人形機器人專題3：IMU傳感器專題

中泰證券研究所 專業(yè)｜領先｜深度｜誠信｜ 證 券 研 究 報 告 ｜人形機器人專題3：IMU傳感器專題2023.12.31分析師：曾彪S0740522020001研究助理：農(nóng)譽nongyu@免責申明：本內(nèi)容非原報告內(nèi)容;報告來源互聯(lián)網(wǎng)公開數(shù)據(jù)；如侵權(quán)請聯(lián)系客服微信，第一時間清理；報告僅限社群個人學習，如需它用請聯(lián)系版權(quán)方；如有其他疑問請聯(lián)系微信行業(yè)報告資源群進群福利：進群即領萬份行業(yè)研究、管理方案及其他學習資源，直接打包下載每日分享：6份行研精選報告、3個行業(yè)主題報告查找：群里直接咨詢，免費協(xié)助查找嚴禁廣告：僅限行業(yè)報告交流，禁止一切無關信息微信掃碼，長期有效知識星球行業(yè)與管理資源專業(yè)知識社群：每月分享8000+份行業(yè)研究報告、商業(yè)計劃、市場研究、企業(yè)運營及咨詢管理方案等，涵蓋科技、金融、教育、互聯(lián)網(wǎng)、房地產(chǎn)、生物制藥、醫(yī)療健康等；已成為投資、產(chǎn)業(yè)研究、企業(yè)運營、價值傳播等工作助手。微信掃碼，行研無憂目錄1CCONTE傳感器概述CONTENTS中泰NTS證券研究所專業(yè)｜領先｜深度｜誠信2傳感器概述各類傳感器分類?人形機器人的“感知器官”：傳感器。作為一種檢測裝置，傳感器能夠感知到被測量信息，并將感知到的信息，按一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成各種形式的信息（電信號）進行輸出，使所感知的信息得以達成傳輸、處理、存儲、顯示、記錄和控制等目的。內(nèi)部傳感器外部傳感器位置嗅覺氣體&氣、傳感器…速度觸覺力&觸覺傳感器…加速度語音/聽覺麥克風…力/力矩味覺/體感溫度&濕度傳感器…壓力視覺CMOS激光傳感器、紅外線感應器….姿態(tài)接近電感、電容、超聲波傳感器…內(nèi)部傳感器：測量機器人自身狀態(tài)，通過測量運動學和力學量，使機器人具備識別自身運動狀態(tài)，并使按照預設的位置、軌跡和速度等參數(shù)控制肢體進行擺動、行走、維持平衡等運動；外部傳感器：測量機器人自身所處的外部環(huán)境，以及進行本體與外部環(huán)境之間的信息交互。11月2日，工信部印發(fā)《人形機器人創(chuàng)新發(fā)展指導意見》，引導行業(yè)聚焦、突破視覺（集成高精度仿生眼與類腦處理算法）、聽（寬頻響、高靈敏的仿生聽覺傳感器）、觸覺（高分辨率和具有多點接觸檢測能力的仿人電子皮膚）、嗅覺（高靈敏、可檢測多種氣體）等人形機器人專用高精度傳感技術(shù)。3資料來源：中泰證券研究所傳感器市場規(guī)模市場規(guī)模?傳感器全球市場規(guī)模3500單位：億美元2946.730002698.425002473.42269.12048200015001000500020222023E2024E2025E2026E根據(jù)PrecedenceStatistics的預測，2026年，全球傳感器市場規(guī)模將達到2946.7億美元（按23年1-11月平均匯率,接近2.07萬億人民幣），2022-2026年復合增長率達9.52%；行業(yè)增速得益于監(jiān)控攝像頭、消費電子產(chǎn)品、視頻游戲等領域日益增長的需求，以及新能源技術(shù)和物聯(lián)網(wǎng)技術(shù)的普及帶來的增量。

? 傳感器市場份額：應用類別&市場（2022年）生物傳感光學傳感器,11.43%器,3.91%拉丁美洲,3%中東、非洲,5%RFID,3.42%圖像傳感器,5.37%溫度傳感歐洲,24%亞洲,40%器,3.13%其他傳感器,65.86%壓力傳感器,4.44%觸覺傳感北美,28%器,2.44%生物傳感器是占據(jù)最大份額的應用類別，其組成包含生物敏感元件，能夠識別抗體、酶、核酸等生物物質(zhì)，廣泛應用于微生物監(jiān)測、食品分析等領域；按地域做區(qū)分，亞洲占據(jù)最大的市場，占比接近40%，由于核心的消費電子制造商集中在中國、韓國、日本和印度等亞太地區(qū)，隨著5G、智慧城市的興起，預計該區(qū)域持續(xù)拉動傳感器需求的增長。4資料來源：PrecedenceStatistics，中泰證券研究所智能傳感器成為產(chǎn)業(yè)趨勢市場規(guī)模?智能傳感器：集成了微處理機，相較由敏感、轉(zhuǎn)換元件和變換電路組成的傳統(tǒng)傳感器，在滿足采集、處理需求的同時，還具備與外部系統(tǒng)雙向通信、交換信息的能力。?智能傳感器市場規(guī)模（億元）全球智能傳感器行業(yè)營收規(guī)模中國智能傳感器行業(yè)營收規(guī)模5000450044944023.240003605.135003233.22902.43000250020001357.11477.91610.915001247.31147.5100050002022E2023E2024E2025E2026E

? 傳感器市場份額：下游應用場景分類（2022年）醫(yī)療電子,9.7% 其他,7.0%汽車電子,24.1%網(wǎng)絡通信,17.6%工業(yè)制造,22.0%消費電子,19.6%根據(jù)頭豹研究院預測，2026年，全球智能傳感器行業(yè)營收規(guī)模將達到4494億元，2022-2026年復合增長率達11.55%，其中，中國智能傳感器行業(yè)營收規(guī)模將達到1610.9億，年復合增長率8.85%；從下游應用場景看，2022年，汽車電子、工業(yè)制造和消費電子占據(jù)超過65%的市場份額，隨著5G、AI和物聯(lián)網(wǎng)技術(shù)的發(fā)展，智能傳感器有望在醫(yī)療、家居、公共服務等領域得到更廣泛的應用。5資料來源：資產(chǎn)信息網(wǎng)，頭豹研究院，中商產(chǎn)業(yè)研究院，中泰證券研究所目錄2CCONTE人形機器人慣量傳感器CONTENTS中泰NTS證券研究所專業(yè)｜領先｜深度｜誠信6TeslaOptimus人形機器人進展TeslaOptimus人形機器人?2023年9月24日，特斯拉在其官方推特更新了人形機器人產(chǎn)品Optimus的進展，根據(jù)最新的展示錄像，可以看到機器人的感知能力再度實現(xiàn)升級：Optimus已經(jīng)具備了對物件的自主識別和篩分的能力，并且可以實現(xiàn)肢體位置的精準校準、平衡運動姿態(tài)控制。IMU、力傳感器、視覺傳感器等多種傳感器融合，通過數(shù)據(jù)間的特征提取、關聯(lián)實現(xiàn)互補和校準；肢體狀態(tài)定位、校正：視覺傳感器&關節(jié)處的位置傳感/編碼器瑜伽伸展：IMU是保持平衡和姿態(tài)控制的關鍵復雜的肢體動作：力/力矩傳感器是穩(wěn)定控制力量&擺動的核心7資料來源：特斯拉官方推特，中泰證券研究所慣性傳感器：IMUIMU概述?IMU（InertialMeasurementUnit），又稱為慣性測量單元，與MEMS加速度計、陀螺儀同屬于MEMS慣性傳感器（MEMS代指微機電系統(tǒng)），它是由兩個及以上慣性測量MEMS芯片及ASIC芯片合封而成，通過檢測運動加速度、旋轉(zhuǎn)角速度等參數(shù)來來感知物體的運動姿態(tài)和位移等信息。加速度計陀螺儀磁力計IMU原理：利用牛頓第二定律F=ma測量加速度大小并將其轉(zhuǎn)化為電信號。如圖示電容式的微型化彈簧等效系統(tǒng)，與彈簧相連的橙色重物受到加速度作用時發(fā)生位移，綠色極板間的電容C1、C2發(fā)生變化被檢測并轉(zhuǎn)換成電信號輸出；測量：加速度，用于測量振動、沖擊、方向和速度等。

原理：角動量守恒定律，科里奧利效原理：霍爾效應。電子在導體板流通應。如圖示等效微型電容系統(tǒng)，當傳過程，外部磁場的存在會使導體板中原理：將一個三軸陀螺儀、三軸加速感器旋轉(zhuǎn)時，橙色質(zhì)量塊受慣性產(chǎn)生的電子分布發(fā)生變化，因此導體板兩度計集成在同一個芯片中，構(gòu)成六軸力矩，因而向某一方向偏轉(zhuǎn)，電容變端測量到的電壓也會發(fā)生變化，該信IMU，或者進一步與三軸磁力計集成，化產(chǎn)生電信號，被轉(zhuǎn)化為角速度輸出。號被檢測到并轉(zhuǎn)換為磁場的強度和方構(gòu)成九軸IMU向信息輸出。測量：旋轉(zhuǎn)角速度，用于導航、姿態(tài)測量：加速度、位置和姿態(tài)控制和穩(wěn)定系統(tǒng)等。測量：空間磁感應強度8資料來源：HowToM，中泰證券研究所關鍵組成部分：加速度計&陀螺儀分類?根據(jù)慣性傳感器的核心性能參數(shù)，可區(qū)分為戰(zhàn)略級、導航級、戰(zhàn)術(shù)級、消費級，各層級加速度計、陀螺儀適配對于的應用領域。類別分級零偏穩(wěn)定性標度因數(shù)精度角度隨機游走應用領域類別示例（MEMS）（°/h）（ppm）（°/√h）戰(zhàn)略級<5<10-航天，航海，自校準機械擺式、石英、加速度計導航級5-50<500-航空，長航時無人系統(tǒng)機械擺式、石英、MEMS加速度計加速度計戰(zhàn)術(shù)級50-1000<1000-高端工業(yè)（如測繪，資源MEMS、石英加速度計勘探）、車輛和飛行體消費級>1000>1000-消費電子MEMS加速度計戰(zhàn)略級<0.01<1<0.01航天，航海機電、激光、光纖陀螺儀導航級0.01-0.151-1000.01-0.05航空，長航時無人系統(tǒng)激光、光纖、MEMS陀螺儀戰(zhàn)術(shù)級0.15-15100-10000.05-0.5高端工業(yè)（如測繪，資源激光、光纖、MEMS勘探）、車輛和飛行體消費級>15>1000>0.5消費電子MEMS陀螺儀衡量一個工作周期內(nèi)，表征溫度變化、非線反映角速率信號中白備注當加速度、角速率為性、重復性等影響因噪聲，數(shù)值越小代表---零時，輸出值圍繞其素，數(shù)值越小測量誤差越小，測量精度均值的偏離程度精度越高越高MEMS加速度計、陀螺儀具備高集成化、小型化的特征，覆蓋消費級-導航級應用范圍，由于戰(zhàn)略級產(chǎn)品定位于系統(tǒng)復雜、高價值的應用平臺，特點是體積大、價格高、抗機械沖擊能力差，大規(guī)模量產(chǎn)能力有限，制約平臺小型化，智能化發(fā)展；9資料來源：芯動聯(lián)科招股說明書，TDK產(chǎn)品介紹，中泰證券研究所MEMS市場規(guī)模MEMS市場規(guī)模預測?MEMS市場規(guī)模預測?MEMS下游應用市場規(guī)模&占有率（2028年）2022年（億美元）2028年（億美元）10094國防和航90空,7%通訊,4%7680706050工業(yè),16%41消費,48%4031273025醫(yī)藥,4%20914688汽車,21%1020根據(jù)YoleIntelligence預測數(shù)據(jù)，MEMS傳感器的市場規(guī)模將從2022年的~145億美元增長至2028年的~196億美元，年復合增長率~5%；其中，預計陀螺儀的單獨銷量持續(xù)降低，而集成化的IMU產(chǎn)品市場規(guī)模擴大，從2021年的18.3億美元增長至2027年的27.9億美元。

預計至2028年，消費、汽車、工業(yè)應用占據(jù)MEMS市場接近85%的份額，其中汽車領域市場規(guī)模迅速增長，由2022年的27億美元增長至2028年的41億美元。10資料來源：YoleIntelligence，中泰證券研究所慣性傳感器IMU行業(yè)格局MEMS產(chǎn)業(yè)鏈及行業(yè)格局? MEMS傳感器產(chǎn)業(yè)鏈環(huán)節(jié) ?產(chǎn)業(yè)格局：2021年IMU市占率&公司總營收規(guī)模對比Fabless模式： 芯片設計敏芯股份芯動聯(lián)科應美盛IDM模式：

其他,12%霍尼韋爾（Honeywell）,7%博世（Bosch）,晶圓制造封裝測試亞德諾半導體35%臺積電蘇州固锝（ADI）,6%中芯國際華天科技北方電子院安徽公司日月光半導體TDK株式會社,20%意法半導體（ST）,北方電子院安徽公司20%垂直整合制造商公司國家2022年總收單位匯率2022總收入/入/億（2023.11.18）億人民幣博世（Bosch）博世德國884歐元7.866948.2ST瑞士161.3美元7.241167.8意法半導體（STMicroelectronics）TDK日本19021日元0.048913.0亞德諾半導體（AnalogDevicesInc.，ADI）ADI美國120.14美元7.24869.8霍尼韋爾（Honeywell）Honeywell美國354.66美元7.242567.7敏芯科技中國---292.65芯動聯(lián)科中國---226.86?MEMS行業(yè)有Fabless（無晶圓廠制造模式）和IDM（垂?IMU市場集中度高，博世、ST、TDK、ADI、honeywell等直分工模式）兩種經(jīng)營模式；IDM對企業(yè)資金和業(yè)務規(guī)模、海外廠家占據(jù)接近88%的市場份額，國產(chǎn)廠家在業(yè)務規(guī)模和技術(shù)水平要求較高，需要具備獨立覆蓋芯片設計到產(chǎn)品制造收入體量上相對較小。的所有環(huán)節(jié)，博世、ST、ADI、Honeywell等國際大型半導體企業(yè)采用該模式。11資料來源：芯動聯(lián)科、明皜傳感招股說明書，YoleIntelligence，中泰證券研究所目錄3CCONTEIMU產(chǎn)業(yè)鏈主要公司梳理CONTENTS中泰NTS證券研究所專業(yè)｜領先｜深度｜誠信12IMU行業(yè)新增量：自動駕駛傳統(tǒng)汽車電子領域MEMS傳感器已經(jīng)廣泛的應用于汽車電子領域。汽車電子應用產(chǎn)品性質(zhì)實現(xiàn)功能傳感器碰撞感測發(fā)射安全氣囊加速度計功能安全類產(chǎn)品側(cè)翻檢測陀螺儀車輛導航系統(tǒng)GPS、加速度計、陀螺儀、磁力計防盜系統(tǒng)加速度計非功能安全類產(chǎn)品智能鑰匙加速度計T-BOX加速度計行車記錄儀加速度計獨立的MEMS加速度計、陀螺儀傳感器在汽車中得到廣泛應用，例如加速度計被應用在碰撞感應發(fā)射安全氣囊，以及防盜系統(tǒng)；陀螺儀則多用于車輛動態(tài)控制，例如側(cè)翻檢測、偏航角測算等。

? 自動駕駛&IMU：慣性導航慣性導航系統(tǒng)通常集成多軸陀螺儀和多軸加速度計，對各軸自由度的角速率和線加速度進行測量，根據(jù)算法按時間積分、疊加運算，實現(xiàn)自身位置變化的動態(tài)確定；1）慣導系統(tǒng)可獨立使用，無需借助外源信息、設備，無需向外發(fā)送任何信號，且具備數(shù)據(jù)更新率高、穩(wěn)定性佳的特點；2）因此可以與衛(wèi)星導航結(jié)合使用，輔助GPS導航，一方面提供數(shù)據(jù)補償，提高位置更新頻率；另一方面，在隧道、地下車庫等衛(wèi)星信號受到屏蔽的場景，可依靠慣性導航系統(tǒng)來提供定位信息，利用航跡推算實現(xiàn)短時導航。13資料來源：芯動聯(lián)科招股說明書，中泰證券研究所IMU行業(yè)新增量：自動駕駛自動駕駛?隨著車輛智能化程度的提升，需要借助多傳感器融合技術(shù)增加數(shù)據(jù)獲取數(shù)量，以提高系統(tǒng)的冗余度和容錯性，是確保智能決策快速性和準確性的關鍵，因此，IMU有望成為L3級以上自動駕駛的標配。?

IMU與視覺傳感的互補性

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高精度IMU優(yōu)化BEV算法?

深度相機-IMU互補

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IMU校正激光雷達成像?1）使BEV算法實現(xiàn)多幀對齊：通過高精度IMU抓取的平移?相機雖能夠獲得豐富的環(huán)境信息，但在高速運動、光照變化和旋轉(zhuǎn)運動，由于數(shù)據(jù)頻率高，可以精準的獲取當前幀和前過程相機成像容易失效，IMU能夠獲得車輛運動信息，且不一幀的運動關系，降低BEV算法誤差；受環(huán)境影響，對相機不足進行補償；?2）拼接語義地圖，實現(xiàn)城區(qū)路線NOA：針對復雜的城市路?快速的運動可能會導致旋轉(zhuǎn)激光雷達的點云扭曲，成像發(fā)生線，彌補因路面環(huán)境缺陷，攝像頭視線、GNSS信號丟失帶形變，IMU可以消除激光雷達掃描中的運動失真，達到糾偏來的不良影響，實現(xiàn)分米級別的定位精度。的效果。14資料來源：芯動聯(lián)科招股說明書，導遠電子，3D視覺工坊，《Target-freeExtrinsicCalibrationofa3D-LidarandanIMU》，中泰證券研究所IMU行業(yè)新增量：人形機器人人形機器人?多傳感器融合技術(shù)對于應用于復雜工況的通用型機器人至關重要，在其運動過程中，通過增強數(shù)據(jù)識別和收集效果，提高系統(tǒng)的冗余和容錯性，IMU有望成為人形機器人的標配。項目小米Cyberone傅利葉GR-1波斯頓動力Atlas智元機器人遠征A1示例傳感方案iToF模組、RGB模組，可選深度相機，IMUIMU相機，激光雷達，IMU配IMU?姿態(tài)控制：有望用于腿部、上半身，用于測算身體角度，因此預計搭配高精度的多軸陀螺儀；?運動規(guī)劃：為適應惡劣復雜地形，對視覺傳感起到輔助，實現(xiàn)高精度的導航和運動路徑規(guī)劃，預計需要搭配集成多軸MEMS加速度計和MEMS陀螺儀的IMU。15資料來源：各公司公告，中泰證券研究所1）Fabless經(jīng)營模式優(yōu)劣并存IDMvsFabless?采用Fabless模式的芯片設計企業(yè)主要負責研發(fā)設計（MEMS、ASIC芯片設計，封裝設計和工藝開發(fā)）和銷售，晶圓制造、封裝和測試環(huán)節(jié)交由第三方代工廠和封裝測試企業(yè)完成。模式覆蓋環(huán)節(jié)資本投入要求生產(chǎn)成本供應鏈安全產(chǎn)品迭代產(chǎn)業(yè)需求上行，產(chǎn)能利用1）轉(zhuǎn)型難度大芯片設計、晶圓制造、封高資本開支，承擔晶圓產(chǎn)率高，成本低IDM模式高2）研發(fā)-制造時間可控性裝、測試、產(chǎn)品銷售線建設、維護和升級產(chǎn)業(yè)需求下行，面臨高折強舊成本1）生產(chǎn)設計靈活，對市場新興需求反應迅速，轉(zhuǎn)型低投入，集中資源投入到低，行業(yè)需求緊張時面臨快Fabless模式芯片設計、產(chǎn)品銷售低2）芯片設計功能的實現(xiàn)受芯片設計供應不穩(wěn)定和價格風險晶圓廠工藝能力的限制3）研發(fā)存在無法快速流片驗證的風險持續(xù)的研發(fā)投入，保持領先且快速的研發(fā)和設計能力是Fabless模式企業(yè)的核心競爭力，對供應鏈的嚴格把控是實現(xiàn)核心產(chǎn)品穩(wěn)定量產(chǎn)的關鍵。16資料來源：中泰證券研究所2）芯片的設計與創(chuàng)新芯片的設計與創(chuàng)新? MEMS傳感器生產(chǎn)流程 ?明皜傳感產(chǎn)品開發(fā)流程MEMS芯片結(jié)構(gòu)MEMS晶圓流片可靠性與質(zhì)量性設計能確認芯片設計晶圓中測 MEMS晶圓制造、（CP測試） 晶圓級封裝ASIC晶圓ASIC和MEMS驗證測試合封芯片設計過程：根據(jù)產(chǎn)品定義，進行結(jié)構(gòu)設計和工藝制程確認，隨后進行晶圓流片以確認可靠性和質(zhì)量性能，根據(jù)驗證結(jié)果對設計進行修正和調(diào)整工藝制程；由于MEMS傳感器結(jié)構(gòu)的復雜性，品質(zhì)控制難度較大；因此對于從方案設計，到工藝及設計驗證，兼容制造的全過程技術(shù)積累尤為重要，以此實現(xiàn)對各工藝流程的優(yōu)化。17資料來源：明皜傳感招股說明書，中泰證券研究所芯動聯(lián)科：國產(chǎn)高性能MEMS陀螺儀領銜者芯動聯(lián)科?相較國內(nèi)其他企業(yè)，公司高性能MEMS陀螺儀的研發(fā)起步較早，2015年初代產(chǎn)品研制成功后，陸續(xù)在2017、2019年量產(chǎn)二、三代高性能MEMS陀螺儀，是少數(shù)可以實現(xiàn)穩(wěn)定量產(chǎn)的企業(yè)，此類產(chǎn)品具有小型化、高集成、低成本的優(yōu)勢，核心性能指標達到國際先進水平。200MEMS陀螺儀營收（百萬元）YOY70%182.9118058%60%160133.0950%14012037%41%40%10084.3680.4730%8067.9524%6020%4010%2000%20192020202120222023H1?公司MEMS陀螺儀業(yè)務收入逐年增長，2023年H1該業(yè)務占?公司高性能MEMS陀螺儀產(chǎn)品覆蓋消費級、戰(zhàn)術(shù)級、導航級，總營收比例接近八成。應用領域包括車輛、飛行器的慣性導航和平臺穩(wěn)定，已經(jīng)微?根據(jù)YoleIntelligence統(tǒng)計，2021年MEMS陀螺儀覆蓋工業(yè)納衛(wèi)星的姿態(tài)感知和機器人的狀態(tài)監(jiān)測；級、戰(zhàn)術(shù)級應用領域，其中在工業(yè)級應用領域占據(jù)接近86%?隨著高性能MEMS陀螺儀技術(shù)成熟度提升，應用場景逐步拓的市場份額，在戰(zhàn)術(shù)級和導航級應用領域，激光、光纖陀螺寬，有望進一步滲透至以激光、光纖陀螺儀為主導的戰(zhàn)術(shù)、儀分別占據(jù)了78%和92%的市場份額。導航級應用領域。18資料來源：芯動聯(lián)科招股說明書，中泰證券研究所芯動聯(lián)科：國產(chǎn)高性能MEMS陀螺儀領銜者芯動聯(lián)科? 高性能MEMS陀螺儀產(chǎn)品達到國際領先水平公司型號MEMS電路特點零偏設計結(jié)構(gòu)設計穩(wěn)定性HoneywellHG設計結(jié)構(gòu)：雙質(zhì)分立電路，可實現(xiàn)正交誤差開環(huán)控制工0.25°/h4930量塊音叉結(jié)構(gòu)作模式補償ADIADIS設計結(jié)構(gòu)：雙質(zhì)ASIC電路，可實現(xiàn)正交誤差1.1°/h16547量塊音叉結(jié)構(gòu)開環(huán)控制工補償作模式Northrop設計結(jié)構(gòu)：四質(zhì)可實現(xiàn)正交誤差在研在研補償，模態(tài)匹配，0.021°/hGrumman量塊音叉結(jié)構(gòu)自校準全硅MEMS芯片陀螺儀33設計結(jié)構(gòu)：四質(zhì)ASIC電路，工藝，可實現(xiàn)正交誤差補償，模芯動聯(lián)科系列量塊全解耦音叉開環(huán)控制工0.05°/h態(tài)匹配，標度因HC-L2結(jié)構(gòu)作模式素自補償，自校準，耦合消除根據(jù)Yole數(shù)據(jù)，全球高性能MEMS慣性產(chǎn)品市場份額集中在Honeywell、ADI、NorthropGrumman，三家分別占據(jù)34%/13%/8%，公司高性能MEMS陀螺儀在性能指標上相較國際領先品牌具備一定的競爭力；六軸IMU產(chǎn)品已對某知名智能電動汽車客戶進行A樣交付，規(guī)劃于2024年量產(chǎn)，預計主要兩個品牌年用量在10萬套以上；同時對某無人駕駛應用領域的客戶，已完成項目定點和小批量交付。

?持續(xù)進行研發(fā)投入，維持核心競爭力預計投入/萬重點項目 內(nèi)容 進展元國內(nèi)首款小尺寸（6*8*3mm）、工業(yè)級陀螺6,630低功耗單片集成Z軸、三軸MEMS開發(fā)階段儀陀螺儀，用于自動駕駛、機器人、無人機等高性能Z軸下一代導航級Z軸MEMS陀螺儀，比MEMS陀螺2,880目前在售最高性能陀螺指標提升一個驗證階段儀4代量級MEMS慣性3,950L3+自動駕駛的六軸慣性測量單元開發(fā)階段導航系統(tǒng)功能安全66,450自動駕駛的高性能MEMSIMU開發(fā)階段軸IMU持續(xù)加大研發(fā)投入：? 1）現(xiàn)有產(chǎn)品性能提升，開發(fā)四代陀螺儀，目標實現(xiàn)高精度、高可靠、小型化的導航系統(tǒng)；? 2）拓寬產(chǎn)品豐富度，重點投入方向為車規(guī)級MEMS陀螺儀、IMU產(chǎn)品，應用于自動駕駛、機器人等領域；在研項目涵蓋壓力傳感器、FM加速度計、光衰減器微鏡等品類。19資料來源：芯動聯(lián)科招股說明書，YoleIntelligence，中泰證券研究所芯動聯(lián)科：國產(chǎn)高性能MEMS陀螺儀領銜者芯動聯(lián)科?縱向拓展封裝領域，完善公司產(chǎn)業(yè)鏈環(huán)節(jié)，降低產(chǎn)品成本項目MEMS器件封裝測試基地建設項目投入總投資約2.22億元，其中固定資產(chǎn)等長期資產(chǎn)合計約1.77億元，占比約80%預期建成到投產(chǎn)共計3年1）建設一條先進封裝生產(chǎn)線，實現(xiàn)慣性傳感器和壓力傳感器的封裝生產(chǎn)，并可實現(xiàn)定制化封裝；規(guī)劃2）提升公司現(xiàn)有測試技術(shù)水平，購置新設備、研發(fā)新?MEMS封裝截面示意圖技術(shù)，使公司具備圓片級的測試能力?引線鍵合封裝3）擴大測試產(chǎn)線的產(chǎn)能，建設測試產(chǎn)線以及擴大現(xiàn)有產(chǎn)品測試產(chǎn)能，進而與封裝產(chǎn)線的產(chǎn)能匹配?MEMS產(chǎn)品封裝涉及晶圓切割、芯片貼片、引線鍵合、蓋殼?公司MEMS器件封裝測試基地建設項目已經(jīng)完成備案工作，等工序，屬于產(chǎn)業(yè)鏈后端工序，但卻對產(chǎn)品的尺寸、形態(tài)以相較于封裝代工廠商，只面向自身產(chǎn)品需求，能夠保障公司及性能影響較大，決定產(chǎn)品能否與應用終端實現(xiàn)更好融合；產(chǎn)品出貨的及時性，同時，通過將產(chǎn)品工藝設計與封裝工序?由于MEMS傳感器的封裝設計高度定制化，將封裝工序委反復調(diào)試，相互契合，能夠提高生產(chǎn)效率；外的Fabless廠家，在面對市場的新需求、新產(chǎn)品開發(fā)時，?本項目落成后，公司將具備規(guī)?；姆庋b、測試能力，產(chǎn)業(yè)可能存在封裝代工廠對新產(chǎn)品的封裝需求響應速度較慢，由鏈得到進一步完善，在對產(chǎn)品的交付能力增強的同時，提高于產(chǎn)線參數(shù)調(diào)整造成高廢品率和高成本等問題。產(chǎn)品質(zhì)量的把控力，通過規(guī)?；部梢源蠓档彤a(chǎn)品的生產(chǎn)成本，進一步提升市場競爭力。20資料來源：武漢大學工業(yè)科學研究院，芯動聯(lián)科招股說明書，中泰證券研究所明皜傳感：先進的工藝平臺&穩(wěn)定可靠的供應鏈明皜傳感（蘇州固锝持股21.63%）? 公司晶圓級3DMEMS-CMOS微加工工藝公司的MEMS加速度計由CMOS襯底、MEMS機械結(jié)構(gòu)和晶圓級封裝硅帽三片硅晶一體成型制成，中間MEMS機械結(jié)構(gòu)層將運動狀態(tài)的變化轉(zhuǎn)變?yōu)殡娙葑兓?，電容信號通過硅通孔傳遞到CMOS襯底中；實現(xiàn)了標準8寸CMOS晶圓生產(chǎn)工藝與MEMS晶圓生產(chǎn)工藝的兼容，屬于區(qū)別于模組式封裝的3D封裝工藝，可以把寄生電容電阻做到最小化，在減少封裝金線，降低成本的同時，還可以給芯片更多設計空間。

?構(gòu)建加工工藝平臺平臺賦予車規(guī)級加速計產(chǎn)品高一致性、高良率和低失效率，已順利導入東軟集團、比亞迪等汽車級客戶；產(chǎn)品逐步豐富：基于三維MEMS-CMOS微加工工藝的平臺，可滿足包括加速度計、陀螺儀、IMU等多種MEMS慣性傳感器的研發(fā)與生產(chǎn)需求，平臺與設計協(xié)同優(yōu)化，有望在加快產(chǎn)品迭代開發(fā)的同時降低研發(fā)成本；目前已成功開發(fā)MEMS陀螺儀及IMU六軸傳感器整合技術(shù)，完成初次流片。21資料來源：明皜傳感招股說明書，中泰證券研究所明皜傳感：先進的工藝平臺&穩(wěn)定可靠的供應鏈明皜傳感?供應鏈穩(wěn)定可靠模式研發(fā)設計晶圓加工封裝測試MEMS\ASIC芯片設計、封裝設計、MEMS晶圓加工 ASIC晶圓加工工藝方案開發(fā)設計環(huán)節(jié)的技術(shù)積累涉及平臺與擁有工藝團隊，自研的制造工藝平臺技術(shù)已成熟應用于國際知深度參與封裝測試與封裝結(jié)構(gòu)協(xié)同設計、工藝及設計驗證、名晶圓代工廠；生產(chǎn)環(huán)節(jié)的技術(shù)開發(fā)；兼容制造三大環(huán)節(jié)，公司基于此公司模式持續(xù)進行產(chǎn)品的迭代和改善，構(gòu)可基于晶圓代工廠既有的產(chǎn)線資源對工藝進行優(yōu)化開發(fā)，亦可通過自建定制化測試產(chǎn)線完成芯建完善的產(chǎn)品研發(fā)體系，提升產(chǎn)基于自有的工藝平臺技術(shù)進行生產(chǎn)片測試，優(yōu)化測試效率品良率合作方—VIS、臺積電納芯微蘇州固锝（封裝、測試服務等）（MEMS晶圓、光罩）（中測后的ASIC晶圓）日月新（封裝服務）相關合同——與納芯微簽訂定制化開發(fā)合同，蘇州固锝為公司股東，持股涉及芯片設計版圖保護及排他性21.63%? 區(qū)別于傳統(tǒng)Fabless模式，公司深度參與晶圓制造過程中制造工藝平臺的搭建與優(yōu)化，專注芯片開發(fā)的同時也在制造工藝領域持續(xù)研發(fā)與突破，實現(xiàn)芯片設計與工藝設計的協(xié)同。22資料來源：明皜傳感招股說明書，中泰證券研究所華依科技：IMU慣導產(chǎn)品有望放量華依科技?公司2018年立智能駕駛事業(yè)部，開展智能駕駛核心零部件的前期研發(fā)布局，IMU產(chǎn)品精度保持行業(yè)領先，實現(xiàn)應用層產(chǎn)品的率先落地，目前IMU產(chǎn)品已達到量產(chǎn)條件。產(chǎn)品P-BOX一體機INS5050慣導總成（INS4050）慣性測量單元IMU3000示例配置車規(guī)級GNSS模塊&ASIL-B級別車規(guī)級六軸IMU，性能接近戰(zhàn)術(shù)級車規(guī)級超高精度1°/hIMUIMU2022年公司慣導業(yè)務進展加速，提供完整的L2~L5高精度定位解決方案，獲得奇瑞汽車，實現(xiàn)從零到一，隨后陸續(xù)收獲智己汽車、國內(nèi)某知名汽車企業(yè)訂單，產(chǎn)品力開始被市場認可；長期深耕汽車動力總成智能測試領域，提供智能測試設備到智能測試服務、動力總成測試到智能駕駛測試一站式解決方案，覆蓋客