(高清版)GBT 42721-2023 電子特氣 一氧化氮

電子特氣一氧化氮2023-08-06發(fā)布國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)IGB/T42721—2023本文件按照GB/T1.1—2020《標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第1部分：標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》的規(guī)定起草。請(qǐng)注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利。本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識(shí)別專利的責(zé)任。本文件由全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)(SAC/TC203)提出并歸口。本文件起草單位：大連科利德光電子材料有限公司、昊華氣體有限公司、湖州市南潯區(qū)佰通標(biāo)準(zhǔn)化研究院、中船(邯鄲)派瑞特種氣體股份有限公司、廣東華特氣體股份有限公司、蘇州金宏氣體股份有限公司、江西華特電子化學(xué)品有限公司、華測(cè)檢測(cè)認(rèn)證集團(tuán)股份有限公司、綠菱電子材料(天津)有限公司、北京高麥克儀器科技有限公司、三峽大學(xué)、湖北和遠(yuǎn)氣體股份有限公司、湖北京瑞氣體有限公司、蘭州裕隆氣體股份有限公司、玉門大洋天慶石化有限責(zé)任公司、昊華氣體有限公司西南分公司、中昊光明化工研究設(shè)計(jì)院有限公司、上海申南特種氣體有限公司、上海華愛色譜分析技術(shù)有限公司、大連大特氣體有限公司、上海市計(jì)量測(cè)試技術(shù)研究院、中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院、杭州新世紀(jì)混合氣體有限公司、宿州伊維特新材料有限公司、聯(lián)雄投資(上海)有限公司、杭氧集團(tuán)股份有限公司、衢州杭氧特種氣體有限公司、上海凡偉儀器設(shè)備有限公司、浙江泓芯半導(dǎo)體有限公司、布魯克(北京)科技有限公司、空氣化工產(chǎn)品(中國(guó))投資有限公司、浙江炬和科技有限公司、紹興科藝標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)咨詢有限公司、沈陽中復(fù)科金壓力容器有限公司、浙江西亞特電子材料有限公司、浙江東開半導(dǎo)體科技有限公司、和立氣體(上海)有限公司、昆明廣瑞達(dá)特種氣體有限責(zé)任公司、西南化工研究設(shè)計(jì)院有限公司。本文件主要起草人：施旖旎、付夢(mèng)月、陳輝、劉穎、焦培培、郭瓊、張?zhí)鞚?、李翔宇、袁瑞玲、邵治平?電子特氣一氧化氮的要求。本文件適用于集成電路等電子工業(yè)制造中使用的電子用一氧化氮。2規(guī)范性引用文件下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，僅該日期對(duì)應(yīng)的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改單)適用于本文件。GB190危險(xiǎn)貨物包裝標(biāo)志GB/T5099(所有部分)鋼質(zhì)無縫氣瓶GB/T5832.3氣體中微量水分的測(cè)定第3部分：光腔衰蕩光譜法GB/T7144氣瓶顏色標(biāo)志GB/T8979純氮、高純氮和超純氮GB/T11640鋁合金無縫氣瓶GB/T14194壓縮氣體氣瓶充裝規(guī)定GB15258化學(xué)品安全標(biāo)簽編寫規(guī)定GB/T16804氣瓶警示標(biāo)簽GB/T28726氣體分析氦離子化氣相色譜法TSGR0005移動(dòng)式壓力容器安全技術(shù)監(jiān)察規(guī)程TSG23氣瓶安全技術(shù)規(guī)程ISO19230氣體分析采樣導(dǎo)則(Gasanalysis—Samplingguidelines)3術(shù)語和定義本文件沒有需要界定的術(shù)語和定義。4技術(shù)要求一氧化氮的技術(shù)要求應(yīng)符合表1的規(guī)定。表1技術(shù)要求項(xiàng)目指標(biāo)一氧化氮(NO)純度(摩爾分?jǐn)?shù))/10-2(氧+氬)(O?+Ar)含量(摩爾分?jǐn)?shù))/10-6氮(N?)含量(摩爾分?jǐn)?shù))/10~62表1技術(shù)要求(續(xù))指標(biāo)甲烷(CH?)含量(摩爾分?jǐn)?shù))/10-6二氧化碳(CO?)含量(摩爾分?jǐn)?shù))/10-6氧化亞氮(N?O)含量(摩爾分?jǐn)?shù))/10-6二氧化氮(NO?)含量(摩爾分?jǐn)?shù))/10-水分(H?O)含量(摩爾分?jǐn)?shù))/10-6雜質(zhì)總含量(摩爾分?jǐn)?shù))/10-65采樣一氧化氮的采樣應(yīng)符合ISO19230的規(guī)定。6試驗(yàn)方法警示：本文件規(guī)定的一些試驗(yàn)過程可能導(dǎo)致危險(xiǎn)情況，使用者應(yīng)采取適當(dāng)?shù)陌踩徒】捣雷o(hù)措施。6.1一氧化氮純度雜質(zhì)總含量按公式(1)計(jì)算：xg=x?+x?+x?+x?+xs+xs+x? (1)x?——(氧+氬)含量(摩爾分?jǐn)?shù)),10-?;x?——甲烷含量(摩爾分?jǐn)?shù)),10-?;x?——二氧化碳含量(摩爾分?jǐn)?shù)),10-°;xs——氧化亞氮含量(摩爾分?jǐn)?shù)),10-°;xs——二氧化氮含量(摩爾分?jǐn)?shù)),10-?;x?——水分含量(摩爾分?jǐn)?shù)),10-?;xg——雜質(zhì)總含量(摩爾分?jǐn)?shù)),10-?。一氧化氮純度按公式(2)計(jì)算：x氧化氮純度(摩爾分?jǐn)?shù)),10-2。 按GB/T28726規(guī)定的切割進(jìn)樣的方法測(cè)定一氧化氮中氧+氬、氮、甲烷、二氧化碳、氧化亞氮含3量?？刹捎闷渌刃У姆椒y(cè)定。當(dāng)對(duì)測(cè)定結(jié)果有異議時(shí)，以本文件規(guī)定的方法為仲裁方法。6.2.2預(yù)分離柱長(zhǎng)約1.6m、內(nèi)徑約2mm的不銹鋼管，內(nèi)裝粒徑為0.15mm～0.18mm的碳分子篩，或其他等效色譜柱。色譜柱I:長(zhǎng)約2m、內(nèi)徑約2mm的不銹鋼管，內(nèi)裝粒徑為0.15mm～0.18mm的5A分子篩，或其他等效色譜柱。該柱用于測(cè)定氧十氬、氮含量。色譜柱Ⅱ:長(zhǎng)約2.5m、內(nèi)徑約2mm的不銹鋼管，內(nèi)裝粒徑為0.18mm～0.25mm的高分子聚合物(乙基苯乙烯和二乙烯基苯的共聚物),或其他等效色譜柱。該柱用于測(cè)定甲烷含量。色譜柱Ⅲ:長(zhǎng)約2m、內(nèi)徑約2mm的不銹鋼管，內(nèi)裝粒徑為0.18mm～0.25mm的高分子聚合物(乙基苯乙烯和二乙烯基苯的共聚物),或其他等效色譜柱。該柱用于測(cè)定二氧化碳、氧化亞氮含量。標(biāo)準(zhǔn)樣品中組分含量與被測(cè)組分含量相近，平衡氣為氦。6.2.5氣路切割流程及典型色譜圖參考的氣路切割流程示意圖及典型色譜圖見附錄A。6.3二氧化氮含量的測(cè)定采用配備相應(yīng)氣體池的傅里葉紅外光譜儀測(cè)定一氧化氮中的二氧化氮含量。檢測(cè)限：1×10-(摩爾分?jǐn)?shù))。參考的測(cè)定條件如下：——二氧化氮特征峰波數(shù)：1578cm-1～1615cm-或2840cm-1～2940cm-1;——環(huán)境溫度：18℃~25℃;——環(huán)境相對(duì)濕度：≤60%。其他測(cè)定條件按照儀器說明書執(zhí)行。6.3.3試劑和材料6.3.3.1氣體池：池體材質(zhì)宜為石英或者不銹鋼。至少應(yīng)有3種不同組分含量的氣體標(biāo)準(zhǔn)樣品，二氧化氮的含量分別約為10×10-6(摩爾分?jǐn)?shù))、450×10-5(摩爾分?jǐn)?shù))、100×10-(摩爾分?jǐn)?shù)),平衡氣為氮。測(cè)定大于100×10-?(摩爾分?jǐn)?shù))的二氧化氮含量時(shí)，應(yīng)選擇與待測(cè)樣品中二氧化氮含量相近的標(biāo)準(zhǔn)樣品。按傅里葉紅外光譜儀說明書開啟儀器。調(diào)整儀器各部件達(dá)到測(cè)定條件，待儀器穩(wěn)定后即可測(cè)定。測(cè)定前，宜用高純氮吹掃光腔和氣路系統(tǒng)，參考的氣路吹掃裝置流程示意圖見附錄B。將各標(biāo)準(zhǔn)樣品通入儀器。分別記錄標(biāo)準(zhǔn)樣品中二氧化氮在1578cm-1~1615cm-1或2840cm-1~2940cm-1處的吸收響應(yīng)值。每種標(biāo)準(zhǔn)樣品至少重復(fù)進(jìn)樣兩次，直至兩次響應(yīng)值的相對(duì)偏差不大于5%,取其平均值，制作以吸光度信號(hào)的響應(yīng)值為縱坐標(biāo)、以含量為橫坐標(biāo)的工作曲線。以建立標(biāo)準(zhǔn)曲線同樣的測(cè)定條件測(cè)定樣品。重復(fù)進(jìn)樣至少兩次，直至兩次平行測(cè)定的相對(duì)偏差不大于5%,取平均值。當(dāng)水分和甲烷的含量偏高時(shí)，可能會(huì)干擾測(cè)定。當(dāng)水分干擾測(cè)定時(shí)，宜選用特征峰波數(shù)：2840cm-1～2940cm-1。當(dāng)甲烷干擾測(cè)定時(shí)，宜選用特征峰波數(shù)：1578cm-1～1615cm-1。6.3.6其他等效方法可采用其他等效的方法測(cè)定一氧化氮中的二氧化氮含量。當(dāng)對(duì)測(cè)定結(jié)果有異議時(shí)，以6.3規(guī)定的傅里葉紅外光譜分析方法為仲裁方法。6.4水分含量的測(cè)定按GB/T5832.3的規(guī)定執(zhí)行。可采用其他等效的方法測(cè)定一氧化氮中水分含量。當(dāng)對(duì)測(cè)定結(jié)果有異議時(shí)，以GB/T5832.3規(guī)定的方法為仲裁方法。6.5尾氣處理測(cè)定時(shí)，應(yīng)有一氧化氮尾氣處理措施，以防止一氧化氮對(duì)室內(nèi)環(huán)境的污染。7檢驗(yàn)規(guī)則一氧化氮產(chǎn)品應(yīng)逐一檢驗(yàn)并驗(yàn)收。當(dāng)檢驗(yàn)結(jié)果均符合表1的技術(shù)要求時(shí)，判該產(chǎn)品合格。當(dāng)檢驗(yàn)結(jié)果有任何一項(xiàng)指標(biāo)不符合表1的技術(shù)要求時(shí)，則判該產(chǎn)品不合格。8.1標(biāo)志8.1.1一氧化氮出廠時(shí)應(yīng)有產(chǎn)品質(zhì)量合格證，其內(nèi)容至少應(yīng)包括：5——產(chǎn)品名稱、生產(chǎn)廠名稱、危險(xiǎn)化學(xué)品生產(chǎn)許可證編號(hào)；——充裝壓力(MPa);——本文件編號(hào)及一氧化氮的純度。8.1.3一氧化氮的包裝標(biāo)志應(yīng)符合GB190的相關(guān)規(guī)定，顏色標(biāo)志應(yīng)符合GB/T7144的規(guī)定，標(biāo)簽應(yīng)符合GB15258、GB/T16804規(guī)定的要求。8.2.1包裝一氧化氮的氣瓶應(yīng)符合GB/T5099(所有部分)或者GB/T11640的規(guī)定。8.2.2一氧化氮的充裝及貯運(yùn)應(yīng)符合TSGR0005、TSG23、GB/T14194的規(guī)定，充裝及貯運(yùn)的安全管8.2.320℃時(shí)充裝壓力不宜大于3.5MPa。8.2.4宜使用進(jìn)行內(nèi)表面處理的氣瓶，處理后的氣瓶應(yīng)滿足本文件的要求。瓶閥出氣口連接方式宜使8.2.5應(yīng)防止泄漏和瓶口被污染。8.2.6一氧化氮產(chǎn)品應(yīng)存放在陰涼、干燥、通8.2.7保質(zhì)期為6個(gè)月。一氧化氮的安全信息見附錄C。6(資料性)氣路切割流程示意圖及典型色譜圖A.1氣路切割流程示意圖測(cè)定一氧化氮中氧十氬、氮、甲烷、二氧化碳、氧化亞氮含量時(shí)，參考的氣路切割流程示意圖見圖A.1。標(biāo)引序號(hào)說明：1——載氣進(jìn)口；2——載氣過濾器；14——預(yù)分離柱；3—-氦氣純化器；15——色譜柱I;4——十通閥；16——色譜柱Ⅱ;——六通閥；17——色譜柱Ⅲ;8——樣品氣進(jìn)口；9——樣品過濾器；21——氦離子檢測(cè)器；——流量計(jì)；——樣品氣出口；圖A.1參考的氣路切割流程示意圖A.2典型色譜圖典型的標(biāo)準(zhǔn)樣品色譜圖見圖A.2,典型的樣品色譜圖見圖A.3。7mVmV圖A.2典型的標(biāo)準(zhǔn)樣品色譜圖8(資料性)氣路吹掃裝置流程示意圖測(cè)定一氧化氮中二氧化氮含量時(shí)，參考的氣路吹掃裝置流程示意圖見圖B.1。標(biāo)引序號(hào)說明：1——吹掃氣進(jìn)口；2——樣品氣進(jìn)口；3——真空出口；9——過濾器；10——數(shù)顯壓力表；11——傅里葉紅外光譜儀；圖B.1氣路吹掃裝置流程示意圖9(資料性)C.1基本信息C.1.2相對(duì)分子質(zhì)量：30.006(按2018年國(guó)際相對(duì)原子質(zhì)量計(jì)算)。C.1.3代碼：CAS號(hào)10102-43-9;UN號(hào)1660。度(以空氣為1計(jì))1.04,臨界溫度一93℃;氧化性能(OP)0.3。時(shí)間接觸容許濃度為10mg/m3。C.2危險(xiǎn)性說明C.2.2一氧化氮不穩(wěn)定，在空氣中很快轉(zhuǎn)變?yōu)槎趸a(chǎn)生刺激作用。氮氧化物主要損害呼吸道，人吸入初期僅有輕微的眼及呼吸道刺激癥狀，如咽部不適、干咳等。常經(jīng)數(shù)小時(shí)至十幾小時(shí)或更長(zhǎng)時(shí)間潛伏期后發(fā)生遲發(fā)性肺水腫。一氧化氮濃度高可致高鐵血紅蛋白血癥。C.2.3眼和皮膚接觸可引起灼傷。C.3操作注意事項(xiàng)C.3.1嚴(yán)加密閉，提供充分的局部排風(fēng)和全面排風(fēng)。C.3.3操作人員佩戴自吸過濾式防毒面具，戴化學(xué)安全防護(hù)眼鏡，穿透氣型防毒服，戴防化學(xué)品手套。C.3.4遠(yuǎn)離熱源、熱表面、火花、明火和其他點(diǎn)火源。工作場(chǎng)所不吸煙。不使用易產(chǎn)生火花的機(jī)械設(shè)備和工具。C.3.6搬運(yùn)時(shí)輕裝輕卸，防止氣瓶及附件破損。配備相應(yīng)品種和數(shù)量的消防器材及泄漏應(yīng)急處理設(shè)備。C.4緊急情況應(yīng)對(duì)措施服，佩戴空氣呼吸器。在上風(fēng)向滅火。噴水冷卻容器，直至滅火結(jié)束。盡可能將容器從火場(chǎng)移至空曠處。C.4.2如果人員誤吸入一氧化氮，迅速脫離現(xiàn)場(chǎng)至空氣新鮮處，保持呼吸道通暢，立即就醫(yī)。如果呼吸C.4.4如果眼睛接觸，立即分開眼瞼，用流動(dòng)清水或生理鹽水沖洗5min～10min,就醫(yī)。C.5泄漏處理處置C.5.4不使泄漏物與可燃物接觸。噴霧狀水抑制蒸氣或改變蒸氣云流向，避免水流接觸泄漏物，不用水直接沖擊泄漏物或泄漏源。C.6存儲(chǔ)注意事項(xiàng)C.6.2庫(kù)溫不超過30℃。C.6.4存儲(chǔ)區(qū)備有泄漏應(yīng)急處理設(shè)備。C.7廢棄處置說明C.7.1廢棄化學(xué)品根據(jù)國(guó)家和地