GB 51209-2016 發(fā)光二極管工廠設(shè)計(jì)規(guī)范

UDC

發(fā)光二極管工廠設(shè)計(jì)規(guī)范中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

GB512092016

發(fā)光二極管工廠設(shè)計(jì)規(guī)范

Codefordesignoflightemittingdiode專用plant

人人文庫(kù)

20161024發(fā)布20170701實(shí)施

統(tǒng)一書號(hào)：155182·0107

中華人民共和國(guó)住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部

定價(jià)：20.00元聯(lián)合發(fā)布

中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

發(fā)光二極管工廠設(shè)計(jì)規(guī)范

Codefordesignoflightemittingdiodeplant

GB51209-2016

主編部門：中華人民共和國(guó)工業(yè)和信息化部

批準(zhǔn)部門：中華人民共和國(guó)住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部專用

施行日期：2017年7月1日

人人文庫(kù)

中國(guó)計(jì)劃出版社

2016北京

書

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)專用

發(fā)光二極管工廠設(shè)計(jì)規(guī)范

GB51209-2016

☆

中國(guó)計(jì)劃出版社出版發(fā)行

網(wǎng)址：

地址：北京市西城區(qū)木樨地北里甲11號(hào)國(guó)宏大廈C座3層

郵政編碼：100038電話：（010）63906433（發(fā)行部）

三河富華印刷包裝有限公司印刷

850mm×1168mm1／323.125印張77千字

2017年6月第1版2017年6月第1次印刷

☆

人人文庫(kù)統(tǒng)一書號(hào)：155182·0107

定價(jià)：20.00元

版權(quán)所有侵權(quán)必究

侵權(quán)舉報(bào)電話：（010）63906404

如有印裝質(zhì)量問(wèn)題，請(qǐng)寄本社出版部調(diào)換

中華人民共和國(guó)住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部公告

第1352號(hào)

住房城鄉(xiāng)建設(shè)部關(guān)于發(fā)布國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

《發(fā)光二極管工廠設(shè)計(jì)規(guī)范》的公告

現(xiàn)批準(zhǔn)《發(fā)光二極管工廠設(shè)計(jì)規(guī)范》為專用國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，編號(hào)為

GB51209—2016，自2017年7月1日起實(shí)施。其中，第8.2.3、

8.3.3（1）、8.3.9、8.3.11、10.2.9條（款）為強(qiáng)制性條文，必須嚴(yán)格

執(zhí)行。

本規(guī)范由我部標(biāo)準(zhǔn)定額研究所組織中國(guó)計(jì)劃出版社出版

發(fā)行。

中華人民共和國(guó)住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部

人人文庫(kù)2016年10月24日

前言

根據(jù)住房城鄉(xiāng)建設(shè)部《關(guān)于印發(fā)〈2010年工程建設(shè)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范

制訂、修訂計(jì)劃〉的通知》（建標(biāo)〔2010〕43號(hào)）的要求，由工業(yè)和信

息化部電子工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)化研究院電子工程標(biāo)準(zhǔn)定額站與中國(guó)電子工

程設(shè)計(jì)院會(huì)同有關(guān)單位共同編制完成。

在規(guī)范編制過(guò)程中，編寫組根據(jù)我國(guó)發(fā)光二極管工廠的設(shè)計(jì)、

建造和運(yùn)行的實(shí)際情況，進(jìn)行了廣泛的調(diào)查研究，收集了有關(guān)發(fā)光

二極管工廠的設(shè)計(jì)要求，認(rèn)真總結(jié)實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)，同時(shí)考慮我國(guó)目前生

產(chǎn)的現(xiàn)狀，參考國(guó)外有關(guān)的標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范，廣泛征求了國(guó)內(nèi)有關(guān)單位與專用

專家意見(jiàn)，最后經(jīng)審查定稿。

本規(guī)范共分13章和3個(gè)附錄，主要技術(shù)內(nèi)容包括：總則，術(shù)

語(yǔ)，基本規(guī)定，工藝，總圖，建筑，結(jié)構(gòu)，動(dòng)力及氣體工程，供暖、通

風(fēng)、空氣調(diào)節(jié)與凈化，給水排水，電氣，防靜電和空間管理等。

本規(guī)范中以黑體字標(biāo)志的條文為強(qiáng)制性條文，必須嚴(yán)格執(zhí)行。

本規(guī)范由住房城鄉(xiāng)建設(shè)部負(fù)責(zé)管理和對(duì)強(qiáng)制性條文的解

釋，由工業(yè)和信息化部負(fù)責(zé)日常管理，由中國(guó)電子工程設(shè)計(jì)院負(fù)

責(zé)具體技術(shù)內(nèi)容的解釋。執(zhí)行過(guò)程中如有意見(jiàn)或建議，請(qǐng)寄送

中國(guó)電子工程設(shè)計(jì)院（地址：北京市海淀區(qū)西四環(huán)北路160號(hào)，

郵政編碼人人文庫(kù)：100142，傳真，以便今后修訂時(shí)

參考。

本規(guī)范主編單位、參編單位、主要起草人和主要審查人：

主編單位：工業(yè)和信息化部電子工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)化研究院電子

工程標(biāo)準(zhǔn)定額站

中國(guó)電子工程設(shè)計(jì)院

參編單位：世源科技工程有限公司

·1·

信息產(chǎn)業(yè)電子第十一設(shè)計(jì)研究院科技工程股份

有限公司

上海電子工程設(shè)計(jì)研究院有限公司

廈門市三安光電股份有限公司

主要起草人：羅橋張東晁陽(yáng)趙廣鵬鄭秉孝

李驥秦學(xué)禮肖紅梅李錦生吳曉斌

鐘景華張曉敏韓方俊薛長(zhǎng)立陳陣

李志偉黃繼紅云庚王立趙玉娟

主要審查人：徐征杜寶強(qiáng)呂婌宜張同億任兆成

李道本任向東施紅平劉國(guó)旭

專用

人人文庫(kù)

·2·

目次

1總則…………………（1）

2術(shù)語(yǔ)…………………（2）

3基本規(guī)定…………………（3）

4工藝…………………（4）

4.1一般規(guī)定………………（4）

4.2基本工序與生產(chǎn)協(xié)作……（4）

4.3工藝區(qū)劃………………（5）

設(shè)備布置專用（）

4.4………………5

5總圖…………………（6）

5.1廠址選擇………………（6）

5.2總平面布置……………（6）

6建筑…………………（8）

6.1一般規(guī)定………………（8）

6.2防火及安全疏散…………（8）

7結(jié)構(gòu)…………………（10）

7.1一般規(guī)定………………（10）

7.2結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)………………（10）

8動(dòng)力及氣體工程人人文庫(kù)…………（12）

8.1冷熱源…………………（12）

8.2大宗氣體供應(yīng)……………（13）

8.3特種氣體供應(yīng)……………（14）

8.4動(dòng)力氣體供應(yīng)……………（16）

9供暖、通風(fēng)、空氣調(diào)節(jié)與凈化……………（18）

9.1一般規(guī)定………………（18）

·1·

9.2供暖、通風(fēng)與廢氣處理……（18）

9.3空氣調(diào)節(jié)與凈化…………（20）

9.4防排煙…………………（21）

10給水排水…………………（22）

10.1一般規(guī)定………………（22）

10.2一般給水排水…………（22）

10.3純水……………………（23）

10.4工藝?yán)鋮s循環(huán)水………（23）

10.5廢水處理………………（24）

10.6消防……………………（24）

11電氣…………………（26）

11.1供配電與照明…………（26）

防雷與接地……………專用（）

11.227

11.3自控……………………（27）

11.4通信……………………（28）

11.5安全防護(hù)………………（28）

12防靜電……………………（30）

12.1一般規(guī)定………………（30）

12.2防靜電措施……………（30）

12.3防靜電接地……………（32）

13空間管理…………………（33）

13.1一般規(guī)定………………（33）

13.2管線布置人人文庫(kù)………………（33）

附錄A發(fā)光二極管典型生產(chǎn)環(huán)境要求……（35）

附錄B發(fā)光二極管生產(chǎn)工藝動(dòng)力品質(zhì)要求………………（36）

附錄C發(fā)光二極管生產(chǎn)的典型工藝流程…（38）

本規(guī)范用詞說(shuō)明………………（40）

引用標(biāo)準(zhǔn)名錄…………………（41）

附：條文說(shuō)明…………………（43）

·2·

Contents

1Generalprovisions………（1）

2Terms……………………（2）

3Basicrequirements………（3）

4Process……………………（4）

4.1Generalrequirements……（4）

4.2Basicprocessandproducecollaboration…（4）

專用（）

4.3Processlayout…………5

4.4Equipmentlayout………（5）

5Sitemaster………………（6）

5.1Siteselection……………（6）

5.2Sitemasterplan…………（6）

6Architecturedesign………（8）

6.1Generalrequirements……（8）

6.2Fireevacuation…………（8）

7Structuredesign…………（10）

7.1Generalrequirements……（10）

7.2Structuraldesi人人文庫(kù)gn………（10）

8Utilitiesandgases………（12）

8.1Coolingandheatingsource………………（12）

8.2Bulkgasessupply………（13）

8.3Specialgasessupply……（14）

8.4Utilitiessupply…………（16）

9Heating，ventilation，airconditioningandcleaning………（18）

·3·

9.1Generalrequirements……（18）

9.2Heating，ventilationandwastegastreatment……………（18）

9.3Airconditioningandcleaning……………（20）

9.4Smokeventing…………（21）

10Watersupplyanddrainage……………（22）

10.1Generalrequirements…………………（22）

10.2Genaralwater…………（22）

10.3Purewater……………（23）

10.4Processcoolingwater…………………（23）

10.5Wastewatertreatment…………………（24）

10.6Fireprotection…………（24）

11Electricaldesign…………專用（26）

11.1Powersupplyandillumination…………（26）

11.2Lightingprotectingandgroundconnection………………（27）

11.3Automaticcontrol………（27）

11.4Telecommunication……（28）

11.5Safetyprotection………（28）

12Anti-staticdesign………（30）

12.1Generalrequirements…………………（30）

12.2Anti-staticmeasures……（30）

12.3Anti-staticgroundconnection…………（32）

13Spacemanagement………（33）

13.1Generalre人人文庫(kù)quirements…………………（33）

13.2Pipelinelayout…………（33）

AppendixATypicalmainproductionenvironment

ofLED………（35）

AppendixBTypicalutilitiesqualityrequirements

ofLED………（36）

AppendixCTypicalLEDprocessflow…（38）

·4·

Explanationofwordinginthiscode………（40）

Listofquotedstandards……（41）

Addition：Explanationofprovisions………（43）

專用

人人文庫(kù)

·5·

1總則

1.0.1為規(guī)范發(fā)光二極管工廠設(shè)計(jì)，做到安全適用、確保生產(chǎn)、經(jīng)

濟(jì)合理、技術(shù)先進(jìn)、環(huán)境保護(hù)，制定本規(guī)范。

1.0.2本規(guī)范適用于新建、擴(kuò)建和改建的發(fā)光二極管工廠的工程

設(shè)計(jì)。

1.0.3發(fā)光二極管工廠設(shè)計(jì)除應(yīng)執(zhí)行本規(guī)范外，尚應(yīng)符合國(guó)家現(xiàn)

行有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定。

專用

人人文庫(kù)

·1·

2術(shù)語(yǔ)

2.0.1發(fā)光二極管lightemittingdiode（LED）

一種能夠?qū)㈦娔苻D(zhuǎn)化為可見(jiàn)光的固態(tài)半導(dǎo)體器件。

2.0.2外延epitaxy

在單晶襯底（基片）上生長(zhǎng)一層或多層有一定要求的、與襯底

晶向相同或相似的單晶層的生長(zhǎng)技術(shù)。

2.0.3金屬有機(jī)化合物化學(xué)氣相沉積metal-organicchemical

vapordeposition（MOCVD）

以Ⅲ族、Ⅱ族元素的金屬有機(jī)化合物和Ⅴ、Ⅵ專用族元素的氫化物

等作為晶體生長(zhǎng)原材料，以熱分解反應(yīng)方式在襯底上進(jìn)行氣相外

延，生長(zhǎng)各種Ⅲ-Ⅴ族、Ⅱ-Ⅵ族化合物半導(dǎo)體及其多元薄層單晶材

料的工藝過(guò)程。

2.0.4空間管理spacemanagement

為有效利用空間、縮短工作流程，對(duì)大到整個(gè)廠區(qū)的建筑物布

局、地下管線規(guī)劃，小到一棟建筑物內(nèi)部各個(gè)專業(yè)間的配置協(xié)調(diào)而

進(jìn)行的設(shè)計(jì)。

人人文庫(kù)

·2·

3基本規(guī)定

3.0.1發(fā)光二極管工廠設(shè)計(jì)應(yīng)滿足發(fā)光二極管產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要

求，并應(yīng)根據(jù)具體情況為今后生產(chǎn)發(fā)展或生產(chǎn)工藝改進(jìn)的需要預(yù)

留條件。

3.0.2發(fā)光二極管工廠設(shè)計(jì)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝的特點(diǎn)，采用節(jié)能環(huán)

保的新技術(shù)、新設(shè)備、新材料。

3.0.3發(fā)光二極管工廠設(shè)計(jì)應(yīng)為施工安裝、調(diào)試檢測(cè)和安全運(yùn)

行、維護(hù)管理創(chuàng)造條件。專用

人人文庫(kù)

·3·

4工藝

4.1一般規(guī)定

4.1.1發(fā)光二極管工廠工藝設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列規(guī)定：

1采用效率高的生產(chǎn)工藝；

2提高工藝流程的合理性；

3采用經(jīng)濟(jì)、適用的工藝參數(shù)；

4具有適度的靈活性和適應(yīng)性。

4.1.2工藝設(shè)計(jì)應(yīng)滿足工藝生產(chǎn)的要求，并為產(chǎn)品的規(guī)?；?/p>

產(chǎn)、升級(jí)改造預(yù)留下列條件：專用

1工藝設(shè)備數(shù)量增加、工藝設(shè)備占地面積增加所需要的面積

條件；

2工藝設(shè)備變更、工藝設(shè)備高度增加所需要的空間條件；

3工藝設(shè)備變更、工藝設(shè)備數(shù)量增加所需要增加的動(dòng)力條件。

4.1.3生產(chǎn)線的產(chǎn)能設(shè)計(jì)應(yīng)符合經(jīng)濟(jì)規(guī)模要求；當(dāng)生產(chǎn)線需分期

實(shí)施時(shí)，工藝設(shè)計(jì)中應(yīng)預(yù)留動(dòng)力條件。

4.1.4工藝設(shè)計(jì)應(yīng)明確生產(chǎn)環(huán)境和動(dòng)力供應(yīng)要求，并應(yīng)滿足生產(chǎn)

工藝和設(shè)備正常運(yùn)行的要求。主要工序生產(chǎn)環(huán)境要求可按照附錄

A執(zhí)行。

4.1.5工藝設(shè)計(jì)應(yīng)明確工藝生產(chǎn)動(dòng)力品質(zhì)要求人人文庫(kù)。發(fā)光二極管生

產(chǎn)工藝動(dòng)力品質(zhì)要求可按照附錄B執(zhí)行。

4.1.6主要生產(chǎn)車間的生產(chǎn)設(shè)備宜連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)，其他輔助生產(chǎn)車間

可根據(jù)其具體特點(diǎn)靈活配套。

4.2基本工序與生產(chǎn)協(xié)作

4.2.1生產(chǎn)的基本工序應(yīng)根據(jù)產(chǎn)品的生產(chǎn)工藝確定。生產(chǎn)工序

·4·

可根據(jù)附錄C所列的工藝流程確定。

4.2.2生產(chǎn)的主要工序宜完整，輔助生產(chǎn)工序可通過(guò)外協(xié)方式

完成。

4.2.3在工藝設(shè)計(jì)中，根據(jù)外協(xié)的具體內(nèi)容及要求設(shè)置滿足外部

協(xié)作需要的相關(guān)配套設(shè)施。

4.2.4工藝設(shè)計(jì)應(yīng)滿足發(fā)光二極管工廠的生產(chǎn)、輔助生產(chǎn)、管理

和運(yùn)營(yíng)設(shè)施、勞動(dòng)安全、職業(yè)衛(wèi)生和環(huán)境保護(hù)等管理、檢測(cè)、教育和

培訓(xùn)設(shè)施的設(shè)計(jì)要求。

4.3工藝區(qū)劃

4.3.1生產(chǎn)廠房?jī)?nèi)的工藝功能區(qū)應(yīng)依據(jù)生產(chǎn)的工藝流程，按照生

產(chǎn)的基本工序進(jìn)行劃分，相同的工序宜集中布置。典型的工藝流

程可按照附錄C設(shè)置。專用

4.3.2生產(chǎn)廠房?jī)?nèi)的工藝區(qū)應(yīng)分別設(shè)置人員出入口、物料出

入口。

4.3.3工藝平面布置應(yīng)設(shè)置設(shè)備搬入口和設(shè)備搬入通道。

4.3.4生產(chǎn)區(qū)的參觀設(shè)施，應(yīng)與生產(chǎn)環(huán)境相隔離。

4.4設(shè)備布置

4.4.1振動(dòng)敏感設(shè)備宜遠(yuǎn)離振動(dòng)源布置。

4.4.2生產(chǎn)設(shè)備宜根據(jù)工藝流程集中布置，并考慮設(shè)備搬運(yùn)、維

修空間。

4.4.3金屬有機(jī)化合物化學(xué)氣相沉積設(shè)備及其輔助設(shè)備宜集中人人文庫(kù)

布置。

4.4.4氣瓶柜、尾氣處理設(shè)備、氣體純化柜等金屬有機(jī)化學(xué)氣相

沉積設(shè)備的輔助設(shè)備的布置方式，應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)

防火規(guī)范》GB50016和《特種氣體系統(tǒng)工程技術(shù)規(guī)范》GB50646

的有關(guān)規(guī)定。

·5·

5總圖

5.1廠址選擇

5.1.1發(fā)光二極管工廠的廠址選擇應(yīng)按建設(shè)規(guī)模、原材料供應(yīng)、

供電、供水、供氣、工程地質(zhì)和企業(yè)協(xié)作條件、場(chǎng)地現(xiàn)有設(shè)施、環(huán)境

保護(hù)等因素進(jìn)行技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較后確定。

5.1.2廠址選擇應(yīng)符合下列規(guī)定：

1避免生產(chǎn)的危險(xiǎn)或有害因素對(duì)周邊人群居住或活動(dòng)環(huán)境

造成污染與危害；

避開(kāi)空氣經(jīng)常受懸浮物污染的地區(qū)；專用

2

3場(chǎng)地應(yīng)相對(duì)平整，距外界強(qiáng)振源較遠(yuǎn)。

5.1.3廠址不應(yīng)選擇在下列地區(qū)：

1易受洪水、潮水、內(nèi)澇威脅的區(qū)域；

2工程地質(zhì)、水文復(fù)雜的地帶和地震設(shè)防烈度高于9度的

地區(qū)；

3采礦陷落（錯(cuò)動(dòng)）區(qū)界限內(nèi)；

4重要的供水水源衛(wèi)生保護(hù)區(qū)；

5Ⅳ級(jí)自重濕陷性黃土、厚度大的新近堆積黃土、高壓縮性

的飽和黃土和Ⅲ級(jí)膨脹土等工程地質(zhì)地區(qū)；

6有用礦藏地區(qū)人人文庫(kù)。

5.2總平面布置

5.2.1發(fā)光二極管工廠總體規(guī)劃，應(yīng)符合所在地區(qū)的區(qū)域規(guī)劃、

城鎮(zhèn)規(guī)劃的要求。

5.2.2總平面布置應(yīng)符合下列規(guī)定：

1主廠房宜根據(jù)生產(chǎn)工藝特點(diǎn)和各種功能區(qū)的要求，按組合

·6·

式、大體量的綜合性廠房布置；

2廠區(qū)內(nèi)生產(chǎn)區(qū)、動(dòng)力輔助區(qū)、倉(cāng)儲(chǔ)區(qū)和辦公、生活區(qū)等功能

區(qū)域應(yīng)合理布置；

3有微振控制要求的潔凈廠房總平面布置時(shí)，應(yīng)考慮鄰近存

在較大振動(dòng)的振源對(duì)精密設(shè)備、儀器的振動(dòng)影響；

4工廠的動(dòng)力設(shè)施宜集中布置并靠近工廠的負(fù)荷中心；

5廠區(qū)人流和物流的出入口宜分開(kāi)設(shè)置；原料物料的運(yùn)輸路

線應(yīng)短捷、方便，避免人流和物流之間的混雜和交叉。

5.2.3廠區(qū)給水、排水、循環(huán)水及動(dòng)力電纜等管線宜選用地下敷

設(shè)方式；廠區(qū)易燃可燃液體、燃?xì)狻崃?、壓縮空氣及保護(hù)氣體、通

信信號(hào)電纜等管線宜選用地上管架敷設(shè)方式；地上、地下管線的布

置應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《工業(yè)企業(yè)總平面設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50187的

有關(guān)規(guī)定。專用

5.2.4廠區(qū)道路面層應(yīng)選用整體性能好、發(fā)塵少的材料。

5.2.5廠區(qū)應(yīng)合理進(jìn)行綠化，但不宜種植對(duì)生產(chǎn)環(huán)境和產(chǎn)品質(zhì)量

有影響的植物。

人人文庫(kù)

·7·

6建筑

6.1一般規(guī)定

6.1.1發(fā)光二極管工廠可由生產(chǎn)廠房、動(dòng)力廠房、化學(xué)品庫(kù)、氣

站、倉(cāng)庫(kù)及辦公樓等建筑組成。

6.1.2生產(chǎn)廠房的建筑平面和空間布局，應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝、工藝

改造和擴(kuò)大生產(chǎn)規(guī)模的要求確定。

6.1.3生產(chǎn)廠房圍護(hù)結(jié)構(gòu)材料的選擇應(yīng)滿足生產(chǎn)對(duì)環(huán)境的氣密、

保溫、隔熱、防火、防潮、防塵、耐久、易清洗等要求。外圍護(hù)結(jié)構(gòu)及

節(jié)點(diǎn)部位的內(nèi)表面溫度不應(yīng)低于室內(nèi)空氣露點(diǎn)溫度專用。

6.1.4技術(shù)夾層、技術(shù)夾道應(yīng)滿足各種風(fēng)管和各種動(dòng)力管線安

裝、維修要求。穿越樓層的豎向管線需暗敷時(shí)，宜設(shè)置技術(shù)豎井，

其形式、尺寸和構(gòu)造應(yīng)滿足風(fēng)管、管線的安裝、檢修和防火要求。

6.1.5廠房的平面布局和構(gòu)造處理，宜避免人流、物流運(yùn)輸及防

火對(duì)潔凈生產(chǎn)環(huán)境帶來(lái)不利的影響。生產(chǎn)輔助部門等與生產(chǎn)密切

聯(lián)系的部門應(yīng)盡量靠近生產(chǎn)區(qū)。

6.1.6廠房?jī)?nèi)宜設(shè)置工藝設(shè)備、動(dòng)力設(shè)備的搬入及運(yùn)輸安裝通

道；通道寬度應(yīng)滿足人員操作、物料運(yùn)輸、設(shè)備安裝、檢修的要求。

6.1.7廠房室內(nèi)裝修應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑內(nèi)部裝修設(shè)計(jì)防

火規(guī)范》GB50222人人文庫(kù)和《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50472的

有關(guān)規(guī)定。

6.2防火及安全疏散

6.2.1發(fā)光二極管工廠建筑的耐火等級(jí)不應(yīng)低于二級(jí)。

6.2.2金屬有機(jī)化合物化學(xué)氣相沉積間的火災(zāi)危險(xiǎn)性分類在滿

足下列條件時(shí)應(yīng)按丙類，否則應(yīng)按甲類設(shè)防：

·8·

1設(shè)備密閉性良好；

2設(shè)有氣體或可燃蒸汽報(bào)警裝置和滅火裝置。

6.2.3其他生產(chǎn)區(qū)的火災(zāi)危險(xiǎn)性分類，應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建

筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB50016和《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》

GB50472的有關(guān)規(guī)定。

6.2.4廠房?jī)?nèi)防火分區(qū)的劃分，應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)

防火規(guī)范》GB50016和《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50472

的有關(guān)規(guī)定。

6.2.5廠房安全出口的設(shè)置、安全疏散距離應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB50016和《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》

GB50472的有關(guān)規(guī)定。

6.2.6危險(xiǎn)化學(xué)品儲(chǔ)存區(qū)域和分配區(qū)不得設(shè)置在人員密集房間

和疏散走廊的上方、下方或貼鄰；特氣間、氣體純化間等有爆炸危專用

險(xiǎn)性房間應(yīng)靠外墻布置，房間泄壓面積應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑

設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB50016的有關(guān)規(guī)定。

6.2.7易燃易爆化學(xué)品儲(chǔ)存間、分配間，應(yīng)采用不發(fā)生火花的防

靜電地面；腐蝕性化學(xué)品儲(chǔ)存間、分配間應(yīng)采用防腐蝕地面。

人人文庫(kù)

·9·

7結(jié)構(gòu)

7.1一般規(guī)定

7.1.1發(fā)光二極管工廠光刻機(jī)等精密設(shè)備基礎(chǔ)應(yīng)滿足微振動(dòng)控

制的要求。

7.1.2產(chǎn)生較大振動(dòng)的設(shè)備基礎(chǔ)宜遠(yuǎn)離光刻機(jī)等精密設(shè)備區(qū)域；

當(dāng)無(wú)法遠(yuǎn)離時(shí)，對(duì)產(chǎn)生較大振動(dòng)的設(shè)備應(yīng)采取有效的隔振措施。

7.1.3生產(chǎn)廠房工藝生產(chǎn)區(qū)的結(jié)構(gòu)不宜設(shè)置伸縮縫。

7.2結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)專用

7.2.1發(fā)光二極管生產(chǎn)廠房可根據(jù)工藝生產(chǎn)要求采用下列結(jié)構(gòu)

體系：

1單層排架結(jié)構(gòu)體系；

2單層門式剛架鋼結(jié)構(gòu)體系；

3多層框架結(jié)構(gòu)體系；

4多層框排架結(jié)構(gòu)體系。

7.2.2精密設(shè)備基礎(chǔ)宜避開(kāi)廠房柱基礎(chǔ)；無(wú)法避開(kāi)時(shí)，應(yīng)考慮廠

房柱基礎(chǔ)沉降引起精密設(shè)備基礎(chǔ)的地基變形計(jì)算。

7.2.3光刻機(jī)等精密設(shè)備基礎(chǔ)在首層的微振動(dòng)控制應(yīng)根據(jù)其特

性，采取防微振措施人人文庫(kù)，并應(yīng)符合下列規(guī)定：

1首層應(yīng)做鋼筋混凝土地面，厚度不宜小于250mm；

2設(shè)備基礎(chǔ)厚度不宜小于800mm，并應(yīng)與首層的鋼筋混凝

土地面連為一體；

3有沖擊荷載的設(shè)備應(yīng)遠(yuǎn)離光刻機(jī)等精密設(shè)備，且宜在有沖

擊荷載設(shè)備的周邊設(shè)置隔振溝；

4精密設(shè)備的基礎(chǔ)安全等級(jí)應(yīng)不低于二級(jí)。

·01·

7.2.4樓層和屋頂?shù)钠胀ㄔO(shè)備基礎(chǔ)應(yīng)符合下列規(guī)定：

1不宜采用整片的鋼筋混凝土基礎(chǔ)，宜根據(jù)設(shè)備支承點(diǎn)位置

采用鋼筋混凝土支墩或鋼筋混凝土條形基礎(chǔ)；

2設(shè)備基礎(chǔ)不應(yīng)跨越伸縮縫；

3設(shè)備基礎(chǔ)宜布置在柱頂、主梁或次梁上。

7.2.5應(yīng)考慮樓層上設(shè)備的布置范圍和運(yùn)輸安裝區(qū)域的荷載，并

對(duì)受此荷載影響的梁、柱和基礎(chǔ)根據(jù)正常使用極限狀態(tài)和承載能

力極限狀態(tài)的要求進(jìn)行驗(yàn)算。

7.2.6生產(chǎn)廠房樓層、屋頂應(yīng)按照實(shí)際吊掛的管道、吊頂建筑做

法等，計(jì)算吊掛荷載標(biāo)準(zhǔn)值，但不宜小于0.50kN／m2。

7.2.7用于吊掛管道的預(yù)埋件宜在鋼筋混凝土梁的梁側(cè)設(shè)置，應(yīng)

根據(jù)水管的重量和吊掛點(diǎn)的間距驗(yàn)算預(yù)埋件的承載力專用。

人人文庫(kù)

·11·

8動(dòng)力及氣體工程

8.1冷熱源

8.1.1發(fā)光二極管工廠人工冷熱源宜采用集中設(shè)置的冷（熱）水

機(jī)組和供熱、換熱設(shè)備。機(jī)型和設(shè)備選擇，應(yīng)根據(jù)工廠所在地區(qū)的

氣候、能源結(jié)構(gòu)、政策、價(jià)格及環(huán)保規(guī)定，按下列規(guī)定綜合比較

確定：

1熱源應(yīng)優(yōu)先采用城市、區(qū)域供熱和工廠余熱；

2具有城市工業(yè)燃?xì)夤?yīng)的地區(qū)，可采用燃?xì)忮仩t、燃?xì)鉄?/p>

水機(jī)組供熱或燃?xì)馕帐嚼洌幔┧畽C(jī)組供冷、供熱專用；

3工廠也可采用燃煤鍋爐、燃油鍋爐供熱，電動(dòng)壓縮式冷水

機(jī)組供冷或燃油吸收式冷（熱）水機(jī)組供冷、供熱；

4在夏熱冬冷地區(qū)的辦公樓、生活區(qū)可采用空氣源熱泵或地

源熱泵冷（熱）水機(jī)組供冷、供熱。

8.1.2同時(shí)需要供冷和供熱時(shí)，冷水機(jī)組宜根據(jù)負(fù)荷要求選用熱

回收機(jī)組，并采用自動(dòng)控制的方式調(diào)節(jié)機(jī)組的供熱量。

8.1.3冷熱源設(shè)備臺(tái)數(shù)和單臺(tái)容量應(yīng)根據(jù)全年冷熱負(fù)荷工況合

理選擇，并應(yīng)保證設(shè)備在高、低負(fù)荷工況下均能安全、高效運(yùn)行。

8.1.4過(guò)渡季節(jié)或冬季需用一定量的供冷負(fù)荷時(shí)，可利用冷卻塔

作為冷源設(shè)備人人文庫(kù)。

8.1.5在滿足工藝及空調(diào)用冷凍水溫度的前提下，應(yīng)加大冷凍水

供、回水溫差和提高冷水機(jī)組的出水溫度。

8.1.6當(dāng)冷負(fù)荷變化較大時(shí)，經(jīng)過(guò)經(jīng)濟(jì)技術(shù)比較，冷源系統(tǒng)的部

分或全部設(shè)備宜采用變頻調(diào)速控制。

8.1.7電動(dòng)壓縮式冷水機(jī)組的裝機(jī)容量應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《工

業(yè)建筑供暖通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50019的有關(guān)規(guī)定。

·21·

8.1.8電動(dòng)壓縮式制冷機(jī)組的制冷劑應(yīng)符合有關(guān)環(huán)保的要求，當(dāng)

采用過(guò)渡制冷劑時(shí)，其使用年限應(yīng)符合相關(guān)要求。

8.1.9燃油燃?xì)忮仩t應(yīng)選用帶比例調(diào)節(jié)燃燒器的全自動(dòng)鍋爐，且

每臺(tái)鍋爐宜獨(dú)立設(shè)置煙囪，煙囪的高度應(yīng)滿足項(xiàng)目環(huán)境評(píng)價(jià)文件

的要求，并應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《鍋爐大氣污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》

GB13271的有關(guān)規(guī)定。

8.1.10鍋爐排放的大氣污染物，應(yīng)符合大氣污染物排放標(biāo)準(zhǔn)的

要求，并應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《鍋爐大氣污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》

GB13271和《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》GB16297的有關(guān)規(guī)定。

8.2大宗氣體供應(yīng)

8.2.1大宗氣體管道系統(tǒng)設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列規(guī)定專用：

1大宗氣體的供氣方式應(yīng)根據(jù)氣體用量、氣體品質(zhì)和當(dāng)?shù)氐?/p>

供氣狀況等因素，經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較后確定；

2氫氣、氧氣管道的終端或最高點(diǎn)應(yīng)設(shè)置放散管，放散管應(yīng)

引至室外并高出建筑的屋脊1m，氫氣放散管道上應(yīng)設(shè)置阻火器；

3潔凈室內(nèi)的氫氣管道應(yīng)明敷，穿過(guò)潔凈室的墻壁或樓板處

的管段應(yīng)設(shè)置套管，套管內(nèi)的管道不應(yīng)有焊縫，套管與管道之間應(yīng)

采取密封措施；

4氫氣管道不得穿過(guò)不使用氫氣的房間；當(dāng)必須穿過(guò)時(shí)應(yīng)設(shè)

套管或使用雙層管。

8.2.2高純氣體管道設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列規(guī)定：

1管徑應(yīng)按氣體容許流量人人文庫(kù)、壓力或生產(chǎn)工藝設(shè)備確定，管外

徑不宜小于6mm；

2管道布置不應(yīng)出現(xiàn)不易吹除的“盲管”等死空間；

3管道系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置吹掃口和取樣口。

8.2.3設(shè)有氫氣等可燃?xì)怏w裝置的氣體純化間或氣體入口室的

火災(zāi)危險(xiǎn)性應(yīng)按甲類確定，并應(yīng)符合下列規(guī)定：

1應(yīng)靠外墻設(shè)置，并應(yīng)設(shè)置防爆泄壓設(shè)施；

·31·

2氫氣等可燃?xì)怏w引入管道上應(yīng)設(shè)置自動(dòng)切斷閥；

3應(yīng)具有機(jī)械通風(fēng)裝置，并應(yīng)設(shè)置事故排風(fēng)裝置；

4應(yīng)設(shè)置氣體泄漏報(bào)警裝置，并應(yīng)與事故排風(fēng)裝置聯(lián)鎖。

8.2.4大宗氣體管道和閥門應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝要求選擇，并應(yīng)符合

下列規(guī)定：

1氣體純度大于或等于99.9999%時(shí)，宜采用內(nèi)壁電拋光的

奧氏體超低碳不銹鋼管，閥門應(yīng)采用隔膜閥、波紋管閥；

2氣體純度大于或等于99.999%、露點(diǎn)低于-76℃時(shí)，宜采

用內(nèi)壁電拋光的奧氏體超低碳不銹鋼管或內(nèi)壁電拋光的低碳奧氏

體不銹鋼管，閥門宜采用隔膜閥或波紋管閥；

3氣體純度大于或等于99.99%、露點(diǎn)低于-60℃時(shí)，宜采

用內(nèi)壁拋光的奧氏體不銹鋼管，除可燃?xì)怏w管道宜采用波紋管閥

外，其余氣體管道可采用球閥；專用

4氣體管道閥門、附件的材質(zhì)宜與相連接的管道材質(zhì)一致。

8.2.5氣體管道連接應(yīng)符合下列規(guī)定：

1管道連接應(yīng)采用焊接，不銹鋼管宜采用自動(dòng)氬弧焊或等

離子熔透對(duì)接焊；

2管道與設(shè)備或閥門的連接，宜采用表面密封的接頭或雙卡

套，接頭或雙卡套的密封材料宜采用金屬墊或聚四氟乙烯墊；

3管道與設(shè)備的連接應(yīng)符合設(shè)備連接的要求，當(dāng)采用軟管連

接時(shí)，應(yīng)采用金屬軟管。

人人文庫(kù)8.3特種氣體供應(yīng)

8.3.1特種氣體應(yīng)采用外購(gòu)鋼瓶氣體、液態(tài)氣體，在工廠內(nèi)設(shè)置

儲(chǔ)存、分配系統(tǒng)。

8.3.2特種氣體儲(chǔ)存分配系統(tǒng)設(shè)備，應(yīng)根據(jù)特種氣體的性質(zhì)和儲(chǔ)

存數(shù)量布置在獨(dú)立的建構(gòu)筑物內(nèi)，或布置在生產(chǎn)廠房?jī)?nèi)。

8.3.3特種氣體系統(tǒng)的氣瓶柜、氣瓶架的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定：

1不相容氣體瓶嚴(yán)禁放置于同一氣瓶柜或氣瓶架中；

·41·

2不相容的特種氣體的氣瓶架應(yīng)布置在不同房間里；當(dāng)布置

在同一房間時(shí)，不相容特種氣體的氣瓶柜、氣瓶架之間的距離應(yīng)

大于6m；

3氣瓶柜閉門時(shí)的排風(fēng)換氣次數(shù)不得低于300次／h，且氣瓶

柜應(yīng)保持負(fù)壓；

4自燃、可燃、毒性、腐蝕性氣瓶柜應(yīng)在排風(fēng)出口設(shè)置氣體泄

漏探測(cè)器；

5氣瓶柜門應(yīng)具備自動(dòng)關(guān)閉功能，并應(yīng)配備防爆玻璃觀察

窗；氣瓶柜應(yīng)采取抗震措施，設(shè)計(jì)應(yīng)滿足當(dāng)?shù)乜拐鹪O(shè)防烈度的

要求。

8.3.4可燃、自燃特種氣體的氣瓶柜應(yīng)符合下列規(guī)定：

1硅烷氣瓶柜閉門時(shí)的排風(fēng)換氣次數(shù)不得低于1200次／h，

且應(yīng)連續(xù)監(jiān)控氣瓶柜的負(fù)壓；專用

2自燃特種氣體的氣瓶柜應(yīng)設(shè)置紫外、紅外火焰探測(cè)器及水

噴淋系統(tǒng)；

3可燃特種氣體的氣瓶柜應(yīng)設(shè)置水噴淋系統(tǒng)；

4自燃、可燃特種氣體的氣瓶柜應(yīng)在氣瓶之間設(shè)置隔離

鋼板。

8.3.5特種氣體系統(tǒng)吹掃氮?dú)獾脑O(shè)置，應(yīng)符合下列規(guī)定：

1特種氣體系統(tǒng)的吹掃氮?dú)鈶?yīng)與獨(dú)立的氮?dú)庠催B接，不得與

公用氮?dú)饣蚬に嚨獨(dú)庀到y(tǒng)相連；

2不相容性特種氣體系統(tǒng)的吹掃氮?dú)獠坏霉灿猛坏獨(dú)庠矗?/p>

3吹掃氮?dú)夤芫€應(yīng)設(shè)置止回閥人人文庫(kù)。

8.3.6特種氣體排氣與廢氣處理的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定：

1特種氣體系統(tǒng)的排氣管應(yīng)設(shè)置氮?dú)庀♂屌c連續(xù)吹掃；

2不相容性特種氣體的排氣不得接入同一排氣主管；

3自燃、可燃、毒性、腐蝕性特種氣體的排氣應(yīng)經(jīng)過(guò)尾氣處理

裝置進(jìn)行處理，排放應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《大氣污染物綜合排放標(biāo)

準(zhǔn)》GB16297的有關(guān)規(guī)定。

·51·

8.3.7生產(chǎn)廠房?jī)?nèi)的可燃和毒性特種氣體管道應(yīng)明敷，穿過(guò)生產(chǎn)

區(qū)墻壁與樓板處的管段應(yīng)設(shè)置套管，套管內(nèi)的管道不得有焊縫，套

管與管道之間應(yīng)采用密封措施。可燃、毒性、腐蝕性氣體管道的機(jī)

械連接處，應(yīng)置于排風(fēng)罩內(nèi)。

8.3.8特種氣體和吹掃氣體的管道和管件應(yīng)采用奧氏體超低碳

不銹鋼無(wú)縫鋼管，內(nèi)表面應(yīng)進(jìn)行潔凈和鈍化處理。

8.3.9自燃、可燃、氧化性特種氣體管道，應(yīng)設(shè)置靜電泄放的接地

設(shè)施。

8.3.10室外布置的特種氣體管道應(yīng)架空布置。

8.3.11當(dāng)特種氣體為硅烷、磷烷、砷烷時(shí)，應(yīng)采用雙層管道設(shè)計(jì)。

8.3.12特種氣體采用雙層管輸送時(shí)，雙層管的外層管道宜采用

SS304奧氏體不銹鋼管道，內(nèi)層管道應(yīng)與所輸送特種氣體的性質(zhì)

匹配。專用

8.4動(dòng)力氣體供應(yīng)

8.4.1干燥壓縮空氣系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝對(duì)供氣量和供氣品質(zhì)

等因素確定，并應(yīng)符合下列規(guī)定：

1干燥壓縮空氣系統(tǒng)的供氣規(guī)模應(yīng)按生產(chǎn)工藝所需實(shí)際用

氣量及系統(tǒng)損耗量確定；

2供氣設(shè)備可集中布置在生產(chǎn)廠房?jī)?nèi)的供氣站或生產(chǎn)廠房

外的綜合動(dòng)力站內(nèi)。

8.4.2風(fēng)冷式空氣壓縮機(jī)及風(fēng)冷式干燥裝置的設(shè)備布置應(yīng)防止

冷卻空氣發(fā)生短路現(xiàn)象人人文庫(kù)。

8.4.3當(dāng)干燥壓縮空氣輸送露點(diǎn)低于-76℃時(shí)，可采用內(nèi)壁電拋

光不銹鋼管；當(dāng)干燥壓縮空氣輸送露點(diǎn)低于-40℃時(shí)，應(yīng)采用不銹

鋼管或鍍鋅碳鋼管。

8.4.4壓縮空氣系統(tǒng)的管道設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列規(guī)定：

1壓縮空氣主管道的直徑應(yīng)按照全系統(tǒng)實(shí)際用氣量進(jìn)行設(shè)

計(jì)，支干管道的直徑應(yīng)按照局部系統(tǒng)實(shí)際用氣量進(jìn)行設(shè)計(jì)，支管道

·61·

的直徑應(yīng)按照設(shè)備最大用氣量進(jìn)行設(shè)計(jì)；

2干燥壓縮空氣輸送露點(diǎn)低于-40℃時(shí)，用于管道連接的密

封材料宜選用金屬墊片或聚四氟乙烯墊片；

3當(dāng)設(shè)計(jì)軟管連接時(shí)，宜選用金屬軟管。

8.4.5工藝真空系統(tǒng)的設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列規(guī)定：

1工藝真空設(shè)備的抽氣能力應(yīng)按生產(chǎn)工藝所需實(shí)際用氣量

及系統(tǒng)損耗量確定；

2工藝真空設(shè)備應(yīng)布置在生產(chǎn)廠房?jī)?nèi)的一個(gè)或多個(gè)供氣

站內(nèi)；

3工藝真空設(shè)備應(yīng)選用能耗少、噪聲低的設(shè)備；

4工藝真空設(shè)備應(yīng)根據(jù)工藝系統(tǒng)的實(shí)際情況選用水環(huán)式或

干式真空泵；

5工藝真空系統(tǒng)應(yīng)設(shè)計(jì)真空壓力過(guò)低保護(hù)裝置專用。

8.4.6工藝真空系統(tǒng)的管道設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列規(guī)定：

1工藝真空管路設(shè)計(jì)應(yīng)布置成支狀系統(tǒng)；

2工藝真空主管道的直徑應(yīng)按照全系統(tǒng)實(shí)際抽氣量進(jìn)行設(shè)

計(jì)，支干管道的直徑應(yīng)按照局部系統(tǒng)實(shí)際抽氣量進(jìn)行設(shè)計(jì)，支管道

的直徑應(yīng)按照設(shè)備最大抽氣量進(jìn)行設(shè)計(jì)；

3工藝真空系統(tǒng)的管道材料宜根據(jù)工藝真空系統(tǒng)的真空壓

力及真空特性選用不銹鋼管或厚壁聚氯乙烯管道；

4當(dāng)設(shè)計(jì)軟管連接時(shí)，宜選用金屬軟管。

8.4.7清掃真空系統(tǒng)宜選用移動(dòng)式清掃真空設(shè)備人人文庫(kù)。

·71·

9供暖、通風(fēng)、空氣調(diào)節(jié)與凈化

9.1一般規(guī)定

9.1.1潔凈室的空氣潔凈度等級(jí)以及潔凈室形式應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工

藝對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的要求確定。

9.1.2潔凈室的氣流組織應(yīng)根據(jù)潔凈度等級(jí)、生產(chǎn)工藝要求以及

技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較確定。

9.1.3當(dāng)出現(xiàn)下列情況之一時(shí)，空氣凈化調(diào)節(jié)系統(tǒng)宜分開(kāi)設(shè)置：

1生產(chǎn)工藝中散發(fā)的物質(zhì)對(duì)其他工序的產(chǎn)品質(zhì)量及人員安

全衛(wèi)生有影響；專用

2溫濕度基數(shù)和允許波動(dòng)范圍差別大的潔凈室；

3凈化空調(diào)系統(tǒng)和一般空調(diào)系統(tǒng)；

4潔凈室內(nèi)工藝設(shè)備發(fā)熱、散濕量相差懸殊的潔凈室；

5系統(tǒng)風(fēng)量過(guò)大的凈化空調(diào)系統(tǒng)。

9.1.4潔凈室內(nèi)的新風(fēng)量應(yīng)取下列兩項(xiàng)中的最大值：

1補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需新風(fēng)量之和；

2保證供給潔凈室內(nèi)每人每小時(shí)的新風(fēng)量不小于40m3。

9.1.5潔凈室與周圍的空間應(yīng)保持靜壓差，靜壓差應(yīng)符合下列

規(guī)定：

1不同等級(jí)的潔凈室之間的靜壓差不宜小于人人文庫(kù)5Pa；

2潔凈室與非潔凈室之間的靜壓差不應(yīng)小于5Pa；

3潔凈室與室外的靜壓差應(yīng)大于10Pa。

9.2供暖、通風(fēng)與廢氣處理

9.2.1供暖設(shè)計(jì)應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《工業(yè)建筑供暖通風(fēng)與空氣

調(diào)節(jié)設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50019的有關(guān)規(guī)定。

·81·

9.2.2潔凈室內(nèi)不應(yīng)采用散熱器供暖。

9.2.3寒冷和嚴(yán)寒地區(qū)各動(dòng)力站房應(yīng)根據(jù)工藝要求設(shè)置值班

供暖。

9.2.4潔凈室內(nèi)產(chǎn)生粉塵和有害氣體的工藝設(shè)備和輔助設(shè)備，均

應(yīng)設(shè)局部排風(fēng)裝置，排風(fēng)罩宜為密閉式。

9.2.5排風(fēng)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列規(guī)定：

1金屬有機(jī)化合物化學(xué)氣相沉積設(shè)備的尾氣應(yīng)設(shè)就地處理

裝置；

2酸、堿排風(fēng)應(yīng)獨(dú)立設(shè)置系統(tǒng)，風(fēng)機(jī)的電機(jī)應(yīng)按一級(jí)負(fù)荷

供電；

3工藝設(shè)備的排風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置備用風(fēng)機(jī)；

4有冷凝液產(chǎn)生的酸、堿排風(fēng)系統(tǒng)風(fēng)管宜設(shè)置坡度和排液

口，且風(fēng)管系統(tǒng)應(yīng)采取防液體滲漏措施；專用

5金屬有機(jī)化合物化學(xué)氣相沉積設(shè)備的排風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)采取防

火、防爆措施；

6酸、堿、硅烷排風(fēng)系統(tǒng)的風(fēng)管不應(yīng)穿越防火墻或通風(fēng)、空氣

調(diào)節(jié)機(jī)房的隔墻和樓板，當(dāng)必須穿越時(shí)，不得設(shè)置熔片式防火閥；

7酸、堿排風(fēng)系統(tǒng)的風(fēng)機(jī)應(yīng)設(shè)在廢氣處理設(shè)備的下風(fēng)側(cè)；

8工藝設(shè)備的排風(fēng)溫度高于60℃時(shí)，排風(fēng)管應(yīng)設(shè)保溫措施；

9工藝設(shè)備局部排風(fēng)系統(tǒng)的室外風(fēng)管應(yīng)根據(jù)當(dāng)?shù)貧庀髼l件

設(shè)置防結(jié)露保溫措施；

10潔凈室的排風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置防止室外氣流倒灌的措施。

9.2.6廢氣處理系統(tǒng)的設(shè)計(jì)人人文庫(kù)，應(yīng)符合下列規(guī)定：

1酸、堿廢氣不得采用固定床吸附劑方式處理；

2酸、堿廢氣宜采用淋洗方式處理，處理設(shè)備的填料層數(shù)、厚

度和噴淋藥液循環(huán)量應(yīng)計(jì)算確定；處理設(shè)備的加藥、補(bǔ)水和排污應(yīng)

采用自動(dòng)方式；處理設(shè)備宜就近設(shè)置日用藥箱；

3兩臺(tái)及兩臺(tái)以上廢氣處理設(shè)備并聯(lián)運(yùn)行時(shí)，應(yīng)在每臺(tái)設(shè)備

的入口設(shè)置電動(dòng)或氣動(dòng)密閉風(fēng)閥；

·91·

4寒冷地區(qū)或嚴(yán)寒地區(qū)使用的淋洗式廢氣處理裝置應(yīng)采取

防凍措施。

9.2.7酸、堿廢氣經(jīng)處理后應(yīng)經(jīng)排氣筒排入大氣，排氣筒高度應(yīng)符

合環(huán)境評(píng)估報(bào)告的要求，排氣筒出口處風(fēng)速宜大于或等于18m／s，

并應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》GB16297的

有關(guān)規(guī)定。

9.2.8金屬有機(jī)化合物化學(xué)氣相沉積間應(yīng)設(shè)置不低于12次／h

的事故排風(fēng)。

9.2.9使用氫氣房間的吊頂上部應(yīng)設(shè)置通風(fēng)換氣措施，排風(fēng)量宜

為1次／h～2次／h，吸風(fēng)口上緣至頂棚平面或屋頂?shù)木嚯x不應(yīng)大

于0.1m。

9.2.10換鞋間應(yīng)設(shè)置不低于10次／h的全室排風(fēng)系統(tǒng)，排風(fēng)口

宜設(shè)置在下部；換鞋柜宜設(shè)置局部排風(fēng)措施；一次更衣間宜設(shè)置不專用

低于5次／h的全室排風(fēng)系統(tǒng)。

9.3空氣調(diào)節(jié)與凈化

9.3.1凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的新風(fēng)應(yīng)進(jìn)行集中處理，新風(fēng)處理機(jī)組

的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定：

1送風(fēng)機(jī)應(yīng)采取自動(dòng)調(diào)速措施；

2空氣宜經(jīng)過(guò)粗效、中效、高效過(guò)濾器三級(jí)處理；

3新風(fēng)處理機(jī)組應(yīng)有良好的氣密性，在工作壓力下的漏風(fēng)率

不得大于1%。

9.3.2光刻間凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的循環(huán)風(fēng)宜采用風(fēng)機(jī)過(guò)濾器機(jī)人人文庫(kù)

組和干冷卻盤管處理，其他潔凈室凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的循環(huán)風(fēng)宜

采用循環(huán)空氣處理機(jī)組處理。

9.3.3金屬有機(jī)化合物化學(xué)氣相沉積間的凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)應(yīng)

獨(dú)立設(shè)置。

9.3.4循環(huán)空氣處理機(jī)組宜采用干冷卻方式處理空氣。

9.3.5循環(huán)空氣處理機(jī)組的風(fēng)機(jī)應(yīng)采取自動(dòng)調(diào)速措施。

·02·

9.3.6空調(diào)加熱、加濕系統(tǒng)的設(shè)計(jì)應(yīng)利于工廠余熱的利用。

9.3.7潔凈室的送風(fēng)量，應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)

范》GB50073的有關(guān)規(guī)定。

9.3.8凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的新風(fēng)吸入口位置，應(yīng)遠(yuǎn)離排放有害物

或可燃物的排氣口。

9.3.9潔凈室的噪聲控制設(shè)計(jì)的噪聲級(jí)（空態(tài)）應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家

標(biāo)準(zhǔn)《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50472的有關(guān)規(guī)定，但當(dāng)潔

凈室采用風(fēng)機(jī)過(guò)濾器機(jī)組和干冷卻盤管處理循環(huán)空氣時(shí)，單向流

和混合流潔凈室的噪聲級(jí)（空態(tài)）不應(yīng)大于70dB（A），非單向流潔

凈室的噪聲級(jí)（空態(tài)）不應(yīng)大于65dB（A）。

9.4防排煙

9.4.1生產(chǎn)廠房中防煙樓梯間、前室或合用前室宜設(shè)置自然排煙專用

設(shè)施，當(dāng)不能滿足自然排煙要求時(shí)，應(yīng)設(shè)置機(jī)械排煙系統(tǒng)。機(jī)械排

煙系統(tǒng)的設(shè)置應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB50016

的有關(guān)規(guī)定。

9.4.2生產(chǎn)廠房中不具備自然排煙的疏散走廊，應(yīng)設(shè)置機(jī)械排煙

系統(tǒng)。

9.4.3金屬有機(jī)化合物化學(xué)氣相沉積設(shè)備車間內(nèi)應(yīng)設(shè)置機(jī)械排

煙系統(tǒng)，其他車間排煙系統(tǒng)的設(shè)置應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)

防火規(guī)范》GB50016和《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50472

的有關(guān)規(guī)定。

9.4.4潔凈室人人文庫(kù)（區(qū)）的排煙系統(tǒng)應(yīng)有防止室外氣流倒灌的措施，并

應(yīng)設(shè)置旁通管路用于平時(shí)巡檢。

9.4.5潔凈室（區(qū)）內(nèi)的排煙風(fēng)管當(dāng)使用產(chǎn)塵的保溫材料進(jìn)行隔

熱時(shí)，應(yīng)為具有雙層金屬板夾保溫材料構(gòu)造的成品保溫風(fēng)管，保溫

材料應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB50016的有關(guān)

規(guī)定，內(nèi)層金屬板的厚度應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《通風(fēng)與空調(diào)工程施

工質(zhì)量驗(yàn)收規(guī)范》GB50243的有關(guān)規(guī)定。

·12·

10給水排水

10.1一般規(guī)定

10.1.1發(fā)光二極管工廠的給水排水設(shè)計(jì)應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

《建筑給水排水設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50015的有關(guān)規(guī)定，并應(yīng)符合下列

規(guī)定：

1設(shè)有技術(shù)夾層的發(fā)光二極管工廠，其廠房?jī)?nèi)的給水排水干

管應(yīng)敷設(shè)在技術(shù)夾層內(nèi)；

2潔凈室內(nèi)不宜穿過(guò)與該潔凈室無(wú)關(guān)的給排水管道，當(dāng)必須

穿過(guò)時(shí)，應(yīng)采取可靠的防滲漏、防結(jié)露措施。專用

10.1.2廢水管道不宜直接敷設(shè)在首層結(jié)構(gòu)板下，當(dāng)必須直接敷

設(shè)時(shí)，應(yīng)采取可靠的防滲漏措施。

10.2一般給水排水

10.2.1應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝對(duì)水質(zhì)、水溫、水壓、水量的要求確定給

水系統(tǒng)。

10.2.2下列場(chǎng)所應(yīng)設(shè)置緊急淋浴器或洗眼器：

1危險(xiǎn)化學(xué)品儲(chǔ)存、配置區(qū)域；

2可能產(chǎn)生化學(xué)品泄漏的區(qū)域；

3毒性人人文庫(kù)、腐蝕性氣體的特種氣體間。

10.2.3緊急淋浴器或洗眼器的服務(wù)半徑不宜大于15m，且服務(wù)

半徑內(nèi)不應(yīng)有障礙物。

10.2.4給水、排水管道的管材應(yīng)符合下列規(guī)定：

1給水管道的材質(zhì)及接口應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝對(duì)水質(zhì)、水壓、水

溫等的要求；

2排水管道的材質(zhì)及接口應(yīng)滿足生產(chǎn)廢水水質(zhì)的要求。

·22·

10.2.5排水收集系統(tǒng)的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定：

1生產(chǎn)廢水、生活污水系統(tǒng)應(yīng)分別設(shè)置；

2不同污染物的生產(chǎn)廢水宜分別設(shè)置；

3廢水與廢液應(yīng)分別設(shè)置；

4含有砷及其他重金屬污染物的廢水應(yīng)單獨(dú)設(shè)置收集系統(tǒng)。

10.2.6生產(chǎn)廢水收集系統(tǒng)宜設(shè)置通氣管，通氣管應(yīng)高出屋面2m。

10.2.7雨水系統(tǒng)應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)

規(guī)范》GB50472的有關(guān)規(guī)定。

10.2.8潔凈室（區(qū)）內(nèi)地漏等排水設(shè)施的設(shè)置，應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家

標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50073的有關(guān)規(guī)定。

10.2.9廠區(qū)化學(xué)品存儲(chǔ)、分配、收集、卸貨區(qū)域應(yīng)設(shè)置事故排水

的儲(chǔ)存設(shè)施。專用

10.2.10當(dāng)設(shè)有廢水收集槽且采用提升泵輸送廢水時(shí)，廢水提升

泵宜設(shè)置應(yīng)急備用電源。

10.3純水

10.3.1純水系統(tǒng)的設(shè)計(jì)應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《電子工業(yè)潔凈廠

房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50472的有關(guān)規(guī)定，并應(yīng)符合下列規(guī)定：

1純水系統(tǒng)的水質(zhì)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝的要求確定；

2純水系統(tǒng)供水管網(wǎng)的循環(huán)回流水量不宜小于設(shè)計(jì)供水量

的20%；

3純水制備系統(tǒng)及供水管網(wǎng)的回收率應(yīng)根據(jù)項(xiàng)目實(shí)際情況

確定；人人文庫(kù)

4純水供給管路系統(tǒng)的布置應(yīng)確保用水點(diǎn)的水質(zhì)。

10.3.2純水制備區(qū)域的排水管道應(yīng)確保制水設(shè)備瞬時(shí)排水能得

到及時(shí)排除。

10.4工藝?yán)鋮s循環(huán)水

10.4.1工藝設(shè)備冷卻循環(huán)水的水質(zhì)、水溫、水壓應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)設(shè)備

·32·

要求確定。

10.4.2工藝?yán)鋮s循環(huán)水系統(tǒng)宜采用開(kāi)式系統(tǒng)。

10.4.3工藝?yán)鋮s循環(huán)水系統(tǒng)的管材及配件應(yīng)根據(jù)水質(zhì)要求確

定，不宜采用焊接鋼管。

10.4.4當(dāng)工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)的水溫要求與管道布置的環(huán)境溫度不

同時(shí)，管道系統(tǒng)應(yīng)采取保溫措施。

10.4.5工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置應(yīng)急備用電源。

10.4.6工藝?yán)鋮s水的補(bǔ)水水質(zhì)應(yīng)滿足工藝設(shè)備的要求。

10.5廢水處理

10.5.1發(fā)光二極管工廠的廢水處理應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《電子

工程環(huán)境保護(hù)設(shè)計(jì)規(guī)