掃描探針聲學(xué)顯微鏡圖片集

基于AFM的探針

聲成像技術(shù)及其應(yīng)用中國科學(xué)院上海硅酸鹽研究所上海卓倫微納米設(shè)備有限公司

SPAM的實(shí)際應(yīng)用（與AFM的比較）1.光電晶體(a)(b)PMN-PT光電晶體的原子力顯微鏡(AFM)形貌像(A)及對應(yīng)的掃描探針聲學(xué)像(B)

聲學(xué)像顯示鐵電疇結(jié)構(gòu)信息AB光電子晶體ABLiNbO3人工晶體電疇結(jié)構(gòu)的壓電響應(yīng)像(PFM)(A)和對應(yīng)的SPAM像(B)

PFM：國際公認(rèn)的用于觀察電疇結(jié)構(gòu)的一種方法

SPAM：得到了與PFM相同的結(jié)果2.功能薄膜和復(fù)合材料ABBiFeO3薄膜的AFM形貌像(A)和對應(yīng)的SPAM聲學(xué)像(B)

(膜厚:235nm,襯底:Si-SiO2-TiO2-Pt(111))

SPAM聲學(xué)像清楚地顯示了膜材的晶粒分布和晶界功能薄膜和復(fù)合材料AB(Ba,Sr)TiO3/STO薄膜的的AFM形貌像(A)和對應(yīng)的SPAM聲學(xué)像(B)SPAM聲學(xué)像清楚地顯示了膜材的晶粒分布和晶界

功能薄膜和復(fù)合材料ABLaSrMnO/LAO薄膜的的AFM形貌像(A)和對應(yīng)的SPAM聲學(xué)像(B)

SPAM聲學(xué)像清楚地顯示了不同尺寸不同高度的晶粒分布功能薄膜和復(fù)合材料AB非晶碳膜的AFM形貌像(A)和對應(yīng)的SPAM聲學(xué)像(B)

(薄膜厚度100nm,襯底是硅)SPAM像顯示了“薄膜－襯底”界面處的缺陷

界面缺陷功能薄膜和復(fù)合材料ABPZT-PVDF復(fù)合材料的AFM形貌像(A)和對應(yīng)的SPAM聲學(xué)像(B)

(膜厚:5

m,襯底:Si(100),基質(zhì):PVDF)SPAM聲學(xué)像顯示了PZT陶瓷顆粒在基質(zhì)PVDF中的分布功能薄膜和復(fù)合材料ABPZT陶瓷厚膜的AFM形貌像(A)和對應(yīng)的SPAM聲學(xué)像(B)

(膜厚:4.5

m,襯底:Si-SiO2-TiO2-Pt(200))SPAM聲學(xué)像顯示了膜材的晶粒和晶界AB半導(dǎo)體ZnO陶瓷的AFM形貌像(A)和對應(yīng)的SPAM聲學(xué)像(B)SPAM聲學(xué)像顯示了更加清楚的表面結(jié)構(gòu)信息（不同尺寸的晶粒、晶界、劃痕、粗糙度）3.半導(dǎo)體陶瓷、電光陶瓷和無鉛功能陶瓷半導(dǎo)體陶瓷、電光陶瓷和無鉛功能陶瓷AB半導(dǎo)體ZnO陶瓷的AFM形貌像(A)和對應(yīng)的SPAM聲學(xué)像(B)SPAM聲學(xué)像清楚地顯示了富有立體感的晶粒結(jié)構(gòu)AB

Bi4Ti2.985W0.015O12電子陶瓷的AFM形貌像(A)和SPAM聲學(xué)像(B)

SPAM聲學(xué)像清楚地顯示了晶粒、晶界、雜質(zhì)集聚

掃描探針聲學(xué)顯微術(shù)ab半導(dǎo)體陶瓷、電光陶瓷和無鉛功能陶瓷雜質(zhì)晶粒晶界

掃描探針聲學(xué)顯微術(shù)半導(dǎo)體陶瓷、電光陶瓷和無鉛功能陶瓷ABBi4Ti3-xNbxO12電子陶瓷的AFM形貌像(A)和SPAM聲學(xué)像(B)SPAM聲學(xué)像清楚地顯示了晶界、生長條紋生長條紋晶界

掃描探針聲學(xué)顯微術(shù)半導(dǎo)體陶瓷、電光陶瓷和無鉛功能陶瓷ABBi0.5(NaxK1-x)0.5）TiO3電子陶瓷的AFM形貌像(A)和SPAM聲學(xué)像(B)

SPAM聲學(xué)像顯示了電疇結(jié)構(gòu)信息

4.合金樣品Pb-Sn合金的AFM形貌像(A)和SPAM聲學(xué)像(B)SPAM像顯示了清晰的微結(jié)構(gòu)

ABAB生物樣品AB玉米淀粉AFM圖像(A)與SPAM聲學(xué)像(B)SPAM像顯示了直鏈淀粉和支鏈淀粉的殼芯結(jié)構(gòu)直鏈淀粉支鏈