前清洗工藝設(shè)備

太陽電池發(fā)電原理、結(jié)構(gòu)與分類Rena

inTex結(jié)構(gòu)與功能典型前清洗設(shè)備介紹典型前清洗設(shè)備介紹RENAINTEX鏈?zhǔn)角扒逑丛O(shè)備RENAINTEX結(jié)構(gòu)與功能制絨（RENAInTex）工藝步驟：制絨→堿洗→酸洗→吹干Etchbath&Dryer1Rinse1AlkalineRinseRinse2AcidicRinseRinse3Dryer2RENAInTex前清洗設(shè)備的主體分為以下七個(gè)槽，此外還有滾輪、排風(fēng)系統(tǒng)、自動(dòng)及手動(dòng)補(bǔ)液系統(tǒng)、循環(huán)系統(tǒng)和溫度控制系統(tǒng)等。Etchbath：刻蝕槽，用于制絨。所用溶液為HF+HNO3，主要工藝參數(shù)：Firstfill

volume:480L;Bath

processtemperature:7±2℃concentrationsof

chemical:HF(154g/L)&HNO3(358g/L);Quality:100.0Kg;Setpointrecirculation

flow:140.0L/min;

制絨過程中根據(jù)腐蝕深度，可對(duì)溫度作適當(dāng)修正。越高的溫度對(duì)應(yīng)越快的反應(yīng)速度，故如果腐蝕不夠則可適當(dāng)提高反應(yīng)溫度，反之亦然。一般每0.1℃對(duì)應(yīng)約0.1μm的腐蝕厚度。當(dāng)藥液壽命（Quality）到后，需更換整槽藥液?？涛g槽的作用：1.去除硅片表面的機(jī)械損傷層；2.形成無規(guī)則絨面。AlkalineRinse：堿洗槽。所用溶液為KOH，主要工藝參數(shù)：Firstfillconcentrationof

chemical:5%;

Bathlifetime:250hours;Bath

processtemperature:20±4℃當(dāng)藥液壽命（Bathlifetime）到后，需更換整槽藥液。堿洗槽的作用：1.洗去硅片表面多孔硅；2.中和前道刻蝕后殘留在硅片表面的酸液。AcidicRinse：酸洗槽。所用溶液為HCl+HF，主要工藝參數(shù)：Firstfillconcentrationof

chemical:HCl(10%)&HF(5%);

Bath

lifetime:250hours;Bath

processtemperature:20±2℃當(dāng)藥液壽命（Bathlifetime）到后，需更換整槽藥液。酸洗槽的作用：1.中和前道堿洗后殘留在硅片表面的堿液；2.HF可去除硅片表面氧化層（SiO2），形成疏水表面，便于吹干；3.HCl中的Cl-有攜帶金屬離子的能力，可以用于去除硅片表面金屬離子。

Rinse1~3：水洗（噴淋）槽，水洗槽與槽之間相互聯(lián)通。水洗槽中液面高度Rinse3＞Rinse2＞Rinse1。進(jìn)水口在Rinse3處。Dryer1和Dryer2為風(fēng)刀，通過調(diào)節(jié)風(fēng)刀的角度和吹風(fēng)的壓力，使硅片被迅速吹干。滾輪分三段設(shè)定速度，其中converyor1≤converyor2≤converyor3，否則前快后慢，易在設(shè)備中因?yàn)榀B片而造成碎片。滾輪速度（即制絨時(shí)間）根據(jù)需要的腐蝕深度來進(jìn)行設(shè)置，生產(chǎn)過程中可根據(jù)測(cè)試結(jié)果來進(jìn)行滾輪速度修正。一般滾輪速度慢，則反應(yīng)時(shí)間增加，腐蝕深度加深，反之亦然。(注:前清洗速度最好不要超過1.2m/min，速度過快，一方面硅片清洗或吹不干