GBT 25915.4-2010潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 第4部分：設(shè)計(jì)、建造、啟動(dòng)

潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境Part4:Design,constructionanGB/T25915.4—2010/ISO14644-4:2001前言 I 2引用標(biāo)準(zhǔn) 3術(shù)語(yǔ)和定義 4要求 25規(guī)劃和設(shè)計(jì) 36建造和啟動(dòng) 47檢測(cè)和驗(yàn)收 48文件 4附錄A(資料性附錄)控制和隔離的概念 7附錄B(資料性附錄)分級(jí)舉例 附錄C(資料性附錄)設(shè)施的驗(yàn)收 附錄D(資料性附錄)設(shè)施的布局 附錄E(資料性附錄)建造和材料 21附錄F(資料性附錄)潔凈室的環(huán)境控制 附錄G(資料性附錄)空氣潔凈度的控制 附錄H(資料性附錄)待需方/用戶與供方/設(shè)計(jì)方商定的補(bǔ)充技術(shù)要求 29參考文獻(xiàn) I本部分是GB/T25915的第4部分。Ⅱ1潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境GB/T25915的本部分規(guī)定了潔凈室設(shè)施的設(shè)計(jì)和建造要求，但并未規(guī)定滿足那些要求所需的具使用。本部分給出包括啟動(dòng)和確認(rèn)要求的建造指南。在考慮運(yùn)行和維護(hù)的相GB/T25915.1—2010潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第1部分：空氣潔凈度等級(jí)(ISO1GB/T25915.2-2010潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第2部分：證明持續(xù)符合GB/T25915.1的檢測(cè)GB/T25915.3—2010潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第3部分：檢測(cè)方法GB/T25916.1—2010潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境生物污染控制第1部分：一般原理和方法GB/T25916.2—2010潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境生物污染控制第2部分：生物污更衣室changingroom2為使設(shè)施達(dá)到規(guī)定的正常運(yùn)行技術(shù)條件而按計(jì)劃實(shí)施并有文字記錄的系列檢驗(yàn)、調(diào)節(jié)、檢測(cè)。對(duì)產(chǎn)品和工藝有不良影響的粒子、非粒子、分子或生物體。送人潔凈區(qū)的空氣以誘導(dǎo)方式與區(qū)內(nèi)空氣混合的一種氣流分布。有明確物理邊界的微小物質(zhì)。為減輕某過(guò)濾器的負(fù)荷而另裝在其上風(fēng)向的空氣過(guò)濾器。工藝核心區(qū)processcore與環(huán)境產(chǎn)生相互影響的工藝位置。使設(shè)施及其所有系統(tǒng)準(zhǔn)備就緒并開(kāi)始實(shí)際運(yùn)行的行為。4要求4.1需方與供方應(yīng)協(xié)商確定4.2～4.18中列出的參數(shù)。4.2應(yīng)給出本部分的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)編號(hào)。4.4潔凈室的一般用途，在潔凈室內(nèi)進(jìn)行的作業(yè)以及運(yùn)行要求帶來(lái)的限制(實(shí)例見(jiàn)附錄A、附錄B、附4.5按照相關(guān)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)(GB/T25915.1—2010、GB/T25916.1-2010、GB/T空氣懸浮粒子濃度等級(jí)或潔凈度要求(實(shí)例見(jiàn)附錄B)。4.6臨界環(huán)境參數(shù)，包括所確定的、為保證達(dá)級(jí)而待測(cè)的設(shè)定值、預(yù)警值、干預(yù)值，以及所用測(cè)量方法，3包括儀器的校準(zhǔn)(GB/T25915.2—控制方法(實(shí)例見(jiàn)附錄C)。4.11設(shè)施的平面布局和配置(實(shí)例見(jiàn)附錄D)。4.13對(duì)設(shè)施有影響的工藝要求和產(chǎn)品要求4.15設(shè)施的維護(hù)要求(實(shí)例見(jiàn)附錄D和附錄E)。試和鑒定(實(shí)例見(jiàn)附錄E和附錄G)檢測(cè)(包括性能和證據(jù))。4.18特殊應(yīng)用要求所需的補(bǔ)充資料(實(shí)例見(jiàn)附錄H)。5.1.5根據(jù)財(cái)務(wù)和時(shí)間表，審核并修改第4j)質(zhì)量計(jì)劃?？刹捎肎B/T19000系列標(biāo)準(zhǔn)的質(zhì)量體系(例如GB/T19000和GB/T19001),同時(shí)兼顧具體行業(yè)5.2.1設(shè)計(jì)應(yīng)體現(xiàn)所選定的污染控制概念及產(chǎn)品和工藝的所有要求(實(shí)例見(jiàn)附錄A)。5.2.2需方和供方應(yīng)按預(yù)先確定的驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)對(duì)設(shè)計(jì)進(jìn)行正式驗(yàn)收。46.5質(zhì)量計(jì)劃中應(yīng)確定并書面說(shuō)明清潔方法以及確5b)一套按本部分第7章進(jìn)行檢測(cè)得出的最終性能檢測(cè)數(shù)據(jù)，其中記錄有設(shè)施技術(shù)要求所規(guī)定的a)設(shè)施啟動(dòng)前應(yīng)完成的檢查確認(rèn)項(xiàng)目表；b)規(guī)定的關(guān)鍵性能參數(shù)驗(yàn)收范圍表；c)設(shè)施在正常狀況和事故狀況下b)有關(guān)檢測(cè)和測(cè)量方法的說(shuō)明(或參照的標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)范);a)進(jìn)行維護(hù)或檢修前先確定安全規(guī)程；b)關(guān)鍵性能參數(shù)超過(guò)允許范圍時(shí)所采取維護(hù)工作的技術(shù)要求；設(shè)施在建造、調(diào)試和啟動(dòng)期間進(jìn)行的任何維護(hù)的文件記錄，都應(yīng)予以保存。記錄中應(yīng)包含下述6c)維護(hù)的日期；d)維護(hù)實(shí)施前的情況報(bào)告；e)所用備件清單；f)維護(hù)完成后的報(bào)告。8.7運(yùn)行與維護(hù)培訓(xùn)記錄應(yīng)保存培訓(xùn)的文件記錄。記錄中應(yīng)包含下述內(nèi)容：a)培訓(xùn)內(nèi)容；b)培訓(xùn)和受訓(xùn)人員名單；c)培訓(xùn)日期與期限；d)各期培訓(xùn)完成后的報(bào)告。7(資料性附錄)控制和隔離的概念A(yù).1污染控制區(qū)出于經(jīng)濟(jì)、技術(shù)和運(yùn)行等方面的原因，潔凈區(qū)通常是密閉的，或由潔凈度較低的外部區(qū)域包圍。這種做法可盡量減小最高潔凈度區(qū)域的尺寸。相鄰區(qū)域間的人流、物流會(huì)增加傳播污染的風(fēng)險(xiǎn)，因此需特別注意人流和物流的布局細(xì)節(jié)與管理。圖A.1是污染控制概念圖例。其中的潔凈區(qū)可看作是潔凈室中更嚴(yán)格的受控部分。輔助區(qū)潔凈室物人流人流圖A.1污染控制概念8A.2氣流形式A.2.1潔凈室的氣流形式可分為單向流和非單向流兩類。兩種形式混合使用時(shí)，常稱為混合流。ISO5級(jí)和優(yōu)于ISO5級(jí)的潔凈室一般采用單向流，而ISO6級(jí)和劣于ISO6級(jí)的潔凈室一般采用非單向流和混合流。A.2.2單向流可以是垂直流或水平流(見(jiàn)圖A.2)。兩種單向流均依賴于末端過(guò)濾器的送風(fēng)與回風(fēng)口接近一對(duì)一的相對(duì)設(shè)置，以盡可能保持氣流呈直線。這兩種設(shè)計(jì)都有一個(gè)重要的設(shè)計(jì)特性，即能夠保證工藝核心區(qū)氣流受到的干擾盡量小。與潔凈氣流相垂直的工作面上的各個(gè)位置都具有相同的潔凈度。因此，水平布置的工藝要求垂直流，而垂直布置的工藝要求水平流。緊靠潔凈空氣送風(fēng)的工作位置具有最佳的污染控制條件，因?yàn)樵谄湎嘛L(fēng)向的工作位置，會(huì)有上風(fēng)向產(chǎn)生的粒子。因此，人員應(yīng)位于潔凈工藝的下風(fēng)向。A.2.3在非單向流的潔凈室內(nèi)，空氣經(jīng)分布于送風(fēng)面上的多個(gè)過(guò)濾器風(fēng)口送入，并在較遠(yuǎn)的位置回風(fēng)。過(guò)濾器風(fēng)口可在整個(gè)潔凈室或潔凈區(qū)等距離分布，也可成組設(shè)于工藝核心巨上方。過(guò)濾器出風(fēng)口的位置對(duì)于潔凈室的性能非常重要。末端過(guò)濾器可設(shè)在較遠(yuǎn)的位置，但應(yīng)采取特殊防范措施，防止污染從這些過(guò)濾器與潔凈室之間侵入(例如：監(jiān)測(cè)風(fēng)道和送風(fēng)口的表面潔凈度和氣密性以防止污染進(jìn)入潔凈室及實(shí)施去污的規(guī)程)。盡管非單向流系統(tǒng)中的回風(fēng)位置不像單向流那么重要，但為了盡量減少潔凈室中的死區(qū)，也應(yīng)注意回風(fēng)口的布局。A.2.4混合流潔凈室即在同一房間內(nèi)組合有單向流和非單向流。圖A.2給出潔凈室內(nèi)各種氣流形式的圖例(圖中未考慮熱效應(yīng))。圖A.2潔凈室內(nèi)的氣流形式9圖A.2(續(xù))A.3單向流的干擾在單向流潔凈室中，為了防止污染敏感作業(yè)區(qū)域出現(xiàn)嚴(yán)重紊流，應(yīng)在工藝設(shè)備、操作規(guī)程、人員移動(dòng)和產(chǎn)品處置等有關(guān)物理障礙的設(shè)計(jì)中，考慮空氣動(dòng)力學(xué)的基本要求。應(yīng)采取適當(dāng)措施防止氣流干擾和不同工位間的交叉污染。圖A.3表示出物理障礙的影響(左側(cè))和盡量減少這些影響的適當(dāng)措施(右側(cè))。圖A.3人員和物體對(duì)單向流的影響圖A.3(續(xù))A.4污染控制概念為給定的污染控制問(wèn)題選擇正確的方法，圖A.4和A.5給出幾種不同的污染控制概念供考慮。為防止污染物被傳送到工藝保護(hù)區(qū)和(或)人員保護(hù)區(qū)，可采用空氣動(dòng)力學(xué)的方法，即氣流組織和氣流方向(圖A.4)。若要防止產(chǎn)品接觸到操作員和環(huán)境，可采用物理屏障，即有源隔離與無(wú)源隔離水平流圖A.4采用空氣動(dòng)力學(xué)措施控制污染圖A.5為保護(hù)產(chǎn)品和人員采用物理隔離污染控制概念A(yù).5潔凈室和潔凈區(qū)實(shí)現(xiàn)隔離的概念A(yù).5.1概述潔凈室套房可由污染控制要求不同的多個(gè)房間組成。設(shè)計(jì)的目標(biāo)可以是保護(hù)產(chǎn)品或保護(hù)工藝，也可以是將產(chǎn)品隔離，而有些情況下則是這些要求的組合。為了防止?jié)崈羰沂艿洁徑鼭崈舳容^低區(qū)域的污染，潔凈室內(nèi)的靜壓應(yīng)維持在高于鄰近區(qū)的水平，或者控制氣流從高潔凈度區(qū)流向低潔凈度區(qū)的泄漏通道的風(fēng)速。隔離危險(xiǎn)物，則可采用相反的方式。這兩種情況均可采用密閉的物理屏障。新風(fēng)量應(yīng)足夠大，除為通風(fēng)外，新風(fēng)還要補(bǔ)償潔凈室或潔凈區(qū)邊界的漏風(fēng)，補(bǔ)償其他目的的排風(fēng)。為便于選擇潔凈室和潔凈區(qū)合適的隔離方式，下面給出3種方式做比較。A.5.2置換方式(低壓差，高風(fēng)量)低壓差可有效地隔離潔凈區(qū)與潔凈度較低的鄰區(qū)，即，利用如風(fēng)速大于0.2m/s的低紊流“置換”氣圖A.6置換方式從潔凈度較高區(qū)域流向潔凈度較低區(qū)域的置換風(fēng)速一般高于0.2m/s。選擇所需風(fēng)速時(shí)考慮的重A.5.3壓差方式(高壓差，小風(fēng)量)潔凈度較高區(qū)域和潔凈較低區(qū)域之間屏障的兩邊存在壓差。相鄰區(qū)域間的高壓差容易控制，但要注意防止出現(xiàn)多余的紊流(見(jiàn)圖A.7)。圖A.7高壓差方式壓差應(yīng)足夠大，并保持穩(wěn)定，以防止氣流逆向流動(dòng)。無(wú)論是單獨(dú)采用還是與其他污染控制方式方法結(jié)合使用，壓差方式都應(yīng)予以認(rèn)真考慮。相鄰的、潔凈度不同的潔凈室或潔凈區(qū)之間的壓差一般保持在5Pa～20Pa的范圍，這樣既不妨礙開(kāi)門，又能防止紊流引發(fā)多余的交叉氣流?？捎酶鞣N氣流均衡技術(shù)來(lái)建立并維持不同等級(jí)潔凈室之間、潔凈室與非潔凈區(qū)之間的靜壓。這既有有源/自動(dòng)系統(tǒng)也有無(wú)源/手動(dòng)系統(tǒng)，配置這些系統(tǒng)用以調(diào)整經(jīng)帶風(fēng)道的空氣系統(tǒng)、空氣輸送系統(tǒng)以及損耗所產(chǎn)生的、每個(gè)空間送人的和排出的相對(duì)風(fēng)量。當(dāng)允許壓差處于該范圍內(nèi)的較低端，應(yīng)采取特殊的防護(hù)措施，確保準(zhǔn)確地測(cè)量隔離氣流或壓力，并證明設(shè)施的穩(wěn)定性。A.5.4物理屏障方式這種方式采用防滲屏障防止污染物從潔凈度較低的區(qū)域傳輸?shù)綕崈魠^(qū)。人員和物料都要穿過(guò)潔凈度逐級(jí)升高(粒子濃度逐漸降低)的區(qū)域才能進(jìn)不同的區(qū)域間移動(dòng)的人員可能要按其所進(jìn)入的各區(qū)的要求更換工作服。(ISO等級(jí))氣流形式‘平均風(fēng)速/(m/s)應(yīng)用實(shí)例U無(wú)菌操作3不適用直接保障無(wú)菌操作的其他操作區(qū)不適用無(wú)菌操作的輔助區(qū)，包括受控的準(zhǔn)備區(qū)注：考慮具體應(yīng)用潔凈度等級(jí)要求時(shí)還要考慮遵守相關(guān)法在制定優(yōu)化設(shè)計(jì)條件前，應(yīng)事先確定并認(rèn)同ISO潔凈等級(jí)所對(duì)應(yīng)的占用狀態(tài)。表中所列的氣流形式表示該等級(jí)潔凈室的氣流特性。U=單向流；N=非單向流；M=混合流(U與N的組合單向流潔凈室通常規(guī)定平均風(fēng)速。對(duì)單向流風(fēng)速的要求由具體的應(yīng)用因素決定，例如溫度、受控空間的配置、被保護(hù)的項(xiàng)目。置換風(fēng)速一般大于0.2m/s。對(duì)于因操作危險(xiǎn)材料而需要保證操作人安全的場(chǎng)所，考慮使用隔離方式(見(jiàn)附錄A中的例子通常要求關(guān)鍵粒徑的粒子濃度最低并據(jù)此選定潔凈度等級(jí)。有了關(guān)鍵粒徑(通常假設(shè)為最小特征尺寸的1/10),有助于選擇潔凈室所需的潔凈度等級(jí)。根據(jù)器件受污染的幾率和失效的可能來(lái)確定各工藝核生產(chǎn)負(fù)荷，越來(lái)越多地采用屏障技術(shù)將人員與暴露的產(chǎn)品隔離。將工作區(qū)與公用設(shè)施區(qū)一般是晶片加工設(shè)備非操作人員接口部分所在區(qū)(ISO等級(jí))動(dòng)態(tài)平均風(fēng)速‘/(m/s)換氣次數(shù)/[m3/(m2·h)]應(yīng)用場(chǎng)所舉例2U不適用光刻，半導(dǎo)體加工區(qū)3U不適用工作區(qū)，半導(dǎo)體加工區(qū)4U不適用施區(qū)5U不適用施區(qū)6不適用公用設(shè)施區(qū)，多層掩模加工，半導(dǎo)體服務(wù)區(qū)7不適用8不適用服務(wù)區(qū)在制定最佳設(shè)計(jì)條件前，應(yīng)事先確定并認(rèn)同ISO潔凈度所對(duì)應(yīng)的占用狀表中所列的氣流形式表示該等級(jí)潔凈室的氣流特性。U=單向流；N=非單向流；M=混合流(U與N的組合單向流潔凈室通常規(guī)定其平均風(fēng)速。對(duì)單向流風(fēng)速的要求，是由幾何形狀和熱力等現(xiàn)場(chǎng)參數(shù)決定的，它不一定是過(guò)濾器出風(fēng)面的風(fēng)速。非單向流和混合流潔凈室通常規(guī)定每小時(shí)換氣次數(shù)。表中建議的換氣次數(shù)對(duì)應(yīng)的是3.0m高的潔凈室。“考慮無(wú)滲透的屏障技術(shù)。污染源和被保護(hù)區(qū)之間要有效隔離，可用物理屏障，也可用氣流屏障。e)末端過(guò)濾器的安裝與現(xiàn)場(chǎng)檢測(cè)；i)設(shè)施表面的潔凈度和適用性(實(shí)例見(jiàn)附錄E);C.2.5運(yùn)行的驗(yàn)收(設(shè)備已按事先商定的方式安裝好)e)按第8章檢查文件的完整性。有關(guān)符合性的事項(xiàng)參見(jiàn)GB/T25915.2—2010;有關(guān)微生物的事項(xiàng)參見(jiàn)GB/T25916.1—2010和C.3報(bào)告d)符合技術(shù)要求的客觀驗(yàn)證。概念設(shè)計(jì)鑒定(初步方案)功能驗(yàn)收性能鑒定概念設(shè)計(jì)分級(jí)的圖C.1設(shè)施的驗(yàn)收?qǐng)DC.1說(shuō)明了設(shè)施的各項(xiàng)驗(yàn)收、進(jìn)展階段和正式分級(jí)的占用狀態(tài)之間的邏輯順序和相互關(guān)系。從慣用的到法規(guī)要求的，各行業(yè)所用的術(shù)語(yǔ)可能不同。圖C.1給出的是醫(yī)藥行業(yè)建造和驗(yàn)收階段常用的確認(rèn)順序。(資料性附錄)D.1.1規(guī)模潔凈室應(yīng)保持最小的實(shí)用尺寸，并考慮到將來(lái)的需求。一般情況下，如需要大的空間，可將其分成幾個(gè)有或沒(méi)有物理屏障的區(qū)或室。D.1.2工作臺(tái)的定位和安排潔凈室內(nèi)的關(guān)鍵工作臺(tái)和風(fēng)險(xiǎn)區(qū)域，應(yīng)遠(yuǎn)離出人口、主要交通通道、以及其他氣流流型可能受到干擾及污染較高的地方。設(shè)置水平流潔凈室工作臺(tái)的位置時(shí)，適當(dāng)來(lái)源的潔凈空氣應(yīng)送至將進(jìn)行潔凈工作的地方，并不受人員活動(dòng)和相鄰工作的氣流干擾和污染。如果在一個(gè)水平單向流的區(qū)域內(nèi)進(jìn)行不同潔凈度的作業(yè)，較低潔凈度的作業(yè)應(yīng)位于較高潔凈度作業(yè)的下風(fēng)向，但這種布置不得影響任何關(guān)鍵點(diǎn)維持其目標(biāo)環(huán)境。D.1.3輔助區(qū)與鄰近輔助區(qū)的潔凈室為使?jié)崈羰宜３值年P(guān)鍵條件不受影響，需考慮諸如服務(wù)與公用設(shè)施、清等輔助區(qū)的位置及其整體關(guān)系。壓差、流量差、通道與通訊的安排(例如氣閘、門禁、內(nèi)部話機(jī)),圍護(hù)結(jié)構(gòu)的密封(特別是材料的接縫、設(shè)備和公用設(shè)施的穿洞)都應(yīng)做到位，防止較低潔凈區(qū)對(duì)較高潔凈區(qū)的污染。平面布局應(yīng)與人員行為的有效培訓(xùn)和管理相結(jié)合，以盡量減少由于輔助區(qū)和潔凈室之間的活動(dòng)所造成的干擾和交叉污染。D.1.4公用設(shè)施和輔助設(shè)備潔凈室配備的公用設(shè)施在設(shè)計(jì)、選址和安裝上，應(yīng)不使?jié)崈羰沂艿竭@些服務(wù)設(shè)施的污染。一般情況下，潔凈室內(nèi)盡量減少外露的管線，它們會(huì)帶來(lái)清潔方面的問(wèn)題，還會(huì)損傷潔凈室工作服和抹布等物品。這應(yīng)與可能造成污染且有礙消毒和熏蒸的管線護(hù)罩相權(quán)衡。可能時(shí)，考慮風(fēng)管的路徑或外部服務(wù)區(qū)這類公用管線的路徑。應(yīng)配備有效手段清除公用服務(wù)區(qū)域內(nèi)產(chǎn)生的廢物和污染。設(shè)計(jì)安裝的供電分接點(diǎn)和各種接頭，應(yīng)便于定期清潔，并能防止在封口蓋板內(nèi)或其后面聚積污染。維護(hù)工作盡量不在潔凈室內(nèi)進(jìn)行。壓差、流速差、通道與通訊的安排(例如氣閘、門禁、內(nèi)部話機(jī)),圍護(hù)結(jié)構(gòu)的密封(特別是材料的接縫、設(shè)備和公用動(dòng)力的穿洞)應(yīng)做到位，防止輔助區(qū)對(duì)潔凈室的污染。公用服務(wù)設(shè)施的數(shù)量、類型和位置由買方和供方議定。D.1.4.2真空清潔設(shè)備潔凈室應(yīng)配備便攜式或固定式吸塵設(shè)備，以便在定期清潔期間有效清除顆粒污染物，并確?？砂催m若將噴淋管線布置在頂棚上方，應(yīng)根據(jù)潔凈室內(nèi)其下方的設(shè)備和作業(yè)仔墻上或頂棚上噴頭接管的孔洞應(yīng)像潔凈室其他穿孔一樣密封。在不影響噴頭安全功能的前提下，之間設(shè)置玻璃窗，這樣無(wú)須進(jìn)入室內(nèi)就可觀察到室內(nèi)的活動(dòng)。窗戶應(yīng)采用非傳送物料的氣閘內(nèi)應(yīng)設(shè)有隔離臺(tái)或其他明顯的分界裝置，并配備合適的除污設(shè)更衣室是供人員出入潔凈室的專用氣閘。更衣室應(yīng)有足夠空間滿足其與存放設(shè)備以及潔凈室內(nèi)使用的設(shè)備，也應(yīng)有與污染敏感作業(yè)相應(yīng)的可采用與更衣室內(nèi)的活動(dòng)與使用相應(yīng)的物理屏障(例如，跨凳、氣閘),將所有按設(shè)施運(yùn)行要求使用的材料，都需考慮其化學(xué)相容性。這種考慮可影污染敏感區(qū)的空氣質(zhì)量。為此，空氣處理系統(tǒng)中所有內(nèi)表面材料和飾面，都要經(jīng)過(guò)嚴(yán)格評(píng)定與專門潔凈室和潔凈區(qū)內(nèi)的墻壁、地面和頂棚的設(shè)計(jì)與建造應(yīng)易于進(jìn)行表的濕度環(huán)境。附錄F有這種控制技術(shù)的進(jìn)一步說(shuō)明。需注意防止靜電荷積聚的最佳濕度條件可能與為保護(hù)靜電敏感部件，對(duì)地電阻RE應(yīng)保持在RE=10?Ω~10?Ω的范圍。注意保護(hù)人員免遭電擊?，F(xiàn)場(chǎng)接地傳導(dǎo)電阻考慮為Rsr=5×10‘Ω。因此，“理想和對(duì)地電阻Rg=10?Ω之間。所要求的地面電特性對(duì)整體地面或地面使用的復(fù)合材料均適用。定期測(cè)量地面，以監(jiān)測(cè)其因老化可能導(dǎo)致的性能退變。表面電壓限值不應(yīng)超過(guò)2kV(適用于累計(jì)表面電荷)。對(duì)墻壁的導(dǎo)電系數(shù)應(yīng)定期監(jiān)測(cè)，并在改造和維修后進(jìn)行檢測(cè)。完工的設(shè)施內(nèi)，所有內(nèi)表面都應(yīng)做得適度光滑、無(wú)孔，無(wú)裂縫、無(wú)凹凸不平。其設(shè)計(jì)和建造盡量減少可能聚積污染的凹凸不平及類似情況。盡量減少墻角，特別是內(nèi)角。為了便于清潔，墻角和接縫處可做成圓弧形，特別是地面與墻以及墻與墻的連接縫。裝飾面需適應(yīng)擬采用的機(jī)械和化學(xué)的清潔及消毒為確保內(nèi)飾面材料的性能、質(zhì)量始終與設(shè)施的潔凈度等級(jí)相符，可定期進(jìn)行維護(hù)和修理。材料的維護(hù)和修理方法以及修護(hù)工作的影響，應(yīng)作為選材的考慮標(biāo)準(zhǔn)。需考慮全壽命周期成本以及污染風(fēng)險(xiǎn)E.2對(duì)具體部件的要求E.2.1.1基本要求墻壁、頂棚和地面應(yīng)符合消防、噪音和保溫方面的所有相關(guān)規(guī)定。表面裝飾層和表面裝修細(xì)部需適合所規(guī)定的清潔方法。需考慮表面顏色和裝飾層與擬采用的照明條件的相互作用，以避免眩光。對(duì)氣閘、更衣室和物料通道處的要求，一般至少與其所服務(wù)的更潔凈的區(qū)域相同。傳送設(shè)備和物料的氣閘這些基本選項(xiàng)也可組合使用。選擇設(shè)施的建造方法時(shí)，不僅要考慮到污染控制和運(yùn)行要求，還要考慮建造現(xiàn)場(chǎng)的相關(guān)事項(xiàng)(例如，可用的建造和裝修技術(shù));設(shè)施所在現(xiàn)有建筑主體的情況，如可用高度、承重能力、結(jié)構(gòu)變形，維護(hù)上的限E.2.1.2頂棚頂棚應(yīng)密封，防止含有粒子或其他污染物的空氣通過(guò)頂棚的孔隙滲人。安裝在頂棚的過(guò)濾器、過(guò)濾器框架、過(guò)濾箱體和散流器應(yīng)密封。頂棚穿孔(如公用設(shè)施、噴灑頭和照明線的穿孔)盡量少，滿足要求E.2.1.3墻和墻系統(tǒng)墻的材料和表面裝飾層除應(yīng)滿足使用的一般要求，還需注意抗撞和耐磨問(wèn)題，尤其是那些搬運(yùn)材料有些場(chǎng)合可能要求墻或壁板密封，以防止與周圍區(qū)域交叉?zhèn)鞑ノ廴疚?。盡可能減少門的水平表面，特別要盡量減少門表面上的凹凸不平之處。衣柜。外露表面應(yīng)符合潔凈室和潔凈區(qū)內(nèi)所規(guī)定的相同標(biāo)準(zhǔn)。在這樣的應(yīng)用場(chǎng)除緊急出口外，輔助區(qū)不應(yīng)與潔凈室直接連通。輔助區(qū)內(nèi)的外露表面選材需特別注意耐用性和易E.3.3建造和啟動(dòng)期間的潔凈度和清潔建造和組裝工作本身往往產(chǎn)生污染。為滿足規(guī)定的污染控制目標(biāo)，應(yīng)制定并執(zhí)行潔凈建造規(guī)則。要特別注意那些成為重污染源的工作的時(shí)間安排，將這些工作排在污染源較少或?qū)ξ廴靖舾械墓ぷ髦巴瓿伞＝ㄔ炱陂g，應(yīng)采取措施隔離并清除組裝和建造過(guò)程中產(chǎn)生的污染，以限制對(duì)周圍區(qū)域的不當(dāng)污染。合適的隔離措施有：臨時(shí)屏障和臨時(shí)隔墻，關(guān)鍵區(qū)加壓時(shí)在空氣處理系統(tǒng)中使用“一次性”過(guò)濾器。安裝這種過(guò)濾器是用以保護(hù)潔凈空間(潔凈環(huán)境和空氣處理系統(tǒng))不受外界污染，順利進(jìn)行初始的加壓和運(yùn)行。在設(shè)施驗(yàn)收及隨后投入運(yùn)行前，按雙方商定的階段或啟動(dòng)階段，用適當(dāng)?shù)燃?jí)的過(guò)濾器替換這種過(guò)濾器。應(yīng)按規(guī)定，對(duì)持續(xù)或頻繁的清潔工作，予以規(guī)劃及管理，防止污染物在設(shè)施任何部分有不當(dāng)聚集，也便于在啟動(dòng)前進(jìn)行必不可少的最后清潔工作(另見(jiàn)第6章和E.1.2)。可在一個(gè)分開(kāi)的區(qū)域，或在現(xiàn)場(chǎng)接受點(diǎn)與最后建造點(diǎn)之間的一個(gè)區(qū)域，進(jìn)行部件的初步清潔，并完成那些不必在現(xiàn)場(chǎng)就地進(jìn)行的準(zhǔn)備工作或裝配工作。這種做法對(duì)以后會(huì)難以或無(wú)法進(jìn)行的清潔工作特別有益，對(duì)減少設(shè)施各部分的污染極為有利。E.4建造材料常用表面材料有：a)墻壁和頂棚：——不銹鋼板；——陽(yáng)極氧化鋁；——聚合物板或聚合物涂層。安裝在適當(dāng)?shù)幕谆蚪Y(jié)構(gòu)上。b)地面：——聚合物涂層或聚合物板；——接縫可密封的面磚。選材時(shí)需考慮其使用(生產(chǎn)、配置、清潔和去污以及電導(dǎo)率和釋放氣體特性)時(shí)的化學(xué)特性、熱特性c)資金成本和運(yùn)行費(fèi)用(壽命周期成本核算);i)環(huán)境事宜(如廢物的處理和包裝);j)法規(guī)要求F.2.1依具體工藝要求規(guī)定潔凈室的溫度(℃)和相對(duì)濕度(%飽和含濕量)的設(shè)定值和控制范圍。F.2.3控制污染所需空氣量很大，這便于溫度控制系統(tǒng)以合適的反應(yīng)速率平衡內(nèi)部獲得的熱量。但應(yīng)對(duì)散熱設(shè)備密集區(qū)及其送風(fēng)的形式進(jìn)行分析，以確定其引起的溫度變化的可F.2.5潔凈室設(shè)施中，外部情況(如氣候的變化)對(duì)濕度控應(yīng)。有些制造工藝(如真空管制造和壓片)要求相對(duì)濕度(R.H.)低于35%。如附錄E中所述，選材時(shí)F.2.6對(duì)這些具體的設(shè)施應(yīng)明確規(guī)定人員舒適所需的溫度和濕度。一般相對(duì)濕度在小于65%R.H至大于30%R.H的范圍內(nèi)。如在此范圍之外，需考慮采取適當(dāng)?shù)拇胧M足工藝和人員的要求。F.2.7應(yīng)對(duì)測(cè)量溫度和相對(duì)濕度的位置做出規(guī)定。F.3.1設(shè)施各個(gè)部分所需的照明等級(jí)和均勻性及其評(píng)定方法應(yīng)予規(guī)定。F.3.3照明系統(tǒng)應(yīng)與潔凈室的有效運(yùn)行相適應(yīng)。燈具上不應(yīng)有釋放污染之處，需考慮采用密封的或齊平的燈具。在單向流的場(chǎng)合，燈具及相關(guān)散流器的設(shè)計(jì)和位置應(yīng)盡量減少或F.4.2聲壓級(jí)的A計(jì)權(quán)聲級(jí)范圍一般在55dB～65dB。有些場(chǎng)合可能要求較低級(jí)別，或能容忍較高級(jí)別。應(yīng)按F.4.3.1振動(dòng)是潔凈室設(shè)施需要考慮的重要問(wèn)題，因它對(duì)工藝、人員的舒適及設(shè)備和系統(tǒng)的使用壽設(shè)計(jì)人員應(yīng)對(duì)潔凈室空調(diào)系統(tǒng)中所用的預(yù)過(guò)濾和第二級(jí)過(guò)濾器的性高效空氣過(guò)濾器的包裝應(yīng)使其得到充分保護(hù)，在供應(yīng)商處搬動(dòng)高效過(guò)濾器的安裝應(yīng)延遲至需要調(diào)試設(shè)施前。安裝前應(yīng)按供應(yīng)商的說(shuō)明存放過(guò)濾器。開(kāi)始安裝安裝在設(shè)施內(nèi)的所有過(guò)濾設(shè)備，都不應(yīng)妨礙對(duì)末端過(guò)濾器的檢漏本附錄旨在協(xié)助需方/用戶和供方/設(shè)計(jì)方通過(guò)溝通商定補(bǔ)充要求，列出H.2檢查項(xiàng)表H.6建議通過(guò)檢查以明確安全運(yùn)行要求。12間接工藝1活的或非活物質(zhì)尺寸(粒徑)粒徑，M描述符和U描述符(見(jiàn)GB/T25915.1—2010附錄E)/普通粒子、超微粒子、大粒子和纖維自凈時(shí)間化學(xué)品分子的、離子的、氣態(tài)的、凝結(jié)的、金屬的量自凈時(shí)間生物的一般類型污染類型從無(wú)序到穩(wěn)態(tài)的時(shí)間2能量污染振動(dòng)的范圍電磁場(chǎng)表H.3工藝設(shè)備技術(shù)要求1公用設(shè)施需求需輸送到每臺(tái)工藝設(shè)備的物質(zhì)和動(dòng)力固體供應(yīng)要求固體供應(yīng)量列出工藝過(guò)程中每臺(tái)設(shè)備使用的各種氣體的純度壓力列出在工藝過(guò)程中每臺(tái)設(shè)備使用的各種氣體的壓力，包括最大、最小、額定供壓與工作壓力列出在工藝過(guò)程中每臺(tái)設(shè)備使用的各種液體的數(shù)量，液體供應(yīng)壓力列出在工藝過(guò)程中每臺(tái)設(shè)備使用的各種液體的壓包括最大、最小、額定壓力與工作壓力電力要求電壓負(fù)荷電力波動(dòng)要求電最大波動(dòng)值2固體廢物固體廢物的純度/固體廢物數(shù)量列出每臺(tái)設(shè)備排放的、將在工藝中使用的各種氣體的排氣壓力力，包括最大、最小、額定排放壓力和使用壓力3實(shí)現(xiàn)工藝設(shè)備的正常使用求。如需要，另外提供設(shè)備部件的要求。列出每臺(tái)設(shè)備最大、最小和額定振動(dòng)能量級(jí)45安裝事項(xiàng)6如何使用7維護(hù)事項(xiàng)如何維護(hù)89工藝過(guò)程后隨后制造步驟的說(shuō)明隨時(shí)間通過(guò)設(shè)備的產(chǎn)品量予以說(shuō)明予以說(shuō)明1列出影響選址和運(yùn)行的所有法規(guī)要求，包括當(dāng)?shù)氐姆謪^(qū)2公用資源因素3劃中的工藝和設(shè)施的影響4估其可能對(duì)規(guī)劃中的工藝、設(shè)施和人員的影響5估其對(duì)規(guī)劃中的設(shè)施的影響6列出各種安保和可達(dá)性方面的因素。評(píng)估其對(duì)設(shè)施的影響表H.5環(huán)境要求1考慮工藝、設(shè)備和人員的要求。初始時(shí)按潔凈度層次列出。只有在設(shè)計(jì)過(guò)程充分展開(kāi)時(shí)，再將每個(gè)工藝區(qū)按潔凈度等級(jí)列出潔凈度氣流方向列出潔凈室氣流方向，即垂直的或水平的表H.5(續(xù))壓力列出潔凈室的壓力列出潔凈室從較高壓力區(qū)到相鄰區(qū)較低壓區(qū)的壓差2聲壓級(jí)(噪聲)列出潔凈室最大允許聲壓級(jí)與額定聲壓級(jí)3列出潔凈室最大允許振動(dòng)能量級(jí)與額定振動(dòng)能量級(jí)4照明列出潔凈室最小照度和額定照度要求及任何波長(zhǎng)限制5列出潔凈室地面面積要求，即長(zhǎng)度和寬度6電離電荷平衡(空氣)表H.6安全要求2空氣循環(huán)區(qū)的分隔有毒、易燃和危險(xiǎn)物料的存貯、456吹掃系統(tǒng)流量大小表H.7備用/備份要求1100%的替換能力234替代源5故障檢測(cè)和報(bào)告6表H.8使用和維護(hù)因素1平均無(wú)故障時(shí)間2平均維修時(shí)間維修最長(zhǎng)時(shí)間多長(zhǎng)時(shí)間修好4多少?什么類型?表H.9對(duì)人和生產(chǎn)力有影響的人員因素氣閘234表H.10未來(lái)的發(fā)展是否現(xiàn)在就考慮2是否現(xiàn)在就考慮表H.11成本要求2能源的利用明確降低運(yùn)行成本的方法3項(xiàng)目任務(wù)由用戶和供方商定2明確重要事項(xiàng)明確或規(guī)定項(xiàng)目的主要事項(xiàng)和驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)H.3潔凈室項(xiàng)目基本要求項(xiàng)用途：本表格的目的是協(xié)助潔凈室項(xiàng)目的用戶和供方以文件說(shuō)明潔凈室項(xiàng)目的要點(diǎn)和非要點(diǎn)。本表格與本部分中的標(biāo)準(zhǔn)性條款與參考性條款一起使用。H.4與第4章的關(guān)系(見(jiàn)表H.13)表H.13與第4章的關(guān)系回應(yīng)、要求、有無(wú)運(yùn)行標(biāo)準(zhǔn)所施加的約束(見(jiàn)附錄A,B和D中的說(shuō)明)按照GB/T25915.1—2010、GB/T25916.1—2010和GB/T25916.2—2010所要求的潔凈度等級(jí)或要求(見(jiàn)附錄F中的說(shuō)明)2010和GB/T25915.3—2010)(見(jiàn)附錄F中的說(shuō)明)回應(yīng)、要求、說(shuō)明為達(dá)到所要求的潔凈度等級(jí)待采用的污染控制概念(包括運(yùn)行和性能標(biāo)準(zhǔn))(控制概念的說(shuō)明見(jiàn)附錄A中的說(shuō)明)潔凈室的物流(見(jiàn)附錄D中的說(shuō)明)為達(dá)到和維持所要求的條件而規(guī)定的占用狀態(tài)，包括其時(shí)間上的變化及對(duì)占用人員的控制方法，包括所有潔凈區(qū)的如更衣、衛(wèi)生措施、提供設(shè)施的平面布置圖和配置圖(見(jiàn)附錄D中的說(shuō)明)提供各種關(guān)鍵尺寸和質(zhì)量限制，包括與可用空間有關(guān)的那些事項(xiàng)(見(jiàn)附錄D中的說(shuō)明)體排放、尺寸和質(zhì)量及公用設(shè)施要求(見(jiàn)附錄B,D,E,G和H中的說(shuō)明)及時(shí)提供潔凈室或潔凈區(qū)系統(tǒng)部件的維護(hù)要求(見(jiàn)附錄D和E中的說(shuō)明)責(zé)任的詳細(xì)闡述(見(jiàn)附錄E和G中的說(shuō)明)確定各種外部環(huán)境的影響，如化學(xué)污染及粒子污染、噪聲和振動(dòng)(見(jiàn)附錄H中的說(shuō)明)[3]GB/T24001環(huán)境管理體系要求及使用指南EnvironmentalmanagemeSpecificationwithguidanceforusesystems—Generalguidelinesonprinciples,systemsandsupportingtechniquesPart1:Determinationofpermissibleresidualunbalance[6]ISO3746:1995+TechnicalCorripowerlevelsofnoisesourcesusingsoundpressure—Surveymethodusinganervelopingmeasurementsurfaceoverareflectingplane[7]ISO7730:1994Moderatethermalenvironments—Determinationoindicesandspecificationoftheconditionsforthermalcomfort[8]ISO9004-1:1994Qualitymanagementandqualitysystemelements—Part1:Guidelinesmentsonnonrotatingparis-Part1:Generalguidelines[10]EN779:1993Particulateairfiltersforgeneralventilation—Requirements,testing,marking[11]EN1822-