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文檔簡介
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什么是凈化間和凈化間臟污?BasicDefinitionaboutCleanroomandcontamination
為什么要控制凈化間臟污?WhydoweneedcontrolCont?
如何控制凈化間臟污?Howdowecontrolcont.?
要求、原則、方法。。。CourseInstruction凈化間的定義Cleanroomdefinition凈化間(C/R)——根據(jù)實際需要建立的溫度、濕度、氣壓和臟污都受到適度控制的封閉工作區(qū)域。Aroominwhichtheairsupply,airdistribution,filtrationofairsupply,materialsofconstructionandoperatingproceduresareregulatedtocontrolairborneparticleconcentrationssothatappropriateaircleanlinesslevelscanbemet.通??刂茦?biāo)準:
溫度:22+/-2℃;濕度:55+/-10RH;氣壓:常壓略高
。臟污受控程度按空氣傳播粒子數(shù)(密度)分類。
凈化間級別CleanlinesslevelanddesigntypesinKF通常根據(jù)空氣傳播粒子密度,將臟污受控程度分為:Class10,100,1000,10K等。Class100——懸浮在每立方英尺內(nèi)空氣內(nèi),顆粒不小于0.5μm(或者0.3μm的)微粒個數(shù)不超過100個。想一下:0.5μm有多大?
無大于5.0μm顆粒。大約是頭發(fā)絲粗細的20分之一。1μm等于百萬分子一米,即10-6HEPAFliters凈化間通過高效過濾器降塵系統(tǒng)的工作,來維持一定的潔凈度,換氣次數(shù)可以控制室內(nèi)不同的污染物濃度。(Highefficiencyparticulateairfilterhavingaminimumparticle-collectionefficiencyof99.97%for0.3um.Airfiltersarethekeycomponentinensuringthecleanlinessofairincleanroom)Contamination&Cont.Control?凈化間臟污是指存在于凈化間內(nèi)所有對產(chǎn)品合格率和品質(zhì)穩(wěn)定性產(chǎn)生不利影響的所有不必要物質(zhì)。凈化間臟污控制是將對產(chǎn)品合格率和可靠性有不利影響的所有人員、設(shè)備、設(shè)施、物料等聯(lián)系考慮的全系統(tǒng)控制。臟污——是指影響正常狀態(tài)的那些由外界介入的不需要的物質(zhì),通常是些不良的成分。凈化間臟污分類Classification按物質(zhì)類別:微粒類磁性、非磁性金屬、非金屬化學(xué)類
按存在方式:空中漂浮類淀積/附著類氣體、液體?;瘜W(xué)類臟污
包括:有機類離子臟污生物類(細菌)還有
通常按臟污物質(zhì)的化學(xué)性質(zhì)與物理狀態(tài)來分類臟污按物質(zhì)存在狀態(tài):固態(tài)、氣態(tài)、液態(tài)、膠體、霧等。各種物相都存在ChemicalParticle人體、工裝設(shè)備及裝配物料帶入。
凈化間臟污的80%
是從凈化間外部帶入的??!人與物體的移動而產(chǎn)生。凈化間臟污的來源
Majorsourceofcontamination臟污操作人員工具設(shè)備裝配物料設(shè)備使用、人體移動另有統(tǒng)計:人所造成的臟污占凈化間臟污的80%。凈化間使用設(shè)施臟污測試典型臟污舉例客戶特別關(guān)注的臟污有哪些?Customerrequirements臟污對磁頭和硬盤驅(qū)動器有什么危害?HowDoContaminantsCauseFailures?如何檢測臟污?(HowtodetectCont.?)理解臟污控制的重要性。第二個問題——
Whydoweneedcontrolcont.?臟污檢測常用方法擦拭(WIPETEST)空氣粒子數(shù)(PARTICLECOUNT)液體粒子數(shù)(LPC)與離子數(shù)測試(IC)揮發(fā)性氣體與凝結(jié)物(OUTGASSING)不揮發(fā)性組分(NVR)
紅外光譜(FTIR)DI水及細菌數(shù)測試(BACTERIA)透射電鏡及元素分析(SEM)WIPETEST目檢無可見臟污。PARTICLECOUNT
C/R100,<100個;C/R10K,<10000個LPC
MAXTOR:HGA/HSA250/5000cumlcounts/cm2(>/=1.0um);WD:HGA/HSA90kcounts/cm2(0.5um);IC(Cl、F、Br、NO3;Na、NH4、K、Mg)
MAXTOR:HSA/HGA20/10
ng/cm2
WD:HSA10ng/cm2(ppb)IBM(ThornbackHAS):7ug/part常用測試標(biāo)準(Spec.)常用測試標(biāo)準Outgassing
Spec-limit/Critcal-limit(ug/part)TotalOutgas
10 30Acrylate
1 2
Siloxane 12 Chlorinated 0.01 0.01 Hydrocarbons1 2 Acrylate,丙烯酸脂,主要來源:膠劑等。Siloxane,硅氧烷,主要來源:潤滑劑等。
Organiccontamination(NVR)總殘留物不大于20毫克;FTIR不允許有硅油、酰胺化合物以及鄰苯二甲酸鹽。Silicone,硅油,主要來源:橡膠、鑄型等。Amines/DOP,氨基化合物/酸二辛脂,來源:包裝物等。分解標(biāo)準(MAXTOR)Flex-cableIONIC(最大允許濃度ug/cm2
)Flex-cableNVR/FTIR(未經(jīng)清洗)NVR總量不大于5.0ug/cm2。FTIR,硅油、DOP和氨基類化合物不允許。臟污30.4%粒子17.7%NVR4.6%揮發(fā)性氣體3.8%其它2.5%IC1.7%臟污導(dǎo)致硬盤制造中不合格的比例Contaminationisoneoftophitterindrivemanufacturesatpresent.如何理解臟污對產(chǎn)品的危害????各類軟硬件故障,引起磁頭、硬盤失效,最嚴重的危害是:導(dǎo)致客戶不滿和失去信心!Whenerrorratesgettoohightobecompensatedbyerrorcorrectioncodes,orwhendrivesfail,wehavedissatisfiedcustomers,Notagoodthing!Whendrivesarereturnedandmustbereplaced,thatisamatterof$$$.光學(xué)粒子計數(shù)儀Particlecount液體粒子計數(shù)儀Liquidparticlecount離子色譜儀
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