TPM在集成電路生產(chǎn)線設備維護中的應用研究(DMOS產(chǎn)品項目)的開題報告

TPM在集成電路生產(chǎn)線設備維護中的應用研究(DMOS產(chǎn)品項目)的開題報告一、研究背景隨著集成電路行業(yè)的快速發(fā)展，廠商為滿足市場需求提高生產(chǎn)效率，降低成本，迅速引入了自動化生產(chǎn)線。但生產(chǎn)線快速運轉的同時，設備故障頻繁，給生產(chǎn)帶來了不小的影響。而TPM全稱為TotalProductiveMaintenance，即全員參與、全過程保養(yǎng)、以及保持持久的生產(chǎn)維護，是一種在生產(chǎn)過程中減少設備故障，以及實現(xiàn)設備最大化運轉效率的全新系統(tǒng)。因此，本文將從DMOS（Double-diffusedMOS）產(chǎn)品項目出發(fā)，研究在集成電路生產(chǎn)線設備維護中，TPM的應用研究。二、研究目的本文旨在研究集成電路生產(chǎn)線設備維護過程中，TPM應用的利弊評估以及實施對生產(chǎn)效率的影響，最終形成科學規(guī)范嚴密的設備維護標準和TPM應用流程。研究目的具體如下：1.探究TPM思想及其實施對集成電路生產(chǎn)線設備維護效率的影響。2.分析集成電路生產(chǎn)線設備維護中存在的問題，尋找解決方案。3.結合DMOS產(chǎn)品生產(chǎn)實際情況，細化TPM應用措施，制定一套可行的TPM實施方案。4.構建生產(chǎn)線設備故障預測模型，為設備維護提供參考依據(jù)。三、研究內(nèi)容和方法1.TPM思想和實踐研究：通過文獻綜述和現(xiàn)場實際調(diào)查，探究TPM思想及其實踐細節(jié)，分析TPM應用的優(yōu)缺點。2.集成電路生產(chǎn)線設備維護問題分析：實地調(diào)查，了解生產(chǎn)線設備維護中存在的問題，采用問題樹分析法，敘述問題由淺入深的構成，并尋找解決方案。3.DMOS產(chǎn)品項目TPM方案實施：結合DMOS產(chǎn)品項目，制定TPM實施計劃，包括TPM目標確定、設備檢查清單制定、PM維護計劃制定等內(nèi)容，同時，運用PDCA（PlanDoCheckAct）循環(huán)法，不斷完善流程。4.設備維護預測模型構建：分析設備維護記錄及相關數(shù)據(jù)，構建設備維護預測模型，提前預知設備維護情況，避免生產(chǎn)線因設備故障造成的停產(chǎn)損失。五、論文的創(chuàng)新性和可實施性1.從DMOS產(chǎn)品項目出發(fā)，研究了集成電路生產(chǎn)線設備維護中TPM的應用研究，為該領域的研究提供了新思路。2.結果可行，能夠提高生產(chǎn)線設備維護效率、降低維護成本、減少因設備故障造成的停產(chǎn)經(jīng)濟損失，提高生產(chǎn)效益。3.實用性強，為企業(yè)提供科學規(guī)范嚴密的設備維護標準和TPM應用流程，為企業(yè)的正常運行保駕護航。四、研究進度和計劃論文研究的進度計劃如下：第一階段：文獻綜述和TPM應用理論研究（2周）第二階段：實地調(diào)查及設備維護問題分析（2周）第三階段：DMOS產(chǎn)品項目TPM方案制定及實施（6周）第四階段：設備維護預測模型構建（4周）第五階段：論文撰寫及修改（4周）總計：18周。五、參考文獻1.Nichols,C.R.,&Talley,W.K.(1993).Totalproductivemaintenance:astrategyforsuccess.Weston:PredictiveMaintenancePress.2.何必清.(2004).TPM全員參與生產(chǎn)維護[M].化學工業(yè)出版社.3.陳桂華.(2006).TPM生產(chǎn)維護實務[M].化學工業(yè)出版社.4.集成電路制造（China)有限公司.DMOS兩極晶體管產(chǎn)品生產(chǎn)技