多晶硅設(shè)備清洗

XXX多晶硅企業(yè)3000t/a多晶硅項(xiàng)目主工藝系統(tǒng)清洗方案為確保XXX多晶硅企業(yè)3000t/a多晶硅項(xiàng)目能達(dá)到電子級(jí)多晶硅的生產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn)，將生產(chǎn)系統(tǒng)內(nèi)的所有設(shè)備、管道及附件、機(jī)泵、閥門、儀表等設(shè)備和材料，分為一般清洗和潔凈清洗兩種，并對(duì)工作流程、清洗內(nèi)容做出以下技術(shù)方案。適用標(biāo)準(zhǔn)：1、《工業(yè)設(shè)備化學(xué)清洗質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》（HG/T2387-2007）;2、化工行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)《脫脂工程施工及驗(yàn)收規(guī)范》（HG20202-2000）；3、《腐蝕試樣的制備、清洗和評(píng)定》以及對(duì)電子級(jí)設(shè)備的潔凈標(biāo)準(zhǔn)（電子工業(yè)部頒發(fā)）。一、工作流程1、非標(biāo)壓力容器設(shè)備類非標(biāo)壓力容器設(shè)備材質(zhì)為碳鋼的設(shè)備和材質(zhì)為不銹鋼的設(shè)備及內(nèi)件的脫脂工作均由設(shè)備制造廠按照HG20202-2000《脫脂工程施工及驗(yàn)收規(guī)范》的要求進(jìn)行處理，設(shè)備內(nèi)部清洗工作均由設(shè)備制造廠按照HG/T2387-2007的要求進(jìn)行處理。非標(biāo)壓力容器設(shè)備出廠前均要嚴(yán)格把關(guān)，由設(shè)備制造廠和業(yè)主方驗(yàn)收人員充分做好設(shè)備出廠驗(yàn)收工作。填寫設(shè)備出廠驗(yàn)收單：對(duì)脫脂及鈍化膜檢驗(yàn)方法結(jié)果、干燥露點(diǎn)、封閉狀態(tài)（盲板封閉）等要有明確記錄，碳鋼類設(shè)備要求充氮保護(hù)0.02Mpa。容器類、反應(yīng)器類、塔器類設(shè)備進(jìn)廠后由業(yè)主方、監(jiān)理方、安裝施工單位、制造廠家共同進(jìn)行設(shè)備內(nèi)部潔凈度驗(yàn)收，并填寫《設(shè)備、材料化學(xué)清洗驗(yàn)收單》。合格的直接移交施工單位進(jìn)行安裝，不合格者移交清洗公司進(jìn)行處理，費(fèi)用由制造廠承擔(dān)。設(shè)備進(jìn)廠后四方聯(lián)合潔凈度驗(yàn)收設(shè)備進(jìn)廠后四方聯(lián)合潔凈度驗(yàn)收移交清洗單位按要求進(jìn)行清洗處理清洗單位進(jìn)行潔凈處理清洗單位自檢重新聯(lián)合潔凈度驗(yàn)收移交安裝施工單位安裝清洗單位進(jìn)行最終潔凈處理四方聯(lián)合潔凈度最終驗(yàn)收合格不和格換熱類設(shè)備進(jìn)廠由四方驗(yàn)收后直接移交清洗單位，由設(shè)備所屬子項(xiàng)的承包安裝單位進(jìn)行箱體解體后做殼體氣密性試驗(yàn)，合格后由清洗單位進(jìn)行管程清洗并組織四方進(jìn)行潔凈度驗(yàn)收，填寫《設(shè)備、材料化學(xué)清洗驗(yàn)收單》。聯(lián)合驗(yàn)收合格后由安裝施工單位進(jìn)行管箱組裝和管程氣密性試驗(yàn)。合格后交付施工單位安裝，碳鋼設(shè)備要求氮?dú)饷芊?。換熱器進(jìn)廠后四方聯(lián)合驗(yàn)收換熱器進(jìn)廠后四方聯(lián)合驗(yàn)收移交施工單位管箱解體并進(jìn)行殼程氣密性試驗(yàn)清洗單位進(jìn)行清洗（包括墊片）并自檢四方聯(lián)合潔凈度最終驗(yàn)收移交安裝施工單位恢復(fù)管箱并進(jìn)行管程氣密性試驗(yàn)2、機(jī)泵、閥門、儀表類對(duì)于機(jī)泵、閥門、儀表類設(shè)備材料的酸洗鈍化及清洗工作也均由設(shè)備制造廠按照HG20202-2000《脫脂工程施工及驗(yàn)收規(guī)范》的要求和HG/T2387-2007《工業(yè)設(shè)備化學(xué)清洗質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》的要求完成，業(yè)主方專人到制造廠進(jìn)行酸洗鈍化和清洗指導(dǎo)和監(jiān)督，設(shè)備發(fā)貨前由業(yè)主方和設(shè)備制造廠對(duì)完工設(shè)備進(jìn)行內(nèi)部潔凈度驗(yàn)收并填寫出廠驗(yàn)收單。對(duì)于機(jī)泵類和儀表類設(shè)備進(jìn)廠后由業(yè)主方、監(jiān)理方、安裝施工單位、制造廠家共同進(jìn)行設(shè)備內(nèi)部潔凈度驗(yàn)收，合格后直接移交施工單位進(jìn)行安裝，不合格者移交清洗公司進(jìn)行處理。費(fèi)用由制造廠承擔(dān)。不合格合格四方聯(lián)合潔凈度最終驗(yàn)收潔凈度處理退回制造廠家處理氣密性試驗(yàn)四方聯(lián)合潔凈度驗(yàn)收設(shè)備進(jìn)廠后移交安裝施工單位對(duì)于閥門類設(shè)備進(jìn)廠時(shí)由設(shè)備制造廠直接移交安裝施工單位，同時(shí)由業(yè)主方、監(jiān)理方、安裝施工單位、制造廠家四方共同驗(yàn)收閥門內(nèi)部的潔凈度，內(nèi)部的潔凈度合格的閥門由安裝施工單位進(jìn)行氣密性試驗(yàn)，潔凈度不合格者直接退回制造廠家負(fù)責(zé)處理。（為不影響工期，可要求廠家及時(shí)調(diào)換發(fā)貨，減少運(yùn)輸時(shí)間，或由廠家委托清洗單位清洗，費(fèi)用自理，但必須保證拆解、復(fù)位后的氣密性試驗(yàn)合格）。不合格合格四方聯(lián)合潔凈度最終驗(yàn)收潔凈度處理退回制造廠家處理氣密性試驗(yàn)四方聯(lián)合潔凈度驗(yàn)收設(shè)備進(jìn)廠后移交安裝施工單位3、管道、管件、法蘭、墊片類對(duì)于工藝管道材質(zhì)為碳鋼的管道和材質(zhì)為不銹鋼的管道、管件、預(yù)制件、法蘭、墊片的脫脂、鈍化、封閉等工作均由清洗單位負(fù)責(zé)，分別按照HG20202-2000《脫脂工程施工及驗(yàn)收規(guī)范》的要求進(jìn)行處理，清洗工作按照HG/T2387-2007《工業(yè)設(shè)備化學(xué)清洗質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》的要求進(jìn)行處理。合格后由業(yè)主方、監(jiān)理方、安裝施工單位、清洗單位共同進(jìn)行內(nèi)部潔凈度及鈍化膜驗(yàn)收，驗(yàn)收時(shí)用藍(lán)點(diǎn)法、熒光法檢測(cè)或用清潔干燥的白色濾紙隨即擦拭，達(dá)到無油、無銹、潔凈、干燥為合格。合格后直接移交施工單位進(jìn)行安裝。材料進(jìn)廠驗(yàn)收后移交清洗單位材料進(jìn)廠驗(yàn)收后移交清洗單位清洗單位按要求處理清洗單位自檢四方聯(lián)合潔凈度最終驗(yàn)收4、所有入場(chǎng)設(shè)備均由業(yè)主方、監(jiān)理方、安裝施工單位、制造廠家共同進(jìn)行設(shè)備潔凈度驗(yàn)收，因清洗不合格或裝卸車及運(yùn)輸過程造成的二次污染，由制造廠承擔(dān)二次相應(yīng)等級(jí)清洗的費(fèi)用，嚴(yán)重影響工期的按合同條款未能按時(shí)交貨予以罰款；對(duì)于入場(chǎng)驗(yàn)收或清洗驗(yàn)收合格并移交安裝單位的設(shè)備、管件、管道、閥門、儀表等，安裝單位要做好施工防護(hù)，對(duì)確認(rèn)造成的二次污染，安裝施工單位必須承擔(dān)二次相應(yīng)等級(jí)清洗的清洗費(fèi)，趕工費(fèi)以及延誤工期的處罰。二、清洗等級(jí)要求1、一般清洗：適用于系統(tǒng)內(nèi)介質(zhì)為儀表、氮?dú)?、氯氣、液氯、硅粉、循環(huán)水、氯化氫、蒸汽的設(shè)備、管道、管件、閥門、儀表等。要求脫脂、鈍化、干燥。2、潔凈清洗：適用于系統(tǒng)內(nèi)介質(zhì)為氯硅烷、氫氣、純水接觸的碳鋼，不銹鋼的設(shè)備、管道、管件、閥門、儀表等。要求在一般清洗后對(duì)介質(zhì)接觸側(cè)表面采用易揮發(fā)類試劑或用≥5MΩ·㎝的純水進(jìn)行充分擦拭或沖洗，驗(yàn)收時(shí)用藍(lán)點(diǎn)法、熒光法檢測(cè)或用清潔干燥的白色濾紙隨機(jī)擦拭設(shè)備內(nèi)表面，必須達(dá)到無油、無銹、潔凈、干燥為合格。具體設(shè)備、管道、管件、閥門、儀表的清洗等級(jí)，由技術(shù)部確定，并制定設(shè)備清洗等級(jí)一覽表。三、驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)及記錄卡表1、奧氏體不銹鋼類設(shè)備、材料鈍化膜質(zhì)量和潔凈度驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)：鈍化膜質(zhì)量用酸性鐵氰化鉀點(diǎn)滴液檢測(cè)（藍(lán)點(diǎn)法）。用點(diǎn)滴液點(diǎn)滴鈍化表面，點(diǎn)滴液覆蓋的面內(nèi)10分鐘內(nèi)出現(xiàn)的藍(lán)色小點(diǎn)不多于8個(gè)點(diǎn)位合格。潔凈度質(zhì)量用波長320nm~380nm的紫外光檢查被除油金屬表面，應(yīng)無油脂熒光；或情節(jié)干燥的白色濾紙擦拭被除油金屬表面，紙上應(yīng)無油脂痕跡、無銹、潔凈、干燥。用脫脂棉沾四氯化碳擦拭一定面積的被除油金屬表面，測(cè)得被除油金屬表面含油量應(yīng)不大于125mg/㎡。2、碳鋼設(shè)備、材料的鈍化膜質(zhì)量和潔凈度驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)：用酸性硫酸銅點(diǎn)滴液檢驗(yàn)（紅點(diǎn)發(fā)）。用點(diǎn)滴液點(diǎn)滴鈍化表面，點(diǎn)滴液由藍(lán)色變?yōu)榧t色的時(shí)間不小于5秒為合格。潔凈度質(zhì)量用波長波長320nm~380nm的紫外光檢查被除油金屬表面，應(yīng)無油脂熒光；或情節(jié)干燥的白色濾紙擦拭被除油金屬表面，紙上應(yīng)無油脂痕跡、無銹、潔凈、干燥。用脫脂棉沾四氯化碳擦拭一定面積的被除油金屬表面，測(cè)得被除油金屬表面含油量應(yīng)不大于125mg/㎡。3、干燥度的驗(yàn)收露點(diǎn)≤-20℃。4、對(duì)于各子項(xiàng)中的設(shè)備、材料分別單獨(dú)進(jìn)行驗(yàn)收合格后，對(duì)個(gè)子項(xiàng)的化學(xué)清洗質(zhì)量進(jìn)行驗(yàn)收。5、設(shè)備、材料化學(xué)清洗驗(yàn)收及工業(yè)設(shè)備化學(xué)清洗工程質(zhì)量評(píng)定驗(yàn)收記錄表卡。需填寫的記錄標(biāo)卡（2份）附后。工業(yè)設(shè)備化學(xué)清洗工程質(zhì)量評(píng)定及驗(yàn)收單驗(yàn)收單編號(hào)工程名稱建設(shè)單位工程地點(diǎn)施工單位開工日期竣工日期范圍與內(nèi)容：標(biāo)準(zhǔn)與要求：工程自檢結(jié)果：技術(shù)負(fù)責(zé)人（簽字）：日期：質(zhì)量評(píng)定結(jié)果：委托單位（蓋章）代表簽字：日期：監(jiān)理單位（蓋章）代表簽字：日期：設(shè)計(jì)單位（蓋章）代表簽字：日期：施工單位（蓋章）代表簽字：日期：設(shè)備、材料化學(xué)清洗驗(yàn)收單工程名稱：清洗單編號(hào)：設(shè)備（材料）名稱設(shè)備位號(hào)（材料編號(hào)）材質(zhì)數(shù)量入場(chǎng)驗(yàn)收：合格□不合格□施工過程二次污染□清洗等級(jí)：□一般清洗□潔凈清洗清洗流程及驗(yàn)收結(jié)果：設(shè)備制造單位（簽字）：清洗單位（簽字）：安裝單位（簽字）：