中微南昌刻蝕研發(fā)清洗設(shè)備項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表

建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表）： —98專業(yè)實(shí)驗(yàn)室、研發(fā)目/否2））； 海洋直接向海排放污染物的海洋工程建設(shè)項(xiàng)目。不涉及不展開(kāi) 瑤湖北岸組團(tuán)電子信息和生物醫(yī)藥屬于園區(qū)的優(yōu)緊依靠?jī)?yōu)勢(shì)產(chǎn)業(yè)為園區(qū)強(qiáng)化下游產(chǎn)根據(jù)國(guó)家相）；[2008]58號(hào)文中的高污規(guī)、政策的藥品研發(fā)、生產(chǎn)項(xiàng)目；政策中淘汰類的項(xiàng)目。源的項(xiàng)目，其風(fēng)險(xiǎn)源距離周邊居民區(qū)、學(xué)校等敏在符合各項(xiàng)環(huán)保要求的前提下做大做強(qiáng)產(chǎn)品延形成精深產(chǎn)本項(xiàng)目位于江西省南昌市南昌高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開(kāi)發(fā)區(qū)光電路劃許可證（地字第360100202000007G用地文件見(jiàn)附件三析一、與《鼓勵(lì)外商投資產(chǎn)業(yè)目錄（2022年版）》、《產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整指導(dǎo)目錄（2019年本及2021修訂版）》相符性件（項(xiàng)目統(tǒng)一代碼為：2310-360198-04-01-508087）。因此，該項(xiàng)項(xiàng)目選址于江西省南昌市南昌高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開(kāi)發(fā)區(qū)光電路本項(xiàng)目選址不屬于生活飲用水源和地下水補(bǔ)給區(qū)、風(fēng)景名勝），表1-3與《揮發(fā)性有機(jī)物（VOCs）污染防治技術(shù)政策揮發(fā)性有機(jī)物（VOCs）污染防治技術(shù)政策制含VOCs產(chǎn)品的使用過(guò)程中，應(yīng)采率，減少?gòu)U氣的無(wú)組織排放與逸本項(xiàng)目含VOCs物后通過(guò)一根26m高用體技術(shù)或紫外光高級(jí)氧化技術(shù)等性代通過(guò)使用水性、粉末、高固體分、無(wú)溶劑、輻射固化等低VOCs含量的涂料，水性、輻射固化、植物基等低VOCs含量的油墨，水基、熱熔、無(wú)溶劑、輻射固化、改性、生物降解等低VOCs含量的膠粘劑，以及低VOCs含量、低反應(yīng)活性的膠粘劑、清洗劑等，從源頭減少行業(yè)要加大源頭替代力度；化工行業(yè)要推廣使用低（無(wú)）VOCs含量、低反應(yīng)活性的原輔材料，加快對(duì)芳香烴、含鹵素有機(jī)化合物的綠色替代。企業(yè)應(yīng)大力推廣使用低VOCs含量木器涂料、車輛涂料、機(jī)械設(shè)備涂料、集裝箱涂料以及建筑物和構(gòu)筑物防護(hù)涂料等，在技術(shù)成熟的行業(yè)，推廣使用低VOCs含量油墨前基本完成。鼓勵(lì)加快低VOCs含量涂料、油墨、膠粘劑等研發(fā)和生的含VOCs物料制敞開(kāi)液面逸散以及工藝過(guò)程等五類排放源實(shí)施管控，通過(guò)采取設(shè)備與場(chǎng)所密閉、工藝改進(jìn)、廢氣有效收物料應(yīng)儲(chǔ)存于密閉容器、包裝袋，高效密封儲(chǔ)罐，封閉式儲(chǔ)庫(kù)、料倉(cāng)等。封閉式儲(chǔ)庫(kù)、料倉(cāng)等含VOCs物料轉(zhuǎn)移和輸送，應(yīng)采用密閉管道或密閉容器、罐車等。含VOCs物料生產(chǎn)和使用過(guò)程，應(yīng)采取有效收分質(zhì)收集”的原則，科學(xué)設(shè)計(jì)廢氣收集系統(tǒng)，將無(wú)組織排放轉(zhuǎn)變?yōu)橛薪M織排放進(jìn)行控制。采用全密閉集氣罩或密閉空間的，除行業(yè)有特殊要求外，應(yīng)保持微負(fù)壓狀態(tài)，并根通過(guò)采用全密閉、連續(xù)化、自動(dòng)化等生產(chǎn)技術(shù)，以及高效工藝與設(shè)備等，減少工藝過(guò)程無(wú)組織排放。工業(yè)涂裝行業(yè)重點(diǎn)推進(jìn)使用緊湊式涂熱噴涂等涂裝技術(shù)，鼓勵(lì)企業(yè)采用自動(dòng)化、智能化噴涂設(shè)備替代人工推進(jìn)企業(yè)新建治污設(shè)施或?qū)ΜF(xiàn)有治污設(shè)施實(shí)施改造，應(yīng)依據(jù)排放廢氣壓力，以及生產(chǎn)工況等，合理選擇治理技術(shù)。鼓勵(lì)企業(yè)采用多種技術(shù)低濃度、大風(fēng)量廢氣，宜采用沸石轉(zhuǎn)輪吸附、活性炭吸附、減風(fēng)增濃等濃縮技術(shù)，提高VOCs濃度后凈化處理；高濃度廢氣，優(yōu)先進(jìn)行溶劑回收，難以回收的，宜采用高溫通過(guò)計(jì)量泵打且產(chǎn)生的EKC性炭吸附裝置”處理后通過(guò)一根26m高排氣實(shí)行重點(diǎn)排放源排放濃度與去除效率雙重控制。車間或生產(chǎn)設(shè)施收集等于2千克/小時(shí)的，應(yīng)加大控制力度，除確保排放濃度穩(wěn)定達(dá)標(biāo)外，還應(yīng)實(shí)行去除效率控制，去除效率不低于80%；采用的原輔材料符合國(guó)家有關(guān)低VOCs含量產(chǎn)品規(guī)定的除外，有行業(yè)排放標(biāo)準(zhǔn)的按其相關(guān)本項(xiàng)目VOCs初始排放速率為小于2kg/h，經(jīng)廢氣處理設(shè)施處理后排放濃射固化等低VOCs含量的涂料替代本項(xiàng)目含VOCs物料有含VOCs產(chǎn)品、含VOCs廢料以及有以及工藝過(guò)程等五類排放源實(shí)施管改進(jìn)、廢氣有效收集等措施，削減企業(yè)新建治污設(shè)施或現(xiàn)有治污設(shè)施廢氣的產(chǎn)生量、污染物的組分和性治理設(shè)備必須同時(shí)設(shè)置前置采樣口用活性炭吸附工藝進(jìn)行實(shí)施企業(yè)精細(xì)化管控。督促企業(yè)將動(dòng)態(tài)檔案、制定泄漏檢測(cè)與修復(fù)和處置措施，納入企業(yè)應(yīng)急預(yù)案體檢修等）報(bào)告與備案的環(huán)保管理規(guī)15.1.1VOCs物料應(yīng)儲(chǔ)存于密閉本項(xiàng)目擬采用的本項(xiàng)目檢驗(yàn)完成物料進(jìn)行加蓋后25.1.2盛裝VOCs物料的容器或?qū)Ｓ脠?chǎng)地。盛裝VOCs物料的容器或包裝袋在非取用狀態(tài)時(shí)應(yīng)36.1.1液態(tài)VOCs物料應(yīng)采用密式轉(zhuǎn)移液態(tài)VOCs物料時(shí)，應(yīng)采本項(xiàng)目擬采用的4液態(tài)VOCs物料應(yīng)采用密閉管道應(yīng)排至VOCs廢氣收集處理系本項(xiàng)目溶液是通過(guò)計(jì)量泵打入清“兩級(jí)活性炭吸過(guò)一根26m高排放。57.2.1VOCs質(zhì)量占比大于等于程應(yīng)采用密閉設(shè)備或在密閉空間內(nèi)操作，廢氣應(yīng)排至VOCs廢應(yīng)采取局部氣體收集措施廢氣應(yīng)排至VOCs廢氣收集處理系68.1企業(yè)中載有氣態(tài)VOCs物料、液態(tài)VOCs物料的設(shè)備與管線組件的密封點(diǎn)>2000個(gè)，應(yīng)開(kāi)展泄漏檢測(cè)與修710.3.2收集的廢氣中NMHC初始排放速率>3kg/h時(shí)，應(yīng)配置VOCs處理設(shè)施，處理效率不應(yīng)廢氣中NMHC初始排放速率用的原輔材料符合國(guó)家有關(guān)低本項(xiàng)目產(chǎn)生的總811.1企業(yè)邊界及周邊VOCs監(jiān)控要求執(zhí)行GB16297或相關(guān)行業(yè)排放標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定。廠區(qū)內(nèi)VOCs無(wú)組織排放監(jiān)控要求——性有機(jī)物無(wú)組織排放控制標(biāo)準(zhǔn)》排放限值——廠房外監(jiān)控點(diǎn)處VOCs(以NMHC計(jì))的h平均濃七、與《2020年揮發(fā)性有機(jī)物治理攻堅(jiān)方案》符合性分析根據(jù)《2020年揮發(fā)性有機(jī)物治理攻堅(jiān)方案》中提到：一、大氣管道收集至“兩級(jí)活性炭吸附裝置（處理效率取51%）”處理后通過(guò)一根26m高排氣筒排放，收集效率可達(dá)90%。本項(xiàng)目有機(jī)廢氣排放能滿足《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB16297-1996）綜上，本項(xiàng)目與《2020年揮發(fā)性有機(jī)物治理攻堅(jiān)方案》的相1實(shí)驗(yàn)室單位應(yīng)建立有機(jī)溶劑使凈化裝置，減少VOCs排放，防止污染周邊環(huán)境。產(chǎn)生VOCs廢氣應(yīng)進(jìn)行收集，排放至VOCs廢項(xiàng)目擬建立有機(jī)溶劑使用登記和過(guò)程中產(chǎn)生的有機(jī)廢氣通過(guò)集氣的有機(jī)廢氣經(jīng)兩級(jí)活性炭吸附裝置處理后通過(guò)一根26m高排氣筒2實(shí)驗(yàn)室有組織VOCs宜經(jīng)過(guò)凈化處理后方可排放。綜合考慮場(chǎng)宜地采用有效的VOCs凈化裝均儲(chǔ)存于密閉容是通過(guò)計(jì)量泵打有機(jī)廢氣經(jīng)集氣活性炭吸附裝置”處理后通過(guò)一根26m高排氣筒排3廢氣收集和凈化裝置應(yīng)保證與活性炭吸附裝置結(jié)束后繼續(xù)開(kāi)啟驗(yàn)操作同時(shí)正常4有機(jī)溶劑及其廢液應(yīng)儲(chǔ)存在專密閉儲(chǔ)存于包裝5有機(jī)溶劑年使用量≤0.1噸的實(shí)項(xiàng)目有機(jī)溶劑使項(xiàng)目各溶液是通過(guò)計(jì)量泵打入設(shè)體安裝廢氣收集6實(shí)驗(yàn)室單元在保障安全的情況項(xiàng)目采用兩級(jí)活性炭吸附裝置對(duì)7凈化裝置應(yīng)在產(chǎn)生VOCs的實(shí)驗(yàn)活性炭吸附裝置在進(jìn)行檢測(cè)前開(kāi)后繼續(xù)開(kāi)啟十分置運(yùn)行過(guò)程中發(fā)項(xiàng)目擬配備專人對(duì)活性炭吸附裝置的管理進(jìn)行管護(hù)和操作規(guī)程及指南要求填寫記行更換時(shí)一并進(jìn)本項(xiàng)目設(shè)置了一根26m高的排氣項(xiàng)目廢活性炭更換后暫存于危險(xiǎn)有資質(zhì)的單位處GB18597等危險(xiǎn)廢物貯存、轉(zhuǎn)凈化裝置的管理應(yīng)納入實(shí)驗(yàn)室操作規(guī)程，明確設(shè)施的檢查周制度，按指南要求填寫記錄內(nèi)98境空氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》(GB3095-2012)及其修改單中二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)；水環(huán)境市生態(tài)環(huán)境局關(guān)于印發(fā)南昌市生態(tài)環(huán)境總體要求及環(huán)境管控單元表1-8與《南昌市生態(tài)環(huán)境總體準(zhǔn)入要維度空間布局約束要求爐省級(jí)批準(zhǔn)的港口總體規(guī)劃的碼頭項(xiàng)目及其優(yōu)化調(diào)整VOCs排放產(chǎn)業(yè)布局，原則上中心區(qū)城內(nèi)不得再新建和擴(kuò)建VOCs排放量大的得新建落后產(chǎn)能或產(chǎn)能嚴(yán)重過(guò)剩行業(yè)的建業(yè)求離不能滿足相關(guān)要求和不符合規(guī)劃的現(xiàn)有二級(jí)保護(hù)區(qū)內(nèi)已建成的排放污染物的建設(shè)業(yè)企業(yè)限期退出；城市建成區(qū)內(nèi)的現(xiàn)有建化工等污染較重或嚴(yán)重影響環(huán)境的企業(yè)應(yīng)滿足要求的污染企業(yè)一律依法實(shí)施停產(chǎn)整污染物排放管控求重點(diǎn)防控的重金屬污染物排放總量控制制縣城及以上城鎮(zhèn)生活污水處理廠執(zhí)行一級(jí)A環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)防控廢氣為EKC），求資源利用效率要求南昌市城區(qū)用水總量、萬(wàn)元GDP用水量、萬(wàn)元工業(yè)增加值用水量執(zhí)行省級(jí)下達(dá)的管/求//表1-9環(huán)境管控單元準(zhǔn)入清單無(wú)/生物醫(yī)藥產(chǎn)業(yè)，重點(diǎn)發(fā)展綠色、低碳的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)、光伏產(chǎn)業(yè)作為規(guī)劃發(fā)展產(chǎn)業(yè)，企業(yè)屬于電子電工信息行業(yè)，本項(xiàng)目屬于其中的試驗(yàn)部分，符合園區(qū)產(chǎn)業(yè)定位。居民居住區(qū)的大氣污染型項(xiàng)目其污染物排在瑤湖水域范圍內(nèi)新合城市土地利用規(guī)劃的企業(yè)應(yīng)逐步搬遷至園區(qū)內(nèi)相應(yīng)產(chǎn)業(yè)園區(qū)滿足空間布局要控造業(yè)應(yīng)提高有機(jī)廢氣收瑤湖污水處理廠和航空城污水處理廠應(yīng)加裝印刷等重點(diǎn)行新增產(chǎn)能和淘汰產(chǎn)能置換”或者“減量置染物排放量應(yīng)符合南昌市污染物排放總量值染物排放應(yīng)達(dá)到相應(yīng)行業(yè)排放標(biāo)準(zhǔn)中特別求無(wú)/求無(wú)/（建設(shè)用無(wú)/及產(chǎn)生大量廢水的生因事故廢水直排污染廢物(含危險(xiǎn)廢物)的用、處置固體廢物(含危險(xiǎn)廢物)過(guò)程中，應(yīng)防滲漏及其他防止污頭應(yīng)強(qiáng)化危險(xiǎn)化學(xué)品），求無(wú)/求無(wú)/無(wú)/無(wú)/本項(xiàng)目符合環(huán)境管控單元準(zhǔn)入清單中要求，故為允許建設(shè)項(xiàng)昌市生態(tài)環(huán)境局關(guān)于印發(fā)南昌市生態(tài)環(huán)境總體要求及環(huán)境管控單元生態(tài)環(huán)境準(zhǔn)入清單的通知》（洪環(huán)發(fā)[20建設(shè)內(nèi)容半導(dǎo)體設(shè)備的生產(chǎn)、研發(fā)、銷售等，《中微南昌產(chǎn)業(yè)化基地項(xiàng)目》于2021年5月31日取得由南昌高新區(qū)管委會(huì)城市管理局出具的環(huán)評(píng)批復(fù)（洪高新管城管審），本項(xiàng)目屬于四十五、研究和試驗(yàn)發(fā)展—98專業(yè)實(shí)驗(yàn)室、研發(fā)（試驗(yàn)）基地—其），本項(xiàng)目依托現(xiàn)有項(xiàng)目已建建筑1#生產(chǎn)廠房位于現(xiàn)有項(xiàng)目現(xiàn)有項(xiàng)目中Etch設(shè)備研發(fā)共有10個(gè)研發(fā)工位，主要目的是提高設(shè)備性能和模塊效率，研發(fā)過(guò)程中需將基片放置在Etch設(shè)表2-3主要原輔材料一覽表序號(hào)1/23456/注：本項(xiàng)目溶液加入到清洗設(shè)備中進(jìn)行清洗，共有3臺(tái)清洗設(shè)備，在本項(xiàng)目原輔料理化性質(zhì)見(jiàn)表2-4，EKC主要組分情況見(jiàn)表2-4本項(xiàng)目原輔料理化性質(zhì)一氣味。具有極強(qiáng)的腐蝕性，能強(qiáng)烈地腐蝕金屬、玻2-氨基乙醇25%~50%水表2-6主要設(shè)備一覽表1234567七、勞動(dòng)定員及工作制度污水處理站處理達(dá)《電子工業(yè)水污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB39731-2020）中“半導(dǎo)本項(xiàng)目實(shí)驗(yàn)室位于現(xiàn)有項(xiàng)目1#生產(chǎn)廠房二樓，從工藝流程和產(chǎn)排污環(huán)節(jié)氫氟酸、硫酸、雙氧水、廢氣、酸性廢氣、清洗廢水氫氟酸、硫酸、雙氧水、廢氣、酸性廢氣、清洗廢水短，經(jīng)加強(qiáng)施工管理，文明作業(yè)等，其環(huán)境影基片清洗廢水、酸堿清洗()廢液純水清洗(旋干機(jī))(清洗后基片)后采用旋干機(jī)將基片表面的水分甩干，甩干后在三號(hào)清洗設(shè)備中加入硫酸及雙氧水（硫酸：雙氧水=5：1）。本項(xiàng)目生產(chǎn)過(guò)程 與項(xiàng)目有關(guān)的原有環(huán)境污染問(wèn)題城市管理局出具的環(huán)評(píng)批復(fù)（洪高新管城管審批了竣工環(huán)境保護(hù)驗(yàn)收（見(jiàn)附件七），一期驗(yàn)收僅驗(yàn)收現(xiàn)有項(xiàng)目的Etch設(shè)備100項(xiàng)目組成占地面積/層數(shù)/建筑材料組成說(shuō)明是否驗(yàn)收主體工程9899.62m2/3層/第1層布置MOCVD設(shè)備生產(chǎn)線及研發(fā)工位（研發(fā)工位為10個(gè)）第2層布置Etch設(shè)備生產(chǎn)線及研發(fā)工位第3層布置Scrubber設(shè)備生產(chǎn)線及研發(fā)工位（研發(fā)工位為2個(gè)）、PCBAFCT生產(chǎn)線2#生產(chǎn)10826.73m2/2層/空置，待后續(xù)規(guī)劃未驗(yàn)收3#生產(chǎn)6774.4m2/3層/鋼構(gòu)空置，待后續(xù)規(guī)劃未驗(yàn)收輔助工程綜合樓4962.8m2/5層/磚混第2-4層為辦公區(qū)；第5層為休息區(qū)域生活樓3722.65m2/6層/第1層為員工休閑泳池；第2-3層本項(xiàng)目使用；第4-6層空置，待后續(xù)規(guī)劃設(shè)置2個(gè)雨水景1#雨水景觀池位于廠區(qū)南部，2#雨水景觀池位于廠區(qū)東部地下車庫(kù)地下一層動(dòng)車位）儲(chǔ)運(yùn)工庫(kù)5650.07m2/4層/第1層本項(xiàng)目使用；第2-4層空置，待后續(xù)規(guī)劃292.41m2/1層/磚用于存放原輔材料混未驗(yàn)收，未驗(yàn)收，未驗(yàn)收，未驗(yàn)收，未驗(yàn)收，未驗(yàn)收，未驗(yàn)收，2#甲類79.91m2/1層/磚混用于存放原輔材料氨氣站105m2/1層/磚混用于存放液氨氫氧站178.2m2/1層/磚混用于存放氫氣、氮?dú)?、氬氣等硅烷?4m2/1層/磚混用于存放硅烷、三氯硅烷、二氯硅烷及研發(fā)原輔材料/依托高新區(qū)市政管道供應(yīng)/本項(xiàng)目屬于瑤湖污水處理廠接管范圍內(nèi)，廢水經(jīng)自建的污水處理設(shè)施處理后由市政管網(wǎng)排入瑤湖污水處理廠處理，最終進(jìn)入贛江南支供冷熱/供熱使用電加熱，制冷使用空調(diào)及機(jī)械氣Etch測(cè)試廢氣、PCBAFCT測(cè)試設(shè)置污水處理設(shè)施1個(gè)，處理規(guī)模為最大200t/d，工藝為：調(diào)節(jié)穩(wěn)定+中和絮凝+混凝沉淀/設(shè)備減震、隔聲一般固廢暫存庫(kù)置在丙類倉(cāng)庫(kù)西側(cè)；危險(xiǎn)廢物暫存庫(kù)占地約一般固廢暫存庫(kù)、危險(xiǎn)廢物暫存庫(kù)環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)位于廠區(qū)2#廠房北側(cè)，最大容積約收收建建/一致收/收/收表2-10項(xiàng)目主要設(shè)備一覽表對(duì)應(yīng)產(chǎn)節(jié)主要生產(chǎn)單元主要對(duì)應(yīng)工藝生產(chǎn)設(shè)備數(shù)量（臺(tái)）/型號(hào)設(shè)施參數(shù)MOCVD生產(chǎn)及裝配裝配整體安裝平臺(tái)2/薄膜制化學(xué)氣X射線衍射3/Panalytics/暫未驗(yàn)收快速圖譜儀/Etch生產(chǎn)及研發(fā)Scrubber生產(chǎn)及備相沉積2/微明LED-617/暫未驗(yàn)收暫未驗(yàn)收暫未驗(yàn)收暫未驗(yàn)收暫未驗(yàn)收暫未驗(yàn)收暫未驗(yàn)收暫未驗(yàn)收暫未驗(yàn)收暫未驗(yàn)收暫未驗(yàn)收暫未驗(yàn)收暫未驗(yàn)收原子力顯微鏡BrukeDimensionEdge/氣體測(cè)漏儀2/Inficon/顆粒掃描分析儀/方塊電阻測(cè)試儀/3/中微上海/SiC外延設(shè)備2/中微上海鍍膜速度（片/h）藍(lán)綠光外延設(shè)備4/中微上海鍍膜速度（片/h）紅黃光外延設(shè)備4/中微上海鍍膜速度（片/h）ECODry干式4/CS200PD/氣處理2/ECOHeat1000/等離子電燒尾氣處理/氯氣烤爐1/NoritakeNBC800/裝配裝配整體安裝平臺(tái)4/刻蝕干法刻蝕Etch研發(fā)設(shè)備10/中微上?？涛g速度（片/h）真空泵30/國(guó)產(chǎn)品牌/氦氣檢漏設(shè)備8/Inficon/顆粒計(jì)數(shù)儀/4/KLA-TencorSP1/全自動(dòng)電子料件料倉(cāng)2/4/原子力顯微鏡1/光譜橢圓儀1/裝配裝配整體安裝平臺(tái)4/廢氣處理系統(tǒng)廢氣處理系統(tǒng)傅里葉紅外光1/MKSMultiGas?FTIRGasAnalyzer-6030/PTM91117122/燃?xì)馐綇U氣安3/中微上海處理能力（m3/h）等離子式廢氣3/中微上海處理能力（m3/h）冷卻機(jī)2/暫未驗(yàn)收配電柜1/暫未驗(yàn)收變壓配電柜1/暫未驗(yàn)收真空泵及尾氣1/暫未驗(yàn)收特氣混合腔體及組件1/暫未驗(yàn)收PCBAFCT生產(chǎn)裝配裝配焊接設(shè)備2/寶工SS-989H/高低溫烘箱/恒溫恒濕箱1/可編程電源1/R&SHMP2030/示波器1/組裝臺(tái)6/程供水系統(tǒng)純水制備與供應(yīng)設(shè)施純水供應(yīng)設(shè)備1/環(huán)保工程污水處理系統(tǒng)廠區(qū)廢水處理站廠區(qū)廢水處理站1/原料名稱規(guī)格型號(hào)或說(shuō)明年耗量轉(zhuǎn)運(yùn)/包裝產(chǎn)Etch零部件由外部廠家提供汽車/紙盒或CF4（四氟化汽車/瓶裝SF6（六氟化汽車/瓶裝暫未驗(yàn)收C4F8（八氟環(huán)汽車/瓶裝汽車/瓶裝MOCVDScrubberPCBAFCT生產(chǎn)MOCVD發(fā)件由外部廠家提供汽車/紙盒或暫未驗(yàn)收暫未驗(yàn)收暫未驗(yàn)收暫未驗(yàn)收暫未驗(yàn)收暫未驗(yàn)收暫未驗(yàn)收暫未驗(yàn)收暫未驗(yàn)收暫未驗(yàn)收暫未驗(yàn)收暫未驗(yàn)收暫未驗(yàn)收暫未驗(yàn)收暫未驗(yàn)收暫未驗(yàn)收暫未驗(yàn)收暫未驗(yàn)收暫未驗(yàn)收暫未驗(yàn)收暫未驗(yàn)收暫未驗(yàn)收暫未驗(yàn)收暫未驗(yàn)收暫未驗(yàn)收暫未驗(yàn)收暫未驗(yàn)收暫未驗(yàn)收暫未驗(yàn)收Scrubber零部件由外部廠家提供汽車/紙盒或管道供應(yīng)管道供應(yīng)PCBAFCT零由外部廠家提供汽車/紙盒或無(wú)鉛錫條/汽車/紙盒石墨盤外部廠家提供汽車/紙盒藍(lán)寶石襯底汽車/紙盒硅片襯底汽車/紙盒砷化鎵襯底汽車/紙盒磷化銦襯底汽車/紙盒HCl（氣體）1汽車/瓶裝汽車/瓶裝0.03汽車/瓶裝0.02汽車/瓶裝汽車/瓶裝硅烷氫汽車/瓶裝0.05汽車/瓶裝汽車/瓶裝汽車/瓶裝二氯硅烷汽車/瓶裝三氯氫硅汽車/瓶裝汽車/瓶裝汽車/瓶裝汽車/瓶裝異丙醇汽車/瓶裝0.06汽車/瓶裝汽車/瓶裝汽車/瓶裝雙氧水汽車/瓶裝磷化氫0.45汽車/瓶裝砷化氫2汽車/瓶裝汽車/紙盒CF4（四氟化0.05汽車/瓶裝0.06汽車/瓶裝CHF3（三氟99.999%，液態(tài)0.CHF3（三氟99.999%，液態(tài)0.1汽車/瓶裝暫未驗(yàn)收氯氣99.999%，氣態(tài)0.02汽車/瓶裝暫未驗(yàn)收SiF4（四氟化99.999%，液態(tài)0.02汽車/瓶裝暫未驗(yàn)收ScrubberScrubber安裝件外部廠家提供汽車/紙盒或暫未驗(yàn)收CF4（四氟化汽車/瓶裝暫未驗(yàn)收SF6（六氟化汽車/瓶裝暫未驗(yàn)收SiH4（硅烷）0.02汽車/瓶裝暫未驗(yàn)收管道供應(yīng)200m3管道供應(yīng)暫未驗(yàn)收現(xiàn)有項(xiàng)目勞動(dòng)定員為400人，其中生產(chǎn)技術(shù)人員370人，技術(shù)管理人員302）通過(guò)組裝平臺(tái)進(jìn)行組裝拼接，組裝過(guò)程通過(guò)組裝平臺(tái)進(jìn)行自動(dòng)安裝。安觸面及鄰近區(qū)域產(chǎn)生的高頻電阻熱進(jìn)行焊接的方法。阻焊的優(yōu)點(diǎn)在于加熱時(shí)間3）組裝完成后需進(jìn)行測(cè)試，測(cè)試完成后方可包裝外售。測(cè)試分為操作模塊4）因本項(xiàng)目生產(chǎn)的Etch設(shè)備為干式刻蝕設(shè)備，因此在性能模塊測(cè)試中需通過(guò)二級(jí)尾氣處理（Scrubber尾氣處理+1#堿吸收塔）后通過(guò)1#生產(chǎn)廠房頂部的1#2）通過(guò)組裝平臺(tái)進(jìn)行組裝拼接，組裝過(guò)程通過(guò)組裝平臺(tái)進(jìn)行自動(dòng)安裝。安裝過(guò)程中會(huì)涉及各部件之間的焊接相連，使用全自觸面及鄰近區(qū)域產(chǎn)生的高頻電阻熱進(jìn)行焊接的方法。阻焊的優(yōu)點(diǎn)在于加熱時(shí)間3）組裝完成后需進(jìn)行測(cè)試，測(cè)試完成后方可包裝外售。測(cè)試為操作模塊測(cè)設(shè)備分為兩種：等離子式Scrubber和燃燒式Scru2）通過(guò)組裝平臺(tái)進(jìn)行組裝拼接，組裝過(guò)程通過(guò)組裝平臺(tái)進(jìn)行自動(dòng)安裝。安裝過(guò)程中會(huì)涉及各部件之間的焊接相連，使用全自動(dòng)①對(duì)于等離子式Scrubber：測(cè)試為操作模塊測(cè)試，即通電后通過(guò)操作電子軟②對(duì)于燃燒式Scrubber：測(cè)試分為操作模塊測(cè)試和性能模塊測(cè)試，其中操作模塊測(cè)試和等離子式Scrubber設(shè)備測(cè)試一致，性能模塊測(cè)試需使用少量的測(cè)試核心點(diǎn)火模塊，如操作模塊測(cè)試不合格則重新返該步驟會(huì)產(chǎn)生Scrubber測(cè)試廢氣，主要為天然氣燃燒后產(chǎn)生的煙塵、SO2、2）通過(guò)組裝平臺(tái)進(jìn)行部件組裝、調(diào)試。在零部件組裝過(guò)程中部分電氣件安3）部件組裝完成后進(jìn)行總裝調(diào)試，總裝調(diào)試4）對(duì)調(diào)試組裝好的設(shè)備進(jìn)行性能測(cè)試，內(nèi)容主要針對(duì)電板測(cè)試性能進(jìn)行測(cè)2）刻蝕基片進(jìn)行檢測(cè)，根據(jù)檢測(cè)反饋結(jié)果調(diào)節(jié)EtcCF4+SiO2=SiF4+CO2；4CHF3+現(xiàn)有項(xiàng)目MOCVD設(shè)備研發(fā)工藝分三種，共設(shè)藍(lán)綠光外延片研發(fā)工位、4個(gè)紅黃光外延片研發(fā)工位和2個(gè)碳化硅外延片研發(fā)工），Ga(CH3)3+NH3→GaN+3CGa(CH3)3+In(CH3)3+2NH3→InGaN+6CH4↑Ga(CH3)3+Al(CH3)3+2NH3→AlGaN+6CH4↑⑥使用硫酸、鹽酸、氨水、異丙醇、雙氧水等①使用砷化鎵襯底、磷化銦襯底裝入石墨盤中，準(zhǔn)A、長(zhǎng)N型AlGaAs/AlAs：在緩沖層表面成長(zhǎng)多層約2μm厚的N型AlGaAs/AlAs反射鏡，此層主要為提供輻射復(fù)合產(chǎn)生之光子借由該鏡面反射增加外，因此層Al組分較高，對(duì)載流子起到限制的作用，可明顯提高發(fā)光效率。將⑥使用硫酸、鹽酸、氨水、異丙醇、雙氧水等2SiHCl3+C2H4→2SiC+6HCl⑥使用硫酸、鹽酸、氨水、異丙醇、雙氧水等需求的客戶進(jìn)行定制化研發(fā)生產(chǎn)。本項(xiàng)目設(shè)置2個(gè)Scrubber研發(fā)工位。進(jìn)行設(shè)備處理性能測(cè)試，測(cè)試完成后對(duì)尾氣成分進(jìn)行分析，根據(jù)反饋結(jié)果對(duì)現(xiàn)有項(xiàng)目采取的純水制備方法為離子交換法，離子交換樹(shù)脂濾芯的工作流根據(jù)現(xiàn)有項(xiàng)目環(huán)保驗(yàn)收監(jiān)測(cè)報(bào)告，項(xiàng)目廠區(qū)污水總 表2-13項(xiàng)目廠區(qū)污水總排放口監(jiān)測(cè)結(jié)果一覽表 廢氣1、PCBAFCT測(cè)試板焊接煙塵藍(lán)綠光研發(fā)廢氣主要來(lái)自MOCVD藍(lán)綠光的研發(fā)過(guò)程，年工作時(shí)間3000?。?，表2-14現(xiàn)有項(xiàng)目藍(lán)綠光研發(fā)廢氣產(chǎn)排情況一覽表物度mg/m3NH3物天，日工作10小時(shí)）。根據(jù)現(xiàn)有項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表中的分析，石墨表2-15現(xiàn)有項(xiàng)目石墨盤回收廢氣產(chǎn)排情況一覽表物度mg/m3紅黃光研發(fā)廢氣主要來(lái)自MOCVD紅黃光的），境影響報(bào)告表中的分析，紅黃光研發(fā)廢氣中表2-16現(xiàn)有項(xiàng)目紅黃光研發(fā)廢氣產(chǎn)排情況一覽表物度mg/m3AsH3物SiC研發(fā)廢氣主要來(lái)自MOCVD碳化硅的研發(fā)過(guò)程，年工作時(shí)間3000小時(shí)物度mg/m3理+1#噴淋吸收塔+一根26m高日工作10小時(shí)）。根據(jù)現(xiàn)有項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表中的分析，ECl2的產(chǎn)生量為20kg/a、BCl3的產(chǎn)生量為60kg/h。Etch研發(fā)廢氣2經(jīng)收集后由物度堿吸收塔+一根//////（6）Scrubber測(cè)試廢氣（G10）、Scrubber研發(fā)廢氣（G11）——天然氣燃點(diǎn)火核心測(cè)試，天然氣最大用量為300m3/a。根據(jù)現(xiàn)有項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表中的Scrubber研發(fā)廢氣主要來(lái)自Scrubber設(shè)備研發(fā)過(guò)程，通入CF4、SF6、SiH4等氣體進(jìn)行設(shè)備處理性能測(cè)試，年工作時(shí)間約1000小時(shí)。根據(jù)現(xiàn)有項(xiàng)目環(huán)境影研發(fā)廢氣經(jīng)收集后由Scrubber處理+1#堿吸收塔處理后通過(guò)一根26m高排氣筒表2-19現(xiàn)有項(xiàng)目Scrubber研發(fā)廢氣產(chǎn)排情況一覽表物度mg/m3物堿吸收塔+一根Etch測(cè)試廢氣、Etch研發(fā)廢氣1、PCBAFCT測(cè)試板焊接煙塵收集后由Scrubber處理+1#堿吸收塔處理后通過(guò)一根26m高排氣筒（DA001）排放，均在表2-20有組織廢氣排放監(jiān)測(cè)結(jié)果一覽表A1#DA001排氣筒（25m）123是是是是123是是是是板焊接煙塵中顆粒物的排放量為4.92t/a、氟化物的排放量為0.161t/a（均取最大值，年工作時(shí)間為3000h）。且顆粒物、氟化物排放均滿足《大氣污染物綜合排現(xiàn)有項(xiàng)目在設(shè)備制造和研發(fā)過(guò)程中各類氣體均通過(guò)氣體分配系統(tǒng)通過(guò)管道表2-21項(xiàng)目無(wú)組織工藝廢氣污染物產(chǎn)排情況根據(jù)現(xiàn)有項(xiàng)目環(huán)保驗(yàn)收監(jiān)測(cè)報(bào)告，項(xiàng)目廠界噪表2-22噪聲監(jiān)測(cè)結(jié)果單位：Leq[dB（A）]表2-23固體廢物產(chǎn)生與處置情況一覽表序號(hào)123456789（紅黃光MOCVD研發(fā)部件3桶1三、現(xiàn)有項(xiàng)目主要污染排放情況及處理措施匯總表2-24現(xiàn)有項(xiàng)目主要污染排放情況及處理措施一覽表廢水pH廢氣NH3+2#酸淋吸收塔+一根AsH3高排氣筒（DA001）NOx塵固體廢物廢零部件（Etch設(shè) FCT測(cè)試板制造）在線收集的焊接煙0.002t/a外售綜合處理 區(qū)域環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀項(xiàng)目所在區(qū)域環(huán)境質(zhì)量達(dá)標(biāo)情況，同時(shí)需調(diào)查評(píng)價(jià)范圍內(nèi)有環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)的評(píng)價(jià)因子的環(huán)境質(zhì)量監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)或進(jìn)行補(bǔ)充監(jiān)測(cè)，用于評(píng)價(jià)項(xiàng)目所在區(qū)域污染物環(huán)境質(zhì)現(xiàn)狀濃度/(μg/m3）/%162NO23PM104PM2.556本項(xiàng)目排放的特征污染物為非甲烷總烴、硫酸霧，根據(jù)生態(tài)環(huán)境部環(huán)境工程境》（HJ2.2-2018）要求開(kāi)展相關(guān)監(jiān)測(cè)工作。如判定為無(wú)需開(kāi)展大氣專項(xiàng)評(píng)價(jià)，②技術(shù)指南中提到“排放國(guó)家、地方環(huán)境空氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)中有標(biāo)準(zhǔn)限值要求的放標(biāo)準(zhǔn)詳解》等導(dǎo)則或參考資料。排放的特征污染物需要在國(guó)家、地方環(huán)境空氣硫酸霧不在《環(huán)境空氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》（GB3095）標(biāo)準(zhǔn)中本項(xiàng)目納污水體為贛江南支，為了解地表水環(huán)境現(xiàn)狀，本次評(píng)價(jià)調(diào)查了南昌市生態(tài)環(huán)境局發(fā)布的《2023年9月南昌市地表水水質(zhì)狀況報(bào)告》（網(wǎng)址：/ncgbj/dbsjjzsyysyd/202310/3b4a76bc87a941cf9be1df0b表水環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》（GB3838-2002）表1基本項(xiàng)目（24項(xiàng)）準(zhǔn)為《地表水環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》（GB3838-2002）表3-42022年9月南昌市地表水（贛江南支）水質(zhì)監(jiān)測(cè)評(píng)價(jià)結(jié)果一覽表質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》（GB3838-2002）Ⅳ類水域水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)，本次評(píng)價(jià)引用現(xiàn)有項(xiàng)目環(huán)保驗(yàn)收監(jiān)測(cè)報(bào)告中的噪聲監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)，項(xiàng)目廠界噪聲表3-22噪聲監(jiān)測(cè)結(jié)果單位：Leq[dB（A）]監(jiān)測(cè)方位方位2023.3.6現(xiàn)狀值均符合《聲環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》（GB3096-2結(jié)合《建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表編制技術(shù)指南（污染影響類）》（試行綜上所述，項(xiàng)目選址周邊環(huán)境空氣質(zhì)量、地表水環(huán)境質(zhì)量、聲環(huán)境質(zhì)量符合環(huán)境保護(hù)目標(biāo)主要環(huán)境保護(hù)目標(biāo)（列出名單及保護(hù)級(jí)別）：根據(jù)現(xiàn)場(chǎng)勘查，建設(shè)項(xiàng)目周邊環(huán)境保護(hù)居民示意圖見(jiàn)附圖二，項(xiàng)目區(qū)域周邊/mXY境///境////注：以項(xiàng)目中心為坐標(biāo)原點(diǎn)（0,0），地理坐標(biāo)為E：116°3′56.污染物排放控制標(biāo)準(zhǔn)嚴(yán)值后排入園區(qū)污水處理廠，經(jīng)污水處理廠深度處理后達(dá)到《城鎮(zhèn)污水處理廠污污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》pH值551---項(xiàng)目運(yùn)營(yíng)期清洗廢氣（非甲烷總烴、硫酸霧、氟化物）執(zhí)行《大氣污染物綜區(qū)內(nèi)任意點(diǎn)揮發(fā)性有機(jī)物執(zhí)行《揮發(fā)性有機(jī)物無(wú)組織排放控制標(biāo)準(zhǔn)》NMHC一般固體廢物執(zhí)行《一般工業(yè)廢棄物貯存和填埋污染控制標(biāo)準(zhǔn)》總量控制指標(biāo)COD考核指標(biāo)：647.406×40.160×10-6=0.026t/aCOD總量控制指標(biāo)：647.406×40.160×10-6=0.026t/a；NH3-N考核指標(biāo)：647.406×0.927×10-6=0.0006t/a。NH3-N總量控制指標(biāo)：647.406×0.927×10-6=0.0006t/a。綜上所述，本項(xiàng)目COD總量控制指標(biāo)：0.026t/a；NH3-N總量控制指標(biāo)為0.0006t/a。本項(xiàng)目廢氣污染物（VOCs）主要來(lái)自EKC廢氣。VOCs產(chǎn)排量：產(chǎn)生量為：1.391×10%=0.097t/a排放量為：0.097t/a×90%×（1-51%）=0.043t/a即本項(xiàng)目VOCs的總量控制指標(biāo)為0.043t/a。三、擴(kuò)建后全廠總量控制指標(biāo)表2-2擴(kuò)建后全廠總量控制指標(biāo)擴(kuò)建后全廠總量控制指標(biāo)NH3-NVOCs0砷0施工期環(huán)境保護(hù)措施短，經(jīng)加強(qiáng)施工管理，文明作業(yè)等，其環(huán)境影運(yùn)營(yíng)期環(huán)境影響和保護(hù)措施中，溶液使用過(guò)程中會(huì)揮發(fā)，本項(xiàng)目以非甲烷總烴計(jì)。EKC的使用量為1300L/a），表4-1EKC廢氣污染物產(chǎn)排情況一覽表（有組織）兩級(jí)活性炭吸附裝置+一根26m高排氣筒通越亞半導(dǎo)體有限公司年產(chǎn)9萬(wàn)片封裝基板技改項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表》中的相關(guān)），）， 表4-1酸性廢氣污染物產(chǎn)排情況一覽表（有組織） 表4-2污染物產(chǎn)排情況一覽表（無(wú)組織）根據(jù)《大氣有物質(zhì)無(wú)組織排放衛(wèi)生防護(hù)距離推導(dǎo)技術(shù)導(dǎo)則》業(yè)無(wú)組織排放的主要特征大氣有害物質(zhì)。當(dāng)前兩種污染物的等標(biāo)排放量相差在10%以內(nèi)時(shí)，需要同時(shí)選擇這兩種特征大氣有害物質(zhì)分別計(jì)算衛(wèi)生防護(hù)距離初根據(jù)上表可知，本項(xiàng)目等標(biāo)排放量最大的污染物為實(shí)表4-4衛(wèi)生防護(hù)距離計(jì)算表/m/m防護(hù)距離位于現(xiàn)有項(xiàng)目衛(wèi)生防護(hù)距離內(nèi)，綜上，全廠衛(wèi)生防護(hù)距離為廠界劃定離項(xiàng)目用地紅線最近距離約120m，即衛(wèi)生防護(hù)范圍內(nèi)無(wú)集中居民、學(xué)校、醫(yī)院表4-5大氣污染物有組織排放量核算表序號(hào)/(mg/m3)1表4-6大氣污染物無(wú)組織排放量核序號(hào)排放口產(chǎn)污環(huán)節(jié)物/(mg/m3)1實(shí)驗(yàn)室清洗烴周界廠區(qū)內(nèi)制標(biāo)準(zhǔn)》（GB37822-2019）表2霧3物表4-7大氣污染物年排放量核算表有組織排放總計(jì)硫酸霧0.004表4-8本項(xiàng)目污染源非正常排放量核算表污染源非正常排放原因污染物非正常排放濃度/(mg/m3)非正常排放速率/(kg/h)單次持續(xù)時(shí)間/h年發(fā)生頻次/次應(yīng)對(duì)措施廢氣處理設(shè)備11加強(qiáng)設(shè)備維修管理，杜絕事故環(huán)保制度等結(jié)合《排污單位自行監(jiān)測(cè)技術(shù)指南總則》（HJ819-2017），本項(xiàng)目廢氣自表4-9本項(xiàng)目廢氣自行監(jiān)測(cè)計(jì)劃表烴、硫酸烴、硫酸監(jiān)控點(diǎn)NMHC），設(shè)單位提供的經(jīng)驗(yàn)數(shù)據(jù)，本項(xiàng)目純水的使用量約為1.5m3/d（450m3/a），項(xiàng)目純水裝置的制備效率為65%，則純水裝置用水約為2.31m3/d（692.31m3/a），故產(chǎn)量為160m3/d?，F(xiàn)有項(xiàng)目純水的使用量為121.5m3/d，本項(xiàng)目純水的使用量為本項(xiàng)目清洗工藝分為溶劑清洗及純水清洗，本項(xiàng)目使用原輔料的用量見(jiàn)下水水0參考《工業(yè)源產(chǎn)排污核算方法和系數(shù)手冊(cè)》中《38-40電子電氣行業(yè)系數(shù)手表4-10清洗廢水污染物產(chǎn)生情況一施pH//建污水處理站（調(diào)節(jié)混凝沉1g/kg-原料NH3-N//注：①本項(xiàng)目廢水污染物計(jì)算時(shí)，原料用量按氫氟酸、硫酸、雙氧水使用量中物質(zhì)總量②氟化物的產(chǎn)生量由本項(xiàng)目原輔料中49%氫氟酸用量計(jì)算得出，氫氟酸中2%揮發(fā)至廢氣），③硫酸鹽的產(chǎn)生量由本項(xiàng)目原輔料中98%硫酸用量計(jì)算得出，硫酸中2%揮發(fā)至廢氣中， ），本項(xiàng)目清洗廢水經(jīng)廠區(qū)自建污水處理站處理達(dá)《電子工業(yè)水污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB39731-2020）中“半導(dǎo)體器件”的間接排放及瑤湖污水處理廠接管標(biāo)運(yùn)營(yíng)期環(huán)境保護(hù)措施////////pH///NH3-NpH//////NH3-N《電子工業(yè)水污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB39731-2020）中“半導(dǎo)體器件” NH3-N0.927石油類0.309SO42-2326.206表4-13廢水類別、污染物及污染治理設(shè)施信息表1////是否企業(yè)排口雨水排放清凈下水排放溫排水排放車間或車間處2混凝沉淀 5/000004050.96雙氧水0.0414647.406 6474.06達(dá)標(biāo)排放4050.96雙氧水0.0414647.406 6474.06達(dá)標(biāo)排放廠區(qū)白建污水損耗450.104硫酸。.025損耗450.104405.096405.096000000000000000000000000000000000000000新鮮水98269.3513500135002250022500循環(huán)90000循環(huán)150000450酸噴淋塔清洗用水堿液噴淋56641.35純水制備損耗45·0104405·096廠區(qū)自建污水處理站電熱水洗尾氣處理36449.04scrubber循環(huán)補(bǔ)水259.2259.236854·136MOCVD部件清洗(不含紅黃光)總排口瑤湖污水處理廠濃水19742.318887644688876·446達(dá)標(biāo)排放循環(huán)300000冷卻塔循環(huán)水15000損耗6000泳池定期用排水5760生活用水隔油池+化糞池1152011520損耗2880 468綠化用水2100057601440013500135002250022500循環(huán)90000循環(huán)150000450酸噴淋塔清洗用水堿液噴淋56641.35純水制備損耗45·0104405·096廠區(qū)自建污水處理站電熱水洗尾氣處理36449.04scrubber循環(huán)補(bǔ)水259.2259.236854·136MOCVD部件清洗(不含紅黃光)總排口瑤湖污水處理廠濃水19742.318887644688876·446達(dá)標(biāo)排放循環(huán)300000冷卻塔循環(huán)水15000損耗6000泳池定期用排水5760生活用水隔油池+化糞池1152011520損耗2880 468綠化用水21000576014400純水氫氟酸。.04純水硫酸。.025雙氧水0.0414損耗468—71—運(yùn)營(yíng)期環(huán)境保護(hù)措施①在調(diào)節(jié)穩(wěn)定單元內(nèi)進(jìn)行pH調(diào)節(jié)同時(shí)進(jìn)行自然沉淀，隨后準(zhǔn)備進(jìn)入中和絮絮凝+混凝沉淀?，幒鬯幚韽S出水水質(zhì)執(zhí)行《城鎮(zhèn)污水處理廠污染物排放標(biāo)的排放量約為2.59m3/d，瑤湖污水處理廠尚有剩余負(fù)荷接納本項(xiàng)目廢水。本項(xiàng)目表4-17依托集中污水處理廠可行序本項(xiàng)目排水量理廠序本項(xiàng)目排水量理廠理工號(hào) NH3-N3/d（2.59m3/d調(diào)節(jié)穩(wěn)定6.1793515 SO42-2326.206 根據(jù)《排污單位自行監(jiān)測(cè)技術(shù)指南總則》（HJ819-2017），本項(xiàng)目廢表4-18本項(xiàng)目廢水自行監(jiān)測(cè)計(jì)劃表施本項(xiàng)目的噪聲源主要是各類機(jī)械在生產(chǎn)運(yùn)行階段產(chǎn)生的機(jī)械設(shè)備噪聲，各表4-19工業(yè)企業(yè)噪聲源強(qiáng)調(diào)查清單（室內(nèi)聲源）序號(hào)數(shù)量聲源控制措施/m運(yùn)行時(shí)段級(jí)XYZ東南西北東南西北東南西北東南西北外距離m131晝間12211表4-20工業(yè)企業(yè)噪聲源強(qiáng)調(diào)查清單（室外聲源）XYZ11運(yùn)營(yíng)期環(huán)境保護(hù)措施），①單個(gè)室外的點(diǎn)聲源在預(yù)測(cè)點(diǎn)產(chǎn)生的聲級(jí)計(jì)算基本），向點(diǎn)聲源在規(guī)定方向的級(jí)的偏差程度。指向性校正等于點(diǎn)聲源的指向性指數(shù)DIAmisc—其他多方面效應(yīng)引起的倍頻帶衰減在不能取得聲源倍頻帶聲功率級(jí)或倍頻帶聲壓級(jí)，只能獲得A聲功率級(jí)或室內(nèi)聲場(chǎng)為近似擴(kuò)散聲場(chǎng)，則室外的倍頻帶聲壓然后按公式（A.8）計(jì)算出所有室內(nèi)聲源在圍護(hù)結(jié)構(gòu)處Lplij（T）L—室內(nèi)j聲源i倍頻帶的聲壓級(jí)，dB；N—室內(nèi)聲源總數(shù)。在室內(nèi)近似為擴(kuò)散聲場(chǎng)時(shí)，按公式（A.9）計(jì)算出靠近室外圍護(hù)結(jié)構(gòu)處的聲式中：Lp2i（T）—靠近圍護(hù)結(jié)構(gòu)處室外N個(gè)聲源i倍頻帶的疊加聲壓級(jí)，計(jì)算出中心位置位于透聲面積（S）處的等效表4-21隔墻等遮擋物引起的A聲8表4-22廠界噪聲預(yù)測(cè)結(jié)果與達(dá)標(biāo)分析表單位：dB(A)為減少設(shè)備噪聲對(duì)周轉(zhuǎn)環(huán)境及自身的影響，項(xiàng)目各噪聲設(shè)備做減振降噪處建設(shè)單位對(duì)項(xiàng)目高噪聲設(shè)備的降噪措施以“隔聲減振為主，吸聲為輔”的原結(jié)合《排污單位自行監(jiān)測(cè)技術(shù)指南總則》（HJ819-2017），(GB12348-2008)標(biāo)表4-24原輔料包裝情況及年使用情況一覽表1234根據(jù)上表可知，本項(xiàng)目廢包裝容器的產(chǎn)生量為0.072t/a，屬于《國(guó)家危險(xiǎn)廢物名錄》（2021年）中的HW49其他廢物‘900-041-49含有或沾染毒性、感染據(jù)經(jīng)驗(yàn)值估測(cè)，一般情況下1kg活性炭按照生量為0.191t，屬于《國(guó)家危險(xiǎn)廢物名錄》（2021年）中的HW49其他廢物本項(xiàng)目清洗工序中使用EKC溶液進(jìn)行清洗，EKC溶液僅在一號(hào)清洗設(shè)備中其他廢物‘900-047-49’的危廢，應(yīng)集中收集至危險(xiǎn)廢物暫存間，定期交由有資序號(hào)廢稱產(chǎn)生工序及裝置形態(tài)1器原料包裝固態(tài)月物貯存于廠區(qū)危廢暫2廢氣處理固態(tài)物月分區(qū)堆置3清洗液態(tài)等月/R表4-26項(xiàng)目危險(xiǎn)廢物貯存場(chǎng)所（設(shè)施）基本情況表序號(hào)施）名稱1庫(kù)月2月3月采用專用的容器貯存在危廢暫存處，定期運(yùn)出至有資質(zhì)的相應(yīng)單位進(jìn)行處置。該類危險(xiǎn)廢物儲(chǔ)存場(chǎng)所地面