GB/T 43965-2024電子級正硅酸乙酯

ICS31030

CCSL.90

中華人民共和國國家標準

GB/T43965—2024

電子級正硅酸乙酯

Electronicgradeethylorthosilicate

2024-04-25發(fā)布2024-11-01實施

國家市場監(jiān)督管理總局發(fā)布

國家標準化管理委員會

GB/T43965—2024

前言

本文件按照標準化工作導則第部分標準化文件的結構和起草規(guī)則的規(guī)定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

請注意本文件的某些內容可能涉及專利本文件的發(fā)布機構不承擔識別專利的責任

。。

本文件由全國半導體設備和材料標準化技術委員會提出并歸口

(SAC/TC203)。

本文件起草單位金宏氣體股份有限公司湖北新藍天新材料股份有限公司武漢新硅科技潛江有

:、、

限公司江蘇南大光電材料股份有限公司南大光電半導體材料有限公司中國電子技術標準化研究院

、、、、

浙江中寧硅業(yè)股份有限公司內蒙古興洋科技股份有限公司洛陽中硅高科技有限公司江陰潤瑪電子

、、、

材料股份有限公司浙江衢州硅寶化工有限公司湖北江瀚新材料股份有限公司浙江開化合成材料有

、、、

限公司廣州賽西標準檢測研究院有限公司

、。

本文件主要起草人孫猛金向華趙俊莎肖俊平李楷東吳怡然曹可慰趙斌陶剛義孫明璐

:、、、、、、、、、、

陳德義馮瓊華向沖王成黃天次萬燁張園園郭樹虎戈士勇戈燁銘何珂李沖合甘俊陳道偉

、、、、、、、、、、、、、、

張明英

。

Ⅰ

GB/T43965—2024

電子級正硅酸乙酯

1范圍

本文件規(guī)定了半導體行業(yè)用電子級正硅酸乙酯的技術要求檢驗規(guī)則型式試驗標志包裝運輸

、、、、、

及貯存的要求描述了試驗方法分析方法與測定結果評價

,、。

本文件適用于沉積二氧化硅的電子級正硅酸乙酯

。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內容通過文中的規(guī)范性引用而構成本文件必不可少的條款其中注日期的引用文

。,

件僅該日期對應的版本適用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于

,;,()

本文件

。

危險貨物包裝標志

GB190

包裝儲運圖示標志

GB/T191

計數抽樣檢驗程序第部分按接收質量限檢索的逐批檢驗抽樣計劃

GB/T2828.11:(AQL)

液體化學產品顏色測定法單位鉑鈷色號

GB/T3143(Hazen———-)

工業(yè)用化學產品采樣安全通則

GB/T3723

所有部分鋼質無縫氣瓶

GB/T5099()

液體化工產品采樣通則

GB/T6680

氣瓶顏色標志

GB/T7144

電子級水

GB/T11446.1

液化氣體氣瓶充裝規(guī)定

GB/T14193

化學品安全標簽編寫規(guī)定

GB15258

氣瓶警示標簽

GB/T16804

潔凈室及相關受控環(huán)境第部分按粒子濃度劃分空氣潔凈度等級

GB/T25915.11:

庫侖法微量水分測定儀

GB/T26793

大容積鋼質無縫氣瓶

GB/T33145

四極桿電感耦合等離子體質譜方法通則

GB/T37837

電子化學品電感耦合等離子體質譜法通則

SJ/T11637

電子化學品中顆粒的測試方法

SJ/T11638

氣瓶安全技術規(guī)程

TSG23

3術語和定義

本文件沒有需要界定的