干涉濾光片規(guī)范

JJG812—19931干涉濾光片檢定規(guī)程本規(guī)程適用于新制造和使用中的、波長(zhǎng)范圍在330~750nm的干涉濾光片的檢定。干涉濾光片是利用多光束干涉原理,在光學(xué)基底上鍍制多層金屬和(或)介質(zhì)膜層而制得的。當(dāng)白光通過(guò)干涉濾光片后,即變成具有一定帶寬的單色光,可用它來(lái)檢定波長(zhǎng)和獲得近似單色光。1外觀要求1.1干涉濾光片表面沒(méi)有明顯的麻點(diǎn)、擦痕、斑點(diǎn)、裂紋等。1.2膠合面沒(méi)有明顯的氣泡、灰塵、霉斑、脫膠、龜裂等。1.3干涉濾光片應(yīng)有相應(yīng)的編號(hào)。2最大透射比不小于表1允差。3中心波長(zhǎng)(或峰值波長(zhǎng))偏差不超過(guò)表1允差。4半寬度不大于表1允差。5截止區(qū)域背景光透射比不大于表1允差。中心波長(zhǎng)≥400nm時(shí),短波限:350nm;長(zhǎng)波限:800nm。中心波長(zhǎng)<400nm時(shí),短波限:280nm;長(zhǎng)波限:800nm。6波形系數(shù)不大于表1允差。表1允級(jí)別項(xiàng)目差最大透射比τmax/%中心波長(zhǎng)(或峰值波長(zhǎng))偏差Δλ/nm半寬度Δλ0.5/nm截止區(qū)域背景光透射比τc/%波形系數(shù)η波長(zhǎng)均勻性Δj/nm直徑或?qū)挾?lt;30mm直徑或?qū)挾取?0mm130±1120.131.01.545±180.121.01.5230±2150.531.01.545±2100.521.01.5330±5150.53.31.52.045±5100.531.52.0JJG812—199327波長(zhǎng)均勻性不超過(guò)表1允差。(一)檢定環(huán)境8周圍沒(méi)有會(huì)引起干涉濾光片膜層腐蝕的氣體。9室溫15~25℃;相對(duì)濕度不超過(guò)70%。(二)檢定設(shè)備10紫外可見(jiàn)分光光度計(jì)(其波長(zhǎng)范圍不小于280~800nm)。分光光度計(jì)的光譜帶寬在全波段范圍內(nèi)不大于2nm。用來(lái)檢定1、2級(jí)干涉濾光片的紫外可見(jiàn)分光光度計(jì)的技術(shù)指標(biāo)應(yīng)符合JJG682—1990“雙光束紫外可見(jiàn)分光光度計(jì)”A級(jí)儀器的要求。用來(lái)檢定3級(jí)干涉濾光片的紫外可見(jiàn)分光光度計(jì)的技術(shù)指標(biāo)應(yīng)符合JJG682—1990“雙光束紫外可見(jiàn)分光光度計(jì)”B級(jí)儀器的要求。1160~100W的白熾燈和黑色屏幕。四檢定項(xiàng)目和檢定方法12檢定項(xiàng)目干涉濾光片的檢定項(xiàng)目按表2要求進(jìn)行。表2檢定項(xiàng)目新制造使用中外觀要求++最大透射比++中心波長(zhǎng)偏差(或峰值波長(zhǎng)偏差)++半寬度++背景光透射比+-波形系數(shù)+-波長(zhǎng)均勻性檢驗(yàn)波長(zhǎng)用++獲得單色光用+-注:“+”表示該項(xiàng)目要做,“-”表示該項(xiàng)目不做。13外觀要求檢查用無(wú)水乙醇和無(wú)水乙醚的混合液清潔濾光片表面,以黑色屏幕為背景,在白熾燈下3目測(cè)，按第1條要求進(jìn)行檢驗(yàn)。14作干涉濾光片的透射特性曲線14.1把清潔后的干涉濾光片裝入濾光片架或緊貼在吸收池架子上，使干涉濾光片的中心與測(cè)試孔的中心對(duì)齊(用手拿干涉濾光片的兩側(cè)，不可觸摸透光表面)。再將裝有濾光片的架子放入分光光度計(jì)的樣品室內(nèi)，先讓分光光度計(jì)的測(cè)試光束，全部通過(guò)濾光片架或吸收池架的參比孔內(nèi)的空氣層，調(diào)節(jié)分光光度計(jì)的透射比示值為100%,再將裝有濾光片的測(cè)試孔推入光路中，使測(cè)試光束的中心與干涉濾光片的中心重合，測(cè)試光束全部垂直地通過(guò)干涉濾光片(見(jiàn)圖1),并將分光光度計(jì)的帶寬置于2nm。14.2用自動(dòng)記錄式和帶微機(jī)的分光光度計(jì)測(cè)試時(shí)，可按說(shuō)明書(shū)操作，選擇合適的掃描速度，讓波長(zhǎng)從350nm到800nm(或280nm到800nm)進(jìn)行掃描。儀器自動(dòng)作出z—λ曲線。14.3用非記錄式分光光度計(jì)測(cè)試時(shí)，可按說(shuō)明書(shū)用手調(diào)節(jié)波長(zhǎng)。每隔5nm測(cè)一點(diǎn)，在中心波長(zhǎng)λ±8nm范圍內(nèi)每隔1nm測(cè)一點(diǎn)，從350nm到800nm(或280nm到800nm)每改變一個(gè)波長(zhǎng)，測(cè)一次透射比，每次測(cè)試都要用參比孔作空白來(lái)調(diào)節(jié)分光光度計(jì)的透射比到100%,記下每次波長(zhǎng)λ、透射比z的數(shù)值，作出z-λ曲線。15最大透射比的檢定從x-λ曲線上找出最大透射比rmaxo16中心波長(zhǎng)或峰值波長(zhǎng)偏差的檢定16.1用來(lái)獲得近似單色光的干涉濾光片的中心波長(zhǎng)的偏差是將本次所測(cè)之值減去濾光片出廠時(shí)標(biāo)稱值之差。16.2在r-λ曲線上找出對(duì)應(yīng)于0.5tmax的二點(diǎn)的波長(zhǎng)λ?和λ?(見(jiàn)附錄1)。16.3按式(1)計(jì)算中心波長(zhǎng)λ?:16.4用來(lái)檢定波長(zhǎng)的干涉濾光片的峰值波長(zhǎng)的偏差，是指本次所測(cè)之值減去上一次檢定值(新制造的是指出廠標(biāo)稱值)之差。JJG812—1993416.5從τ-λ曲線上找出λmax(見(jiàn)附錄1)。17半寬度的檢定:17.1在τ-λ曲線上找到對(duì)應(yīng)于0.5τmax的二點(diǎn)的波長(zhǎng)λ1和λ2(見(jiàn)附錄1)。17.2按式(2)計(jì)算半寬度Δλ0.5:Δλ0.5=λ2-λ1(2)18背景光透射比的檢定在τ-λ曲線上,除透射主峰外,找出從350nm到800nm(或280nm到800nm)范圍內(nèi)背景光最大的透射比τc(見(jiàn)附錄1)。19波形系數(shù)的檢定19.1在τ-λ曲線上找到對(duì)應(yīng)于0.1τmax的二點(diǎn)的波長(zhǎng)λ3和λ4(見(jiàn)附錄1)。19.2按式(3)計(jì)算波形系數(shù)η:η=(3)20波長(zhǎng)均勻性的檢定20.1用平行移動(dòng)濾光片的辦法,使測(cè)試光束分別打到偏離干涉濾光片中心距離為d的上下左右4個(gè)點(diǎn)上(見(jiàn)圖2~5),并使光束全部垂直地通過(guò)干涉濾光片,在λmax±5nm范圍內(nèi),每次都按第14.2或14.3款進(jìn)行測(cè)試,得到4個(gè)峰值波長(zhǎng)λmaxs,λmaxx,λmaxz,λmaxy,其中d的大小應(yīng)符合表3的要求。表3干涉濾光片直徑或?qū)挾萪<201.520~303.0>306.020.2在5個(gè)峰值波長(zhǎng)λmaxs,λmaxx,λmax,λmaxz,λmaxy中找出最大值和最小值,它們之差即為Δj。用Δj來(lái)表示波長(zhǎng)均勻性。五檢定結(jié)果的處理和檢定周期21按本規(guī)程檢定合格的干涉濾光片,發(fā)給檢定證書(shū);不合格的,發(fā)給檢定結(jié)果通知書(shū),并注明不合格項(xiàng)目。22對(duì)新制造的用來(lái)檢定波長(zhǎng)的干涉濾光片,半年檢定一次,2年后每年檢定一次。23用以獲得單色光的干涉濾光片每年檢定1次。24每次送檢時(shí),應(yīng)帶上一次的檢定證書(shū)。56干涉濾光片的特性參數(shù)λ?——對(duì)應(yīng)于透射比為0.5Tmax的2個(gè)波長(zhǎng)λ?和λ?之和的一半的波JJG812—19937附錄2干涉濾光片檢定記錄送檢單位:制造廠:型號(hào):編號(hào):溫度:相對(duì)濕度:檢定員:證書(shū)或通知書(shū)編號(hào):核驗(yàn)員:檢定日期:表1干涉濾光片的透射特性記錄波長(zhǎng)/nm透射比/%測(cè)試點(diǎn)居中測(cè)試點(diǎn)偏上測(cè)試點(diǎn)偏下測(cè)試點(diǎn)偏左測(cè)試點(diǎn)偏右8表1(續(xù))波長(zhǎng)/nm透射比/%測(cè)試點(diǎn)居中測(cè)試點(diǎn)偏上測(cè)試點(diǎn)偏下測(cè)試點(diǎn)偏左測(cè)試點(diǎn)偏右表2外觀質(zhì)量τmax/%λ1/nmλ2/nmλ0/nmλmax/nmZhSXZYΔλ0或Δλmax/nmΔλ0.5/nmτc/%λ3/nmλ4/nmηΔj/nm附錄3檢定證書(shū)和檢定結(jié)果通知書(shū)(背面)格式檢定時(shí)周圍環(huán)境:溫度℃;相對(duì)濕度:%檢定結(jié)果:峰值波長(zhǎng)偏差