新能源技術(shù)趨勢(shì)深度系列（四）：鈣鈦礦行業(yè)深度：徐徐生羽翼一化北溟魚(yú)

正文目錄鈣鈦礦接力成為第三代電池技術(shù) 5光伏電池技術(shù)發(fā)展 5鈣鈦礦電池原理 7鈣鈦礦電池的優(yōu)勢(shì)與難題 8鈣鈦礦電池的優(yōu)勢(shì) 8理論效率更高 8理論成本更低 10應(yīng)用場(chǎng)景更廣 12鈣鈦礦電池的產(chǎn)業(yè)化難題 13大面積備制效率降低 13穩(wěn)定性較差 13鈣鈦礦電池制作工藝 14制備流程 14電極層 16空穴傳輸層 17電子傳輸層 18鈣鈦礦層 19國(guó)內(nèi)鈣鈦礦產(chǎn)業(yè)化進(jìn)展梳理 21鈣鈦礦制造端 21鈣鈦礦設(shè)備端 26鍍膜設(shè)備：多條路線共同發(fā)展，RPD潛力巨大 26涂布設(shè)備：國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程加速，德滬涂膜遙遙領(lǐng)先 30激光設(shè)備：參與多個(gè)生產(chǎn)流程，產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程較快 31鈣鈦礦輔材端 36TCO玻璃：生產(chǎn)門(mén)檻相對(duì)較高，國(guó)內(nèi)廠商進(jìn)展迅猛 36靶材：功能薄膜核心原料，國(guó)產(chǎn)化價(jià)值顯現(xiàn) 37市場(chǎng)空間測(cè)算 39鈣鈦礦設(shè)備端空間測(cè)算 39鈣鈦礦材料端空間測(cè)算 40投資建議 41風(fēng)險(xiǎn)提示 41圖表目錄圖1PERC晶硅太陽(yáng)能電池結(jié)構(gòu) 5圖2CIGS薄膜太陽(yáng)能電池結(jié)構(gòu) 6圖3太陽(yáng)能技術(shù)發(fā)展路線圖 6圖4鈣鈦礦礦石實(shí)物圖 7圖5鈣鈦礦結(jié)構(gòu)的三維示意圖 7圖6鈣鈦礦太陽(yáng)能電池結(jié)構(gòu) 8圖7鈣鈦礦太陽(yáng)能電池工作原理 8圖8太陽(yáng)能電池認(rèn)證效率圖（藍(lán)色、綠色和紅色分為第一代、二代和三代太陽(yáng)能電池） 10圖9不同太陽(yáng)能電池對(duì)應(yīng)帶隙 10圖10晶硅和鈣鈦礦電池工藝溫度（單位：℃） 圖晶硅和鈣鈦礦電池單瓦能耗（單位：KWh） 圖12鈣鈦礦組件成本結(jié)構(gòu)占比情況 圖13光伏屋頂 12圖14光伏幕墻 12圖15車(chē)載光伏發(fā)電系統(tǒng)（CIPV） 12圖16鈣鈦礦電池面積與效率關(guān)系 13圖17鈣鈦礦太陽(yáng)能電池內(nèi)不穩(wěn)定性的來(lái)源 14圖18鈣鈦礦電池穩(wěn)定性解決方案 14圖19鈣鈦礦電池結(jié)構(gòu)示意圖 15圖20反式平面結(jié)構(gòu)鈣鈦礦電池制作工序示意圖 16圖21在線鍍膜工藝生產(chǎn)圖 17圖22離線TCO玻璃生產(chǎn)工藝示意圖 17圖23空穴傳輸材料的結(jié)構(gòu)示意圖 18圖24典型的有機(jī)電子傳輸材料 19圖25旋涂法制備示意圖 19圖26刮涂法制備示意圖 20圖27狹縫涂布示意圖 20圖28化學(xué)氣相沉積法示意圖 21圖29鈣鈦礦產(chǎn)業(yè)鏈 21圖30協(xié)鑫光電發(fā)展歷程 24圖31內(nèi)蒙古兆瓦級(jí)鈣鈦礦地面光伏項(xiàng)目 25圖32極電光能全球首條GW級(jí)量產(chǎn)線建設(shè) 25圖33仁爍光能鈣鈦礦車(chē)頂光伏玻璃 26圖34京山輕機(jī)發(fā)展歷程 27圖35捷佳偉創(chuàng)發(fā)展歷程 28圖36捷佳偉創(chuàng)大面積鈣鈦礦薄膜立式量產(chǎn)設(shè)備 29圖37微導(dǎo)納米發(fā)展歷程 29圖38德滬涂膜鈣鈦礦產(chǎn)業(yè)方案 31圖39帝爾激光發(fā)展歷程 32圖40帝爾激光鈣鈦礦激光刻膜設(shè)備 33圖41邁為股份發(fā)展歷程 33圖42德龍激光鈣鈦礦薄膜太陽(yáng)能激光綜合加工設(shè)備 34圖43大族激光劃焊一體機(jī) 35圖44杰普特發(fā)展歷程 35圖45杰普特大尺寸鈣鈦礦P1/P2/P3整套激光劃線設(shè)備 36圖46金晶科技發(fā)展歷程 37圖47亞瑪頓發(fā)展歷程 37圖48豐聯(lián)科光電（隆華科技子公司）發(fā)展歷程 38圖49阿石創(chuàng)發(fā)展歷程 39表1三代太陽(yáng)能電池對(duì)比表 7表2鈣鈦礦實(shí)驗(yàn)室效率提升過(guò)程 9表3三類(lèi)TCO玻璃主要材料及特性比較 16表4空穴傳輸層材料 18表5主要鈣鈦礦電池產(chǎn)商產(chǎn)線進(jìn)展 22表6一級(jí)市場(chǎng)鈣鈦礦相關(guān)融資情況 23表7主要鍍膜方式比較 26表8鈣鈦礦鍍膜設(shè)備廠商布局情況 27表9京山輕機(jī)鈣鈦礦及疊層電池組件主要產(chǎn)品 28表10微導(dǎo)納米鈣鈦礦主要產(chǎn)品 30表鈣鈦礦涂布設(shè)備廠商布局情況 30表12鈣鈦礦激光設(shè)備廠商布局情況 32表13TCO玻璃廠商布局情況 36表14靶材在鈣鈦礦不同功能層制備中應(yīng)用 38表152023-2030年鈣鈦礦設(shè)備空間測(cè)算 39表162023-2030年鈣鈦礦材料空間測(cè)算 40表17鈣鈦礦重點(diǎn)公司估值（截至2024年02月22日） 41鈣鈦礦接力成為第三代電池技術(shù)光伏電池技術(shù)發(fā)展20世紀(jì)40PERCPERCTOPConNHJTBC電池憑借更高的性價(jià)比優(yōu)勢(shì)最先實(shí)PERC電池成為主流技術(shù)。盡管第一代晶硅電池仍保持最高轉(zhuǎn)圖1PERC晶硅太陽(yáng)能電池結(jié)構(gòu)資料來(lái)源：帝科股份招股說(shuō)明書(shū)，東海證券研究所（（為代表BIPV等應(yīng)用場(chǎng)景薄膜薄膜電池實(shí)驗(yàn)室23.35%15-17%；Ⅲ-V族（GaAs）薄膜電池實(shí)驗(yàn)室效率達(dá)到等應(yīng)用場(chǎng)景獲得了一定的發(fā)展空間。圖2CIGS薄膜太陽(yáng)能電池結(jié)構(gòu)（房文健等，東海證券研究所（SC（SC0.1-0.5微米之間。池兩種技術(shù)路線，其中，與第一代晶硅太陽(yáng)能電池疊加可構(gòu)成異質(zhì)結(jié)/鈣鈦礦疊層電池和TOPCon/鈣鈦礦疊層電池；與第二代薄膜太陽(yáng)能電池疊加可構(gòu)成CIGS/鈣鈦礦疊層電池和CdTe/鈣鈦礦疊層電池。圖3太陽(yáng)能技術(shù)發(fā)展路線圖資料來(lái)源：中國(guó)光伏產(chǎn)業(yè)發(fā)展路線圖，東海證券研究所表1三代太陽(yáng)能電池對(duì)比表特性特性第一代單晶多晶GaAs第二代CIGSCdTe第三代PSCs理論效率理論效率壽命29.4%25年27%33%28%20年（CIGS、CdTe）33%（單結(jié)）待驗(yàn)證穩(wěn)定性 穩(wěn)定性非常好 穩(wěn)定性較好 對(duì)外部環(huán)境較為敏感材料成本 高純度的硅原料 部分原料較難獲取 原料價(jià)格低，純化要求不工藝流程 產(chǎn)業(yè)鏈環(huán)節(jié)多，工序步驟多 / 產(chǎn)業(yè)鏈短能源消耗 溫度要求高，消耗能源較多 相對(duì)較低 最高溫度僅需150℃資料來(lái)源：公開(kāi)資料整理，東海證券研究所鈣鈦礦電池原理其化學(xué)結(jié)構(gòu)為ABX3位是AX離BB位通常是Pb2+或者Sn2+X位則通常是Cl?Br?和I?不同組分的鈣鈦礦材料對(duì)應(yīng)的帶隙及能級(jí)分布也有所區(qū)別。圖4鈣鈦礦礦石實(shí)物圖 圖5鈣鈦礦結(jié)構(gòu)的三維示意圖資料來(lái)源：太陽(yáng)能發(fā)電網(wǎng)，東海證券研究所 資料來(lái)源《鈣鈦礦太陽(yáng)能電池研究進(jìn)展與發(fā)展現(xiàn)狀（張生鵬等，東海證券研究所-向陰向圖6鈣鈦礦太陽(yáng)能電池結(jié)構(gòu) 圖7鈣鈦礦太陽(yáng)能電池工作原理（楊廣武等，東海證券研究所

（楊廣武等，東海證券研究所鈣鈦礦電池的優(yōu)勢(shì)與難題鈣鈦礦電池的優(yōu)勢(shì)理論效率更高70年代發(fā)明晶硅電池以來(lái)，2022月創(chuàng)造的HJT26.8%。相比之下，20093.8%，經(jīng)過(guò)十余年的發(fā)展，單結(jié)鈣鈦—表2鈣鈦礦實(shí)驗(yàn)室效率提升過(guò)程時(shí)間研發(fā)團(tuán)隊(duì)電池類(lèi)型轉(zhuǎn)換效率2009日本科學(xué)家Miyasaka單結(jié)鈣鈦礦太陽(yáng)能電池3.80%2011韓國(guó)成均館大學(xué)Nam-GiyuPark課題組單結(jié)鈣鈦礦太陽(yáng)能電池6.50%2012牛津大學(xué)HenrySnaithHE和MikeLee課題組單結(jié)鈣鈦礦太陽(yáng)能電池10.00%2012牛津大學(xué)HenrySnaith單結(jié)鈣鈦礦太陽(yáng)能電池15.40%2014韓國(guó)化學(xué)技術(shù)研究所以及成均館大學(xué)單結(jié)鈣鈦礦太陽(yáng)能電池17.90%2016瑞士洛桑聯(lián)邦理工學(xué)院（EPFL）單結(jié)鈣鈦礦太陽(yáng)能電池19.60%2017韓國(guó)蔚山國(guó)立科技研究所單結(jié)鈣鈦礦太陽(yáng)能電池22.10%2018中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所研究員游經(jīng)碧課題組單結(jié)鈣鈦礦太陽(yáng)能電池23.70%2018牛津光伏（OxfordPV）硅/鈣鈦礦疊層太陽(yáng)能電池27.30%2019韓國(guó)化學(xué)技術(shù)研究所（KRICT）單結(jié)鈣鈦礦太陽(yáng)能電池24.20%2019韓國(guó)化學(xué)技術(shù)研究所、麻省理工單結(jié)鈣鈦礦太陽(yáng)能電池25.20%2020美國(guó)能源部國(guó)家可再生能源實(shí)驗(yàn)室全鈣鈦礦疊層電池23.10%2020亥姆霍茲中心（HZB）硅/鈣鈦礦疊層太陽(yáng)能電池29.15%2020香港城市大學(xué)、華盛頓大學(xué)單結(jié)鈣鈦礦太陽(yáng)能電池25.50%2020牛津光伙（OxfordPV）硅/鈣鈦礦疊層太陽(yáng)能電池29.52%2021韓國(guó)蔚山國(guó)家科學(xué)技術(shù)研究所（UNIST）單結(jié)鈣鈦礦太陽(yáng)能電池25.50%2021亥姆霍茲中心（HZB）硅/鈣鈦礦疊層太陽(yáng)能電池29.80%2022加拿大多倫多大學(xué)EdwardH.Sargent教授全鈣鈦礦疊層電池26.40%2022南京大學(xué)譚海仁教授課題組全鈣位礦疊層電池26.40%2022南京大學(xué)譚海仁教授課題組大面積鈣鈦礦疊層電池24.20%2022洛桑聯(lián)邦理工學(xué)院（EPFL）和瑞士電子與微技術(shù)中心（CSEM）硅/鈣鈦礦疊層太陽(yáng)能電池31.30%2022亥姆霍茲中心（HZB）硅/鈣鈦礦疊層太陽(yáng)能電池32.50%2022中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體所單結(jié)鈣鈦礦太陽(yáng)能電池25.60%2023中國(guó)蘇州大學(xué)李耀文柔性鈣鈦礦太陽(yáng)能電池23.40%2023中國(guó)科學(xué)院合肥物質(zhì)科學(xué)研究院固體物理研究所等單結(jié)鈣鈦礦太陽(yáng)能電池26.10%2023隆基綠能硅/鈣鈦礦疊層太陽(yáng)能電池31.80%2023新加坡國(guó)立大學(xué)單結(jié)鈣鈦礦太陽(yáng)能電池24.35%2023中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)徐集賢教授團(tuán)隊(duì)單結(jié)鈣鈦礦太陽(yáng)能電池26.10%2023隆基綠能硅/鈣鈦礦疊層太陽(yáng)能電池33.90%2023美國(guó)西北大學(xué)單結(jié)鈣鈦礦太陽(yáng)能電池25.10%資料來(lái)源：東海證券研究所整理單結(jié)鈣鈦礦電池理論轉(zhuǎn)化效率可達(dá)33%，遠(yuǎn)高于傳統(tǒng)晶硅電池。其理論轉(zhuǎn)化效率可進(jìn)一步提升至45%。圖8太陽(yáng)能電池認(rèn)證效率圖（藍(lán)色、綠色和紅色分為第一代、二代和三代太陽(yáng)能電池）資料來(lái)源：NREL，東海證券研究所??????3結(jié)構(gòu)中各元素類(lèi)型和含量不同而變化，-1.4eV1.12eV，因此鈣鈦礦電池在轉(zhuǎn)換效率方面超過(guò)晶硅電池。圖9不同太陽(yáng)能電池對(duì)應(yīng)帶隙資料來(lái)源：索比光伏網(wǎng)，東海證券研究所理論成本更低45分GW1050MW1-1.52億GW5億元投資額，約為晶硅電池投資額的二分之一。1.52kWh每瓦的能耗水平。此外，鈣鈦礦單結(jié)電池的能量回收時(shí)間僅為硅基電池的43圖10晶硅和鈣鈦礦電池工藝溫度（單位：℃） 圖11晶硅和鈣鈦礦電池單瓦能耗（單位：KWh）1800120010008004002000

1700150晶硅 鈣鈦礦150

1.61.410.60.40.20

1.520.12晶硅 鈣鈦礦0.12資料來(lái)源：協(xié)鑫光電，東海證券研究所 資料來(lái)源：協(xié)鑫光電，東海證券研究所1μm120-150μm。1-g2g。95%99.9999%，從硅料開(kāi)0.5-0.6元/50%，成本優(yōu)勢(shì)顯著。圖12鈣鈦礦組件成本結(jié)構(gòu)占比情況32% 電極材料3%5%9%

能源動(dòng)力固定資產(chǎn)折舊鈣鈦礦人工成本玻璃及其他封裝材料資料來(lái)源：中商產(chǎn)業(yè)研究院，東海證券研究所應(yīng)用場(chǎng)景更廣BIPV領(lǐng)15%左BIPV應(yīng)用的首選。555351494745系列3 系列555351494745系列3 系列555351494745010407100104071001040710010407100104072018-2018-2018-2018-2019-2019-2019-2019-2020-2020-2020-2020-2021-2021-2021-2021-2022-2022-2022-系列1資料來(lái)源：恒通源官網(wǎng)，東海證券研究所 資料來(lái)源：晶天新能源官網(wǎng)，東海證券研究所消費(fèi)類(lèi)產(chǎn)品中使用鈣鈦礦光伏技術(shù)進(jìn)行充電是一種創(chuàng)新的應(yīng)用。鈣鈦礦太陽(yáng)能光伏組件，由于其輕便靈活，發(fā)光效率高等特點(diǎn)，可制備成手機(jī)、電腦、背包等消費(fèi)類(lèi)產(chǎn)品的靈活充電是在汽車(chē)上55 54 53 52 55 54 53 52 51 50 49 48 47 46 45 01021-0203040506021-0708091011021-120102030407082021-22021-2021-2021-2021-22021-2021-2021-2021-22022-2022-22022-2022-2022-系列5 系列1 系列3資料來(lái)源：泛華新能源，東海證券研究所鈣鈦礦電池的產(chǎn)業(yè)化難題大面積備制效率降低鈣鈦礦電池在大面積制備中效率損失嚴(yán)重。鈣鈦礦電池隨著制作尺寸的放大，其轉(zhuǎn)換效率會(huì)發(fā)生明顯下降，主要有兩個(gè)方面原因：一是各層薄膜的非均勻大面積沉積，二是激光劃20%1001000平方厘米后效率18%以上，遠(yuǎn)不及商業(yè)化普遍應(yīng)用標(biāo)準(zhǔn)。狹縫涂布法的主圖16鈣鈦礦電池面積與效率關(guān)系資料來(lái)源：SpringerLink，東海證券研究所穩(wěn)定性較差性2h，若4h6.825作作為空穴傳輸層易受圖17鈣鈦礦太陽(yáng)能電池內(nèi)不穩(wěn)定性的來(lái)源資料來(lái)源：SolarMagazine，IDTechEx，東海證券研究所加強(qiáng)鈣鈦礦電池的穩(wěn)定性可以從材料配方、結(jié)構(gòu)優(yōu)化、封裝工藝三方面著手。材料配方方面，通過(guò)對(duì)吸光層、電子傳輸層和電極材料進(jìn)行改良，可以有效提高電池穩(wěn)定性。結(jié)構(gòu)優(yōu)ITO-銅-ITO結(jié)構(gòu)，避免出現(xiàn)離子轉(zhuǎn)移的同時(shí)還可提升其導(dǎo)電性能。器件封裝方面，采用POE+丁基膠的封裝方式，可基本解決外部的水氧因素導(dǎo)致的衰減。圖18鈣鈦礦電池穩(wěn)定性解決方案資料來(lái)源：勢(shì)銀，東海證券研究所鈣鈦礦電池制作工藝制備流程單結(jié)鈣鈦礦電池結(jié)構(gòu)類(lèi)似三明治層狀，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單。單結(jié)電池在產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程中延伸出介孔結(jié)構(gòu)和平面結(jié)構(gòu)兩種，其中，平面結(jié)構(gòu)又可分為平面正式結(jié)構(gòu)和平面反式結(jié)構(gòu)。（ETL）首先400-50022.7%，與平面結(jié)構(gòu)尚存在差距?？昭▊鬏攲硬牧系膶?dǎo)入，實(shí)驗(yàn)室最高轉(zhuǎn)換效率已達(dá)24.3%，正逐步縮小與正式結(jié)構(gòu)間的差距。圖19鈣鈦礦電池結(jié)構(gòu)示意圖（顧一帆，東海證券研究所圖20反式平面結(jié)構(gòu)鈣鈦礦電池制作工序示意圖資料來(lái)源：格隆匯，東海證券研究所電極層鈣鈦礦的電極層包括前電極和背電極。FTOITOAuAgCuAl替代。TCOTCO鍍膜ITO玻璃、FTOAZOIn2O3、SnO2ZnO作為靶材。表3三類(lèi)TCO玻璃主要材料及特性比較類(lèi)別 類(lèi)別 ITO玻璃 FTO玻璃 AZO玻璃導(dǎo)電膜材料性能

摻錫的氧化銦In2O3：Sn，稀有元素銦稀缺的，生產(chǎn)成本較高，容易被氧化

摻氟的氧化錫SnO2:FSnO2:b很好的絨面結(jié)構(gòu)

摻鋁的氧化鋅ZnO:Al，原料不稀缺性和導(dǎo)電特性，性能較好，但不耐潮（CVD）發(fā)展階段成功量產(chǎn)成功量產(chǎn)（CVD）發(fā)展階段成功量產(chǎn)成功量產(chǎn)試生產(chǎn)階段應(yīng)用領(lǐng)域電器顯示屏電器顯示屏電池多結(jié)的薄膜電池生產(chǎn)廠家三星、NSG、Geomatic板硝子、旭硝子、AFG歐瑞康、萊寶、仕貫真空

磁控濺射（PVD）資料來(lái)源：亞瑪頓招股說(shuō)明書(shū)，東海證券研究所鍍膜工藝是TCO鍍膜玻璃制備的核心技術(shù)，可分為在線和離線鍍膜兩種。在線鍍膜在CVD氣相沉積法；而離線低輻射鍍膜是在PVD磁控濺射法。在線鍍膜是在浮法玻璃生產(chǎn)線錫槽的上的ITO、AZO靶材無(wú)法適用于該工藝，目前只有FTO在線鍍膜工藝較成熟。圖21在線鍍膜工藝生產(chǎn)圖-E&TCO（孟慶瑞，東海證券研究所離線鍍膜技術(shù)成熟，工藝調(diào)整靈活度高。200-230℃，ITOAZO可通過(guò)離線鍍膜方式進(jìn)行制備，但由于需另起鍍膜線進(jìn)行二次加熱，其制造成本較高。圖22離線TCO玻璃生產(chǎn)工藝示意圖TCO（蔣振偉等，東海證券研究所空穴傳輸層選擇合適的空穴傳輸材空穴傳輸材料歸納為有機(jī)小分子類(lèi)、有機(jī)聚合物類(lèi)和無(wú)機(jī)材料類(lèi)。有機(jī)小分子類(lèi)材料具有很好的流動(dòng)性，能更好地填充介孔骨架，根據(jù)分子的結(jié)構(gòu)主要分為含三苯胺的螺旋小分子ｐ型半導(dǎo)體材料具有可用溶劑處理、表4空穴傳輸層材料

材料類(lèi)型材料材料特性有機(jī)小分子類(lèi)Spiro-OMeTAD、OMeTPA-FA具有很好的流動(dòng)性，能更好地填充介孔骨架有機(jī)聚合物類(lèi)PEDOT:PSS、P3HT、PTAA具有較好的成膜性和遷移率無(wú)機(jī)材料類(lèi)CuI、CuSCN、NiO、CuxO可用溶劑處理、高空穴遷移率、寬帶隙資料來(lái)源：東海證券研究所整理CuSCNNiOCu2O15千克/Spiro-OMeTAD18%NiObium轉(zhuǎn)換效率明顯優(yōu)于其他材料。從開(kāi)路電壓來(lái)看，有機(jī)與無(wú)機(jī)n-i-p型鈣鈦礦太陽(yáng)能電池中常用的空穴oOMDp-n34乙烯二氧噻吩-等作為空穴傳輸材料。圖23空穴傳輸材料的結(jié)構(gòu)示意圖（王茹等，東海證券研究所電子傳輸層電子傳輸層是鈣金屬氧化物材料主要包括TiO2、ZnOSnO2n－i－p結(jié)構(gòu)鈣C60C70p－i－n結(jié)構(gòu)鈣鈦礦太陽(yáng)能電池。圖24典型的有機(jī)電子傳輸材料（韓飛等，東海證券研究所鈣鈦礦層ABX3位陽(yáng)離子一般為鉛離子，X位陰離子以碘離子為主，可以進(jìn)行溴離子及氯離子的摻雜。A、BX位不同離PCE等性能造成影響。濕法工藝按選用技術(shù)分為PSC其他濕法工藝所不具備的突出優(yōu)點(diǎn)。干法工藝具有大面積厚度和均勻性更好控制、基底平整度要求低等優(yōu)勢(shì)，理論上更適合晶硅疊層路線。圖25旋涂法制備示意圖（梁振群等，東海證券研究所刮刀涂布法利用刮刀與基底之圖26刮涂法制備示意圖（梁振群等，東海證券研究所圖27狹縫涂布示意圖（梁振群等，東海證券研究所圖28化學(xué)氣相沉積法示意圖（梁振群等，東海證券研究所國(guó)內(nèi)鈣鈦礦產(chǎn)業(yè)化進(jìn)展梳理圖29鈣鈦礦產(chǎn)業(yè)鏈

鈣鈦礦目前尚處于從0到1電池廠商以初創(chuàng)企業(yè)為主，發(fā)展空間更具彈性。資料來(lái)源：公開(kāi)資料整理，東海證券研究所鈣鈦礦制造端效率端，商用尺寸鈣鈦礦組件效率已突破18%。202323日，推1mx2m18.04%30日宣布279mm×370mm26.17%27日宣布1.2m×0.6m商用尺寸鈣鈦礦組件全面積效率達(dá)18.2%，創(chuàng)下商用尺寸鈣鈦礦組件效率的行業(yè)最高紀(jì)錄，鈣鈦礦量產(chǎn)組件效率提升進(jìn)度超過(guò)預(yù)期。產(chǎn)能端，當(dāng)前以百兆瓦級(jí)產(chǎn)線為主，2024年有望實(shí)現(xiàn)GW級(jí)落地。20232月100MW150MWGW2024-2025年搭表5主要鈣鈦礦電池產(chǎn)商產(chǎn)線進(jìn)展企業(yè)名稱(chēng) 產(chǎn)線情況企業(yè)名稱(chēng) 產(chǎn)線情況協(xié)鑫光電纖納光電纖納光電極電光能仁爍光能仁爍光能資料來(lái)源：各公司公告、東海證券研究所鈣鈦礦企業(yè)融資輪次加速，一二級(jí)資本紛紛布局。01的產(chǎn)業(yè)表6一級(jí)市場(chǎng)鈣鈦礦相關(guān)融資情況公司公司輪次時(shí)間交易金額交易對(duì)手

天使輪 2020.5.27 - 昆高新集團(tuán)A輪 2020.7.15 - 凱輝汽車(chē)基金、協(xié)鑫光電A+輪 2020.10.20 - 瑞庭投資Pre-B輪 2021.3.9 過(guò)億人民幣 凱輝汽車(chē)基金B(yǎng)輪 2022.5.13 5億人民幣 騰訊投資B+輪 2022.12.14 5億人民幣 淡馬錫、紅杉中國(guó)、IDG資本、川流投資、協(xié)鑫科技種子輪 2015.8.28 - 德石投資天使輪 - 網(wǎng)新投資Pre-A輪 2018.7.2 - 余杭基金A輪 2019.1.30 - 三峽基金A+輪 2019.9.30 - 海邦投資B輪 2020.12.9 - 招銀國(guó)際資本三峽資本、京能同鑫、衢江區(qū)金投控股、招銀國(guó)際資C輪 2021.1.25 3.6億人民

本、衢州綠色產(chǎn)業(yè)引導(dǎo)基金戰(zhàn)略投資 2021.7.19 - 三峽建信招銀國(guó)際資本、杭開(kāi)控股、招銀電信基金、錦聚投資、D輪 2022.10.9 4億人民

普華資本、君度投資、昆侖資本、德石投資、秦兵投創(chuàng)新投資

Pre-A輪 2021.10.13 2.2億人民幣 碧桂園創(chuàng)投、九智投資、建銀國(guó)際、云林基金、穩(wěn)晟科技、錫創(chuàng)投A輪 2023.3 數(shù)億元人民幣 深創(chuàng)投、九智投資、建銀國(guó)際、鼎暉百孚、金投資本等戰(zhàn)略融資 2020.6.30 - 賦戈投資戰(zhàn)略融資 2021.9.4 - 杭鍋股份（西子節(jié)能）戰(zhàn)略融資 2022.12.5 - 華夏恒天A+輪 2022.12.6 - 恒天資本萬(wàn)度光能 天使輪 2016.10.10 - 昌達(dá)產(chǎn)業(yè)基金股權(quán)融資 2021.8.25 - 宜昌國(guó)投集團(tuán)天使輪 2018.3.21 - 啟迪之星創(chuàng)投戰(zhàn)略融資A戰(zhàn)略融資A輪2023.02.212022.8.26-數(shù)億人民幣前沿投資中天匯富，中贏基金，亨通集團(tuán)，中科先進(jìn)產(chǎn)業(yè)基金，國(guó)海證券投資有限公司，恒邦資本，瀚葉股份，毅達(dá)資本，東方豐海資本，常熟經(jīng)開(kāi)控股，建宇集團(tuán)種子輪2022.2.16-清華控股無(wú)限光能天使輪2022.6.9數(shù)千萬(wàn)人民幣耀途資本、光躍投資、碧桂園創(chuàng)投Pre-A輪2023.1.5-盈睿資本天使輪2022.11.213千萬(wàn)人民幣正軒投資、創(chuàng)新工場(chǎng)、鼎祥投資

A輪 2021.8.2 數(shù)千萬(wàn)人民幣 高瓴創(chuàng)投B輪 2022.3.29 - 源碼資本、高瓴資本戰(zhàn)略融資 2022.2.18 - 江蘇米格新材料股份有限公司，上海東嵐領(lǐng)先能源（集團(tuán)）有限公司Pre-A輪 2022.8.26 數(shù)億人民幣 三行資本、中科創(chuàng)星、蘇高創(chuàng)新投創(chuàng)集團(tuán)、金浦投資、險(xiǎn)峰K2VC、云啟資本、中投中財(cái)基金、中財(cái)鼎晟光晶能源

A輪 2023.6 1.6億人民幣 國(guó)調(diào)戰(zhàn)新基金、啟明創(chuàng)投、中電投融和資產(chǎn)、中金傳譽(yù)基金、日初資本、創(chuàng)新工場(chǎng)、鼎祥資本脈絡(luò)能源 戰(zhàn)略融資 2022.9.15 - 廣州暨南大學(xué)科技園管理中心天使輪 數(shù)千萬(wàn)人民幣 國(guó)新思創(chuàng)、凡創(chuàng)資本、高捷資本、國(guó)華三新A輪2023.2-涌鏵投資追光科技天使輪A輪2023.2-涌鏵投資追光科技天使輪2021.1數(shù)千萬(wàn)人民幣建智控股、凱得投資、廣州凱思天使+輪2023.3數(shù)千萬(wàn)人民幣國(guó)科京東方、紅杉種子基金戰(zhàn)略融資2023.11數(shù)千萬(wàn)人民幣隱山資本東嵐新材A輪2023.4數(shù)億人民幣三行資本光因科技天使輪2023.65千萬(wàn)人民幣轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)集團(tuán)、梅花創(chuàng)投資料來(lái)源：各公司公告、各公司官網(wǎng)、東海證券研究所整理協(xié)鑫光電：最大尺寸鈣鈦礦電池記錄創(chuàng)造者20191m×2m尺寸EPFL鈣鈦礦行業(yè)龍頭廠商，最大尺寸鈣鈦礦電池記錄創(chuàng)造者。公司投建的全球首條100MW202121×2m18%，公司為目前最大尺寸鈣鈦礦電池記錄的保持者。母公司蘇州協(xié)鑫納米科技有限公司于2017年在蘇州建成一條10MW45cm×65cmSlot-die涂布方法，輔以大面積鈣鈦礦溶液結(jié)晶成膜技術(shù)和先進(jìn)的內(nèi)聯(lián)集成技術(shù)，可批量生產(chǎn)具45cm×65cm15%，在同類(lèi)產(chǎn)品中處于高水平。圖30協(xié)鑫光電發(fā)展歷程資料來(lái)源：公司官網(wǎng)，東海證券研究所纖納光電：出貨全球首款鈣鈦礦商業(yè)組件公司成立于2015年，總部設(shè)在杭州，是全球首家率先將鈣鈦礦光伏技術(shù)成功應(yīng)用到100MW量產(chǎn)線上、實(shí)現(xiàn)連續(xù)制造，并完成全球首個(gè)鈣鈦礦分布式電站并網(wǎng)運(yùn)行的機(jī)構(gòu)。100MW鈣鈦礦規(guī)?；a(chǎn)20225月發(fā)布全球首款鈣鈦礦商業(yè)組件α2023年，公司于內(nèi)蒙古建設(shè)的全球首個(gè)商業(yè)化運(yùn)行的兆瓦級(jí)鈣鈦礦地面光伏項(xiàng)目成功并網(wǎng)，占地畝，采用11200片纖納光電自主研發(fā)和制造的鈣鈦礦組件。圖31內(nèi)蒙古兆瓦級(jí)鈣鈦礦地面光伏項(xiàng)目資料來(lái)源：公司官網(wǎng)，東海證券研究所極電光能：商用鈣鈦礦組件效率保持者4GW2024年第三季度建成投產(chǎn)。商用鈣鈦礦組件效率、最大尺寸鈣鈦礦組件效率保持者。2022年11月，極電光能1.2x0.6m218.2%，為當(dāng)前商用尺寸鈣鈦礦組件效率的行業(yè)最高紀(jì)錄；20235810.1cm2大尺寸鈣鈦礦組件穩(wěn)態(tài)效率達(dá)到3圖32極電光能全球首條GW級(jí)量產(chǎn)線建設(shè)資料來(lái)源：極電光能，東海證券研究所仁爍光能：多項(xiàng)鈣鈦礦電池效率保持者202110MW全鈣鈦礦疊層電池研發(fā)線、150MW鈣鈦礦太陽(yáng)能電池量產(chǎn)線。20221229.0%2022628.0%的世界紀(jì)錄。2023930cm*40cm19.42%150MW量產(chǎn)線兼容。圖33仁爍光能鈣鈦礦車(chē)頂光伏玻璃資料來(lái)源：公司官網(wǎng)，東海證券研究所鈣鈦礦設(shè)備端鍍膜設(shè)備：多條路線共同發(fā)展，RPD潛力巨大鍍膜設(shè)備主要涉及PVDRPDALDPVDDPDRPDALDPVD做傳輸層。空穴傳輸層主流使用濺射PVD或蒸鍍PVD。玻璃基板襯底主要使用濺射PVD形成導(dǎo)電層。表7主要鍍膜方式比較PVDRPDALD沉積原理 物理氣相沉積等離子體沉積表面飽和式反應(yīng)沉積速度快；鍍膜具 離子能量低，對(duì)電池 薄膜厚度較??；均優(yōu)點(diǎn) 有單一方向 損傷?。还馔高^(guò)率 性好；階梯覆蓋率高，電導(dǎo)率高缺點(diǎn) 控制差；厚度均勻差；階梯覆蓋率差方案成熟、成本更應(yīng)用 優(yōu)；等離子轟擊造電池性能下降

需要多個(gè)靶平行放效率較低

沉積速度較慢能滿足對(duì)薄膜厚度、精度的更高要求資料來(lái)源：勢(shì)銀，東海證券研究所國(guó)內(nèi)廠商積極布局鈣鈦礦鍍膜設(shè)備，并取得相關(guān)訂單。京山輕機(jī)、捷佳偉創(chuàng)、微導(dǎo)納米等國(guó)內(nèi)企業(yè)憑借深厚的技術(shù)積累率先布局鈣鈦礦鍍膜設(shè)備，已陸續(xù)取得訂單并實(shí)現(xiàn)出貨。表8鈣鈦礦鍍膜設(shè)備廠商布局情況企業(yè)名稱(chēng) 鈣鈦礦相關(guān)布局企業(yè)名稱(chēng) 鈣鈦礦相關(guān)布局京山輕機(jī)

公司是業(yè)內(nèi)較早完成鈣鈦礦設(shè)備開(kāi)發(fā)且有實(shí)際產(chǎn)品銷(xiāo)售的企業(yè)，在MW級(jí)鈣鈦礦電、鈣鈦礦/疊層電池實(shí)驗(yàn)線和鈣鈦礦組件自動(dòng)封裝線上都可以提供整線設(shè)備。捷佳偉創(chuàng) 以及某國(guó)家科學(xué)院的反應(yīng)式等離子鍍膜設(shè)備訂單后，自主研發(fā)的鈣訂單，公司成功中標(biāo)了某球頭部光伏企業(yè)的鈣鈦礦電池蒸鍍?cè)O(shè)備項(xiàng)目。微導(dǎo)納米

公司的夸父（KF）系列原子層沉積系統(tǒng)技術(shù)，可為鈣鈦礦/異質(zhì)結(jié)疊層電池等新興太陽(yáng)能電池表面鈍化提供高質(zhì)量超薄鈍化膜的制備，確保電池光電轉(zhuǎn)換效率的進(jìn)一步提升。資料來(lái)源：公司公告、東海證券研究所京山輕機(jī)：廣泛布局光伏電池全線生產(chǎn)設(shè)備，鈣鈦礦已獲整線訂單圖34京山輕機(jī)發(fā)展歷程

1957TOPConHJT資料來(lái)源：公司公告、東海證券研究所京山輕機(jī)是業(yè)內(nèi)較早完成鈣鈦礦設(shè)備開(kāi)發(fā)且有PVD鍍膜設(shè)備、團(tuán)簇型多腔蒸鍍?cè)O(shè)備、ITO玻璃清MWGW級(jí)鈣鈦礦量產(chǎn)裝備輸出與技術(shù)支持，已成功取得鈣鈦礦實(shí)驗(yàn)線整線訂單。表9京山輕機(jī)鈣鈦礦及疊層電池組件主要產(chǎn)品類(lèi)型 整線設(shè)備 規(guī)格類(lèi)型 整線設(shè)備 規(guī)格GW級(jí)鈣鈦礦量產(chǎn)裝備MW制造整體解決方案鈣鈦礦/疊層電池實(shí)驗(yàn)線鈣鈦礦組件自動(dòng)封裝線

PVD鍍膜設(shè)備PVD丁基膠涂覆機(jī)，匯流帶貼敷機(jī)，封裝整線設(shè)備等。PVD（NiO/ITO/Cu等、激光劃線（P1P（3（PKET2PLELIVMES系統(tǒng)智能管理。超聲波清洗機(jī)、等離子體處理設(shè)備、三腔PVD（Ou（P~PPKETL（PKET半自動(dòng)層壓機(jī)、PL/EL/IV測(cè)試機(jī)等。上玻璃機(jī)、超聲波匯流條焊接機(jī)、貼導(dǎo)電膠帶機(jī)、美容紙貼敷機(jī)、丁基膠涂敷機(jī)、膠膜裁切鋪設(shè)機(jī)、雙玻合片機(jī)、堆棧機(jī)、層壓機(jī)、接線盒焊接機(jī)、固化線、自動(dòng)化傳輸設(shè)備、測(cè)試區(qū)（包含IV、EL、絕緣耐壓測(cè)試設(shè)備、分檔機(jī)等。

滿足長(zhǎng)（2000~2300mm）×寬（1000~1200mm）的鈣鈦礦電池生產(chǎn)需求滿足長(zhǎng)（400~1200mm）×寬（300~600mm）的鈣鈦礦電池生產(chǎn)需求滿足長(zhǎng)（25~210mm）×寬（25~210mm）的鈣鈦礦及疊層電池生產(chǎn)需求滿足長(zhǎng)（2000~2300mm）×寬（900~1200mm）的組件生產(chǎn)需求資料來(lái)源：公司公告、東海證券研究所整理圖35捷佳偉創(chuàng)發(fā)展歷程

捷佳偉創(chuàng)：創(chuàng)新TOPcon“三合一”制備路線，鈣鈦礦競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)明顯20032010年與深圳市捷佳創(chuàng)精密設(shè)備有限公司成公司在TOPConPE-PolyMAD等設(shè)PE-PolyPoly“三合一”HJT25%以上。RPDPVDCVD、蒸發(fā)鍍膜及精密狹縫涂布、晶硅疊層印刷等。資料來(lái)源：公司公告、東海證券研究所各類(lèi)設(shè)備陸續(xù)出貨，PRD設(shè)備優(yōu)勢(shì)明顯。公司具備鈣鈦礦及鈣鈦礦疊層MW級(jí)整線裝備的研發(fā)和供應(yīng)能力，已向十多家光伏頭部企業(yè)和行業(yè)新興企業(yè)及研究機(jī)構(gòu)提供鈣鈦礦裝備及服務(wù)。2021RPD設(shè)備中標(biāo)首個(gè)鈣鈦礦中試設(shè)備采購(gòu)訂單，20227月，首臺(tái)套“立式反應(yīng)式等離子體鍍膜設(shè)備年，公司研發(fā)的五合一團(tuán)簇式鈣鈦礦疊層真空鍍膜設(shè)備成功下線，并順利發(fā)貨到客戶；10150畝用地，提高公司在鈣鈦礦以及鈣鈦礦疊層的研發(fā)制造能力和競(jìng)爭(zhēng)力。圖36捷佳偉創(chuàng)大面積鈣鈦礦薄膜立式量產(chǎn)設(shè)備資料來(lái)源：公司官網(wǎng)，東海證券研究所微導(dǎo)納米：業(yè)內(nèi)首條GW級(jí)TOPcon整線工藝已驗(yàn)收，鈣鈦礦ALD技術(shù)前景光明2015等多種真空薄膜技術(shù)梯次發(fā)展的產(chǎn)品體系。ALD產(chǎn)品已連續(xù)多年在營(yíng)收規(guī)模、訂單總量和市場(chǎng)占有率方面位GWTOPCon工藝整線已經(jīng)獲得客戶的驗(yàn)收。圖37微導(dǎo)納米發(fā)展歷程資料來(lái)源：公司官網(wǎng)，東海證券研究所ALD系列原子ALD/PEALD/PECVDALD技術(shù)規(guī)?；瘧?yīng)用于國(guó)內(nèi)光伏電池生產(chǎn)，目ALD在鈣鈦礦中應(yīng)用的主要問(wèn)題是產(chǎn)能節(jié)拍慢、成本高，隨著未來(lái)幾年鈣鈦礦電池商業(yè)化落地與ALD設(shè)備工藝改進(jìn)，ALD設(shè)備在鈣鈦礦電池產(chǎn)線中或?qū)⑷〉弥匾匚弧１?0微導(dǎo)納米鈣鈦礦主要產(chǎn)品產(chǎn)品系列 產(chǎn)品圖片 產(chǎn)品特征產(chǎn)品系列 產(chǎn)品圖片 產(chǎn)品特征夸父（KF）系列原子層沉積系統(tǒng)后羿（HY）系列ALD/PEALD/PECVD鏈?zhǔn)奖∧こ练e系統(tǒng)資料來(lái)源：公司公告、東海證券研究所整理

PERC、PERL、PERT、TOPCon、IBCTBCHJTPerovskite等高效電池技術(shù)的應(yīng)用；可制備薄膜包括AI2O3SiO2TiO2ZnO等；單腔最大裝片量可達(dá)2400片/批次，兼容M10-M12硅片尺寸，升級(jí)切換簡(jiǎn)單；（1-10nm，可調(diào)，具備優(yōu)異的薄膜厚度均勻性（片內(nèi)3，片間3，批間3；（>99；CVD容功能。（JT護(hù)層等薄膜材料；模塊化可靈活選擇的腔體和工藝；多單元?dú)怏w分布系統(tǒng)；快速均勻熱場(chǎng)；等離子體電場(chǎng)大面積高均勻性；各類(lèi)硅片尺寸兼容性強(qiáng)。涂布設(shè)備：國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程加速，德滬涂膜遙遙領(lǐng)先目前鈣鈦礦層制備工、日本東麗工程和韓國(guó)三表11鈣鈦礦涂布設(shè)備廠商布局情況企業(yè)名稱(chēng) 發(fā)展現(xiàn)狀企業(yè)名稱(chēng) 發(fā)展現(xiàn)狀

2023875%85.7%，助力形成國(guó)產(chǎn)狹縫涂膜設(shè)備完全替代進(jìn)口的局面。20211m*2m100MW鈣缽礦核心設(shè)備；2023年中期100MWs鈣鈦礦量產(chǎn)線大尺寸高精密涂膜設(shè)備訂單。公司實(shí)現(xiàn)了連續(xù)四層納米級(jí)別薄膜的液相涂布制備，穩(wěn)定實(shí)現(xiàn)了鈣鈦礦薄膜電池的制備，打破了薄膜電池嚴(yán)重依賴歐美高真空物理/化學(xué)沉積設(shè)備的技術(shù)壁壘。經(jīng)過(guò)目前高精密狹縫涂布機(jī)的研發(fā)和銷(xiāo)售，實(shí)現(xiàn)核心設(shè)備自主生產(chǎn)。眾能光電 對(duì)外銷(xiāo)售刮涂/涂布一體機(jī)、磁控濺射、熱蒸發(fā)鍍、ALD和激光刻蝕機(jī)等工藝單機(jī)以及光伏組件整線近100臺(tái)套。資料來(lái)源：公司公告、東海證券研究所德滬涂膜：鈣鈦礦涂層設(shè)備市占率超80%，加速推進(jìn)零部件國(guó)產(chǎn)化20160s（x2700MWs80%以上，而且100%。成立鈣鈦礦研究院，多平臺(tái)共同推進(jìn)國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程。公司投資近億元成立鈣鈦礦研究院，已建有300mm*300mm產(chǎn)品放大產(chǎn)線平臺(tái)、平米級(jí)大尺寸平臺(tái)及高通量晶硅-鈣鈦礦疊層平臺(tái)，與客戶一同面對(duì)行業(yè)技術(shù)挑戰(zhàn)。為了達(dá)到高性價(jià)比的競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)，實(shí)現(xiàn)降本增效，公司將3-570%95%以上，真正實(shí)現(xiàn)高端裝備供應(yīng)鏈國(guó)產(chǎn)化。圖38德滬涂膜鈣鈦礦產(chǎn)業(yè)方案資料來(lái)源：公司公告，東海證券研究所激光設(shè)備：參與多個(gè)生產(chǎn)流程，產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程較快TCO層以及進(jìn)行清邊絕緣，10-20%，激光設(shè)備產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程較快。表12鈣鈦礦激光設(shè)備廠商布局情況企業(yè)名稱(chēng) 發(fā)展現(xiàn)狀企業(yè)名稱(chēng) 發(fā)展現(xiàn)狀帝爾激光

公司的激光設(shè)備在鈣鈦礦太陽(yáng)能電池TCO層、氧化物層、電極層的生產(chǎn)制程中均有應(yīng)用，目前已有小批量訂單并已完成交付。邁為股份 2021年為客戶定制的單結(jié)大面積鈣鈦礦電池激光設(shè)備已交付。公司薄膜太陽(yáng)能電池激光綜合加工系統(tǒng)ALS03擁有集成度高，單臺(tái)設(shè)備即可完成鈣鈦礦太陽(yáng)能電池的P1/P2/P3/P4工序、劃線寬度和深度可控、高精度視覺(jué)定位，死區(qū)寬度可控等優(yōu)勢(shì)。杰普特

公司于2022年交付客戶并投入使用太陽(yáng)能薄膜整段生產(chǎn)設(shè)備，為客戶在國(guó)內(nèi)率先實(shí)現(xiàn)百兆瓦級(jí)2022年下半年開(kāi)始一直與頭部客戶的新工藝開(kāi)發(fā)進(jìn)行商務(wù)溝通，同時(shí)不斷開(kāi)拓新客戶。P1P4的激光模切以及激光清邊工藝。2022年公司研發(fā)第二代鈣鈦礦模切設(shè)備，增加多光束設(shè)計(jì)，加工效8倍。第二代鈣鈦礦激光模切設(shè)備已向多家客戶發(fā)出樣機(jī)試用。大族激光 備，已實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)銷(xiāo)售，與協(xié)鑫光電等行業(yè)頭部客戶一直保持合作關(guān)系。資料來(lái)源：公司公告、東海證券研究所帝爾激光：國(guó)內(nèi)首個(gè)光伏電池激光技術(shù)企業(yè)，鈣鈦礦量產(chǎn)訂單已交付圖39帝爾激光發(fā)展歷程

2008PERC、TOPcon、IBC資料來(lái)源：公司公告、東海證券研究所TCO層、鈣鈦礦層、電極層，公司激光設(shè)備在鈣鈦礦2022年完成了鈣鈦礦電池量產(chǎn)訂單的交付，2023年存在多種鈣鈦礦工藝設(shè)備訂單的交付。圖40帝爾激光鈣鈦礦激光刻膜設(shè)備資料來(lái)源：公司公告，東海證券研究所邁為股份：太陽(yáng)能電池絲網(wǎng)印刷設(shè)備龍頭企業(yè)，鈣鈦礦研發(fā)進(jìn)展順利2010圖41邁為股份發(fā)展歷程

當(dāng)前公司鈣鈦礦設(shè)備尚處于研PECVD真空設(shè)備研發(fā)、PVD真空設(shè)備研發(fā)、絲網(wǎng)印刷設(shè)備研20272023資料來(lái)源：公司公告、東海證券研究所德龍激光：專(zhuān)注激光加工設(shè)備，鈣鈦礦整段設(shè)備已實(shí)現(xiàn)交付2005年，公司新設(shè)立新能源事業(yè)部，布局鋰電、光伏等新能源應(yīng)用鈣鈦礦薄膜太陽(yáng)能電池生產(chǎn)設(shè)備；2）印刷網(wǎng)版激光制版設(shè)備；3）鋰離子、氫燃料動(dòng)力電池相關(guān)智能化裝備；4）智能化裝備。公司已推出鈣鈦礦薄膜太陽(yáng)能電池生產(chǎn)P0P2P3激光清邊設(shè)備及其中一系列自動(dòng)化設(shè)備。2022年，公司首套鈣鈦礦薄膜太陽(yáng)能電池生產(chǎn)整段設(shè)備（百兆瓦級(jí)）已順利交付客戶并實(shí)現(xiàn)業(yè)務(wù)收入。圖42德龍激光鈣鈦礦薄膜太陽(yáng)能激光綜合加工設(shè)備資料來(lái)源：公司公告，東海證券研究所大族激光：深耕激光設(shè)備，鈣鈦礦設(shè)備已實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)銷(xiāo)售1996電池生等離子增強(qiáng)氣相沉積設(shè)備低壓化學(xué)氣相沉積設(shè)備、擴(kuò)散爐、氧化爐、退火爐，以及組件段的無(wú)損劃片機(jī)、劃焊一體機(jī)等。年，公司自主研發(fā)了鈣鈦礦激光刻劃設(shè)備，并已實(shí)現(xiàn)圖43大族激光劃焊一體機(jī)資料來(lái)源：公司公告，東海證券研究所杰普特：出貨全球首臺(tái)柔性鈣鈦礦模切設(shè)備，加工效率大幅提升圖44杰普特發(fā)展歷程

公司成立于2006年，是一家集研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售激光器、激光/光學(xué)智能裝備和光纖器2021線上為客戶提供杰普特自主研發(fā)的國(guó)產(chǎn)激光器，進(jìn)一步降低生產(chǎn)成本，是行業(yè)首批實(shí)現(xiàn)TOPConSE激光摻雜光源批量出貨的廠商。資料來(lái)源：公司公告、東海證券研究所公司可為客戶提供用于光P1P4的激光模切以及激光清邊工藝。2021年為江蘇大正微納科技定制的全球首套柔性鈣鈦礦膜切設(shè)備，通過(guò)驗(yàn)收并正式投入生產(chǎn)使用。2022年公司研發(fā)第二代鈣鈦礦模切設(shè)備，增加多光束設(shè)計(jì)，加工效率較公司第一代產(chǎn)品提升8倍，目前已向多家客戶發(fā)出樣機(jī)試用。圖45杰普特大尺寸鈣鈦礦P1/P2/P3整套激光劃線設(shè)備資料來(lái)源：公司公告，東海證券研究所鈣鈦礦輔材端TCO玻璃：生產(chǎn)門(mén)檻相對(duì)較高，國(guó)內(nèi)廠商進(jìn)展迅猛TCO玻璃國(guó)外技術(shù)相對(duì)成熟，國(guó)內(nèi)企業(yè)已實(shí)現(xiàn)供貨。TCO玻璃生產(chǎn)門(mén)檻較高，鍍膜設(shè)備和工藝控制均對(duì)其連續(xù)生產(chǎn)和良率有重要影響。TCO玻璃以日本板硝子、旭硝子為領(lǐng)軍企業(yè)，國(guó)內(nèi)金晶科技率先向頭部鈣鈦礦企業(yè)供貨，技術(shù)已經(jīng)得到認(rèn)證，亞瑪頓、旗濱集團(tuán)、耀皮玻璃等廠商也都進(jìn)行了相應(yīng)的技術(shù)儲(chǔ)備。表13TCO玻璃廠商布局情況企業(yè)名稱(chēng) 鈣鈦礦相關(guān)布局企業(yè)名稱(chēng) 鈣鈦礦相關(guān)布局金晶科技 2021年，公司完成了TCO鍍膜玻璃基片的研發(fā)，在高透過(guò)率基片基礎(chǔ)上相繼開(kāi)發(fā)成功3.2mm和2.65mmTCO鍍膜玻璃。20212021電池玻璃定制、BIPV組件、TCO玻璃等多個(gè)方面展開(kāi)多維度合作。亞瑪頓耀皮玻璃

2023TCO玻20235月開(kāi)始滿負(fù)載運(yùn)行，成功大批量生產(chǎn)碲化鎘TCO玻璃并供貨客戶，成品率高于往年水平。FTOTCO玻璃已分別通過(guò)國(guó)家科學(xué)技術(shù)成果鑒定和新產(chǎn)品新技術(shù)鑒定。旗濱集團(tuán)資料來(lái)源：公司公告、東海證券研究所金晶科技：TCO玻璃龍頭企業(yè)，建設(shè)投產(chǎn)國(guó)內(nèi)首條TCO玻璃生產(chǎn)線199912月，公司光伏玻璃產(chǎn)業(yè)實(shí)體分別位于山東、寧夏、馬來(lái)西TCO國(guó)內(nèi)首條TCO玻璃生產(chǎn)線已投產(chǎn)，與多家企業(yè)建立商務(wù)關(guān)系。20225月，公司國(guó)TCO導(dǎo)電玻璃生產(chǎn)線投產(chǎn)；20239600T/D玻璃生產(chǎn)線升級(jí)改造為T(mén)COTCO20223月下線產(chǎn)品，并實(shí)現(xiàn)向客戶穩(wěn)定供貨；2022年，國(guó)內(nèi)具TCO產(chǎn)品性能，并建立了商務(wù)關(guān)系。圖46金晶科技發(fā)展歷程資料來(lái)源：公司官網(wǎng)，東海證券研究所亞瑪頓：超薄光伏玻璃領(lǐng)軍者，TCO玻璃已實(shí)現(xiàn)批量供貨2006年在深交所中小板上市，為國(guó)內(nèi)首家研發(fā)和生產(chǎn)應(yīng)用納米材料在大面積光伏玻璃上鍍制減反射膜的企業(yè)。公司率先利用物理鋼化技術(shù)規(guī)?；a(chǎn)≤2.0mm1.6mm的光伏玻璃，確保了公司核心技術(shù)和產(chǎn)品處于國(guó)內(nèi)領(lǐng)先水平。早期布局TCO行業(yè)，已實(shí)現(xiàn)批量供貨。TCO玻璃相關(guān)技術(shù)，在該領(lǐng)域積累了技術(shù)經(jīng)驗(yàn)和產(chǎn)能儲(chǔ)備，2022ITO玻璃，并且在成ITO（高平整度圖47亞瑪頓發(fā)展歷程資料來(lái)源：公司官網(wǎng)，東海證券研究所靶材：功能薄膜核心原料，國(guó)產(chǎn)化價(jià)值顯現(xiàn)鈣鈦礦電池組件需使用四層靶材，成本占比約為35%。99.95%以上，更換不同靶材可得到不同的膜系，從而實(shí)現(xiàn)導(dǎo)電或阻擋等功能。鈣鈦礦電池中，TCO2元TCO背電極>TCO玻璃導(dǎo)電層>電子傳輸層材料≈、日礦金屬（日本、東曹（日本）表14靶材在鈣鈦礦不同功能層制備中應(yīng)用鈣鈦礦功能層可選工藝相應(yīng)靶材類(lèi)型鈣鈦礦層真空蒸鍍Csl、PbCL2、FAL等蒸發(fā)材料純化層RPD&真空蒸鍍MgFx、LiF等濺射靶材&蒸發(fā)材料電子傳輸層RPD&真空蒸鍍SnO2、TiO2等濺射靶材&蒸發(fā)材料空穴傳輸層RPD&真空蒸鍍&磁控濺射CuOx、NiO、Ga2O3等濺射靶材&蒸發(fā)材料TCO背電極磁控濺射ITO、FTO、AZO等濺射靶材資料來(lái)源：協(xié)鑫科技、方昇光電、東海證券研究所整理隆華科技：助力國(guó)內(nèi)高端靶材市場(chǎng)，光伏靶材已進(jìn)入供貨階段1995ITO靶材等TCO導(dǎo)電玻璃、空穴傳輸層和電子傳圖48豐聯(lián)科光電（隆華科技子公司）發(fā)展歷程資料來(lái)源：公司官網(wǎng)、東海證券研究所阿石創(chuàng)：深耕PVD鍍膜材料，戰(zhàn)略布局ITO靶材業(yè)務(wù)2002PVD鍍膜材料的研發(fā)、生產(chǎn)200400PVD鍍膜材料行業(yè)設(shè)備齊全、技術(shù)先進(jìn)、產(chǎn)品多元化的龍頭廠商之一。公司在鈣鈦礦領(lǐng)域具備多款成熟產(chǎn)品。HJTITO200元/公斤以上。在鈣鈦礦領(lǐng)域，公司基礎(chǔ)的介孔層、致密層用靶材環(huán)節(jié)已具備成熟產(chǎn)品。圖49阿石創(chuàng)發(fā)展歷程資料來(lái)源：公司公告、東海證券研究所市場(chǎng)空間測(cè)算鈣鈦礦設(shè)備端空間測(cè)算2030年全球鈣鈦礦設(shè)備新增市場(chǎng)空322億元，2023-2030CAGR171%，其中，鍍膜設(shè)備/激光設(shè)備/涂布設(shè)備/封裝設(shè)備市場(chǎng)空間分別為77/39/23/184億元，關(guān)鍵假設(shè)如下：1）2023-2025370/432/512GW，2025-2030年CAGR12.5%1.25。2023-20300.1%13%。1.23臺(tái)，包括D設(shè)備2（0萬(wàn)元臺(tái)和D設(shè)備1（0萬(wàn)元臺(tái)41000-15002200011200GW5億元左右。表152023-2030年鈣鈦礦設(shè)備空間測(cè)算20222023E2024E2025E2026E2027E2028E2029E2030E全球光伏新增裝機(jī)（GW）230370432512574645727816923YOY61%17%19%12%12%13%12%13%容配比1.251.251.251.251.251.251.251.251.25光伏組件需求（GW）28846354064171880690810191154產(chǎn)能利用率42%45%48%51%54%58%63%68%70%組件產(chǎn)能（GW）68310341125125613291390144214991649鈣鈦礦電池滲透率0.1%0.1%0.5%1.5%3.0%5.0%7.0%10.0%13.0%鈣鈦礦電池產(chǎn)能（GW）0.41.05.618.839.969.5100.9149.9214.3單GW設(shè)備投資額（億元）13.012.011.010.09.08.07.06.05.0鈣鈦礦設(shè)備新增市場(chǎng)空間（億元