半導(dǎo)體廠房簡(jiǎn)介

01半導(dǎo)體產(chǎn)品應(yīng)用半導(dǎo)體產(chǎn)品應(yīng)用隨處可見，進(jìn)入5G萬(wàn)物互聯(lián)時(shí)代，半導(dǎo)體將更加不可或缺01半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈01國(guó)內(nèi)市場(chǎng)及國(guó)產(chǎn)比例國(guó)內(nèi)市場(chǎng)及國(guó)產(chǎn)比例逐步提高，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)進(jìn)入黃金期，我們大有可為01國(guó)內(nèi)生產(chǎn)廠商合肥長(zhǎng)鑫中芯國(guó)際（中芯上海）01國(guó)內(nèi)生產(chǎn)廠商合肥晶合武漢長(zhǎng)存02建廠規(guī)劃概念個(gè)人認(rèn)為我們施工方面主要關(guān)注制程規(guī)劃，產(chǎn)能規(guī)劃，時(shí)程規(guī)劃制程規(guī)劃我們能知道廠內(nèi)大概需求多少系統(tǒng)，產(chǎn)能規(guī)劃能知道大概多少工程量，時(shí)程規(guī)劃能知道業(yè)主的重要時(shí)間節(jié)點(diǎn)，及時(shí)調(diào)試人力計(jì)劃。02時(shí)程規(guī)劃-主要節(jié)點(diǎn)02制程規(guī)劃-主要生產(chǎn)工藝半導(dǎo)體生產(chǎn)主要經(jīng)過(guò)

氧化/擴(kuò)散、沉積、光刻、刻蝕、離子注入、CMP拋光、金屬化制程、檢測(cè)，產(chǎn)品經(jīng)過(guò)以上主要工序多次反復(fù)，形成電路圖形半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝線寬等級(jí)決定著產(chǎn)品的先進(jìn)性。02制程規(guī)劃-主要生產(chǎn)設(shè)備03半導(dǎo)體廠房構(gòu)成132045987106110辦公樓1FAB廠房2大宗氣站3動(dòng)力站4廢水站5成品庫(kù)6110KV變電室7特氣存儲(chǔ)間8化學(xué)品供應(yīng)間9化學(xué)品倉(cāng)庫(kù)A110化學(xué)品倉(cāng)庫(kù)B211硅烷站合肥晶合半導(dǎo)體廠房布局03半導(dǎo)體主生產(chǎn)廠房-潔凈室由于半導(dǎo)體工業(yè)所制作的集成電路元件尺寸越來(lái)越小，在一塊小小的芯片上，整合了許許多多的元器件，因此在制造的過(guò)程中就必須防止外界雜質(zhì)污染源(包括塵埃、金屬離子、各類有機(jī)物等)，因?yàn)檫@些污染源可以造成元器件性能的劣化及產(chǎn)品成品率和可靠性的降低。所以制造集成電路必須在潔凈的環(huán)境中進(jìn)行，以盡量將污染源和硅片隔離。背景潔凈室Cleanroom:空氣懸浮粒子濃度受控的房間。它的建造和使用應(yīng)減少室內(nèi)誘入、產(chǎn)生滯留粒子。室內(nèi)其它有關(guān)參數(shù)如溫度、濕度、壓力等按要求進(jìn)行控制。——摘自GB50073-2013《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》03半導(dǎo)體主生產(chǎn)廠房示意圖03半導(dǎo)體主生產(chǎn)廠房示意圖03半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備布置示意圖先找到源頭的起點(diǎn)：WaferStart03半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備布置示意圖03半導(dǎo)體生產(chǎn)廠房廠務(wù)供應(yīng)系統(tǒng)示意圖整個(gè)廠房廠務(wù)系統(tǒng)由眾多系統(tǒng)組合，每個(gè)系統(tǒng)都會(huì)與其他系統(tǒng)有交叉，每個(gè)專業(yè)都要與其他專業(yè)精心合作才能完成一個(gè)好項(xiàng)目。03半導(dǎo)體生產(chǎn)廠房各系統(tǒng)制程排氣設(shè)備與風(fēng)管電氣室03半導(dǎo)體生產(chǎn)廠房各系統(tǒng)新風(fēng)機(jī)組冷卻塔03半導(dǎo)體生產(chǎn)廠房各系統(tǒng)化學(xué)品管道高架地板與FFU04半導(dǎo)體廠二次配簡(jiǎn)介-什么是二次配什么是二次配？二次配（HookUp）：一次側(cè)SUB-Mian管路預(yù)留點(diǎn)（Takeoff點(diǎn)）至機(jī)臺(tái)設(shè)備出口端所連接的管線。04半導(dǎo)體廠二次配簡(jiǎn)介序號(hào)系統(tǒng)名稱1電力系統(tǒng)（Power）2制程冷卻水和沖洗水（PCW&LSW)3純水（UPW)4排水系統(tǒng)（Drain）5化學(xué)品系統(tǒng)Chemical6氣體供應(yīng)（Gas）7工藝真空（Pv)8真空泵管道(Pumpingline)序號(hào)系統(tǒng)名稱9搬運(yùn)（Movein）10加熱帶（HeatingjacketandHeatingtape）11漏液偵測(cè)（Leakagesensor）12氣體偵測(cè)（Gasdetector）13基座（Foundation）14承漏盤和接液盤15防護(hù)罩16固定角座04半導(dǎo)體廠二次配簡(jiǎn)介-二次配主要特點(diǎn)二次配這些特點(diǎn)決定著想把二次配做好，需要整個(gè)Team不斷學(xué)習(xí)，團(tuán)結(jié)協(xié)作，共同努力才能做好二次配施工特點(diǎn)管制嚴(yán)格危險(xiǎn)