50950.95~40總結(jié)本文介紹了耐腐蝕抽廢氣真空泵設(shè)備的工藝原理、材料、技術(shù)參數(shù)等內(nèi)容。抽廢氣真空泵的工作應(yīng)用廣泛，如科研、制造業(yè)、電器工業(yè)、化學(xué)工業(yè)等領(lǐng)域。在選購抽廢氣真空