SMT設(shè)備數(shù)據(jù)采集SEMI通訊指令介紹

SMT設(shè)備數(shù)據(jù)采集SEMI通訊指令介紹SECSGEM框架介紹(2)2.SECS-II消.息分類及功能(4)4.HSMS介紹(7)3.1.HSMS報?格式(8)3.2.HSMS的狀態(tài)(14)3.3.HSMS的通信流程以及超時處理(15)GEM型介紹(18)GEM態(tài)模型(19).2.GEM定義的?產(chǎn)設(shè)備能?(23)數(shù)收集(24)告收集(24)9)2))6.2.獲取?產(chǎn)設(shè)備的狀態(tài)參數(shù)(33))))1.SECS/GEM總框架介紹SEMI通信標(biāo)準(zhǔn)模型SECS/GEM定義了半導(dǎo)體?產(chǎn)設(shè)備與主機之間、各?產(chǎn)設(shè)備RHSMSTCPIP(261:SECS-II定義了半導(dǎo)體?產(chǎn)設(shè)備與主機之間消息的通信格式、規(guī)范與內(nèi)容；GEM則定義了半導(dǎo)體?產(chǎn)制造過程中的通?情景下的交互?為整個標(biāo)準(zhǔn)型如圖2-1所?，這些標(biāo)準(zhǔn)為別定義在E4、E5、E30、E37的SEMI標(biāo)準(zhǔn)編號中其中通信內(nèi)容包括設(shè)備狀態(tài)、設(shè)備控制、物料狀態(tài)、物料控制、過程處理、配?管理、報警事件處理等。了?套通?的半導(dǎo)體?產(chǎn)設(shè)備?為、交互機制和典型的應(yīng)?情景。每層協(xié)議所實現(xiàn)的功能如下圖2am的含義。表2-1部分消息分類以及活動定義treammStream備報警的相關(guān)內(nèi)容；m送的報告信息；Stream管理；m1)S1F3是主機要求獲取?產(chǎn)設(shè)備的狀態(tài)參數(shù)；2)S1F4則是由?產(chǎn)設(shè)備把狀態(tài)參數(shù)返回給主機；3)S1F17是主機要求?產(chǎn)設(shè)備ONLINE；4)S1F18則是返回ONLINE的結(jié)果。MLSML?：Type與數(shù)據(jù)類型的對應(yīng)關(guān)系請見表2-2.t以下是?些具體的例?，如S5F1(報警報告)由設(shè)備送往服務(wù)器的消息由SML語?描述后為：>.4.HSMS介紹HSMS中包含以下七種服務(wù)：1)建?通過TCP/IP連接的主機與?產(chǎn)設(shè)備或是各?產(chǎn)設(shè)備之間的通信。2)建?以及維護通過SECS信息交換數(shù)據(jù)的會話協(xié)議。3)通過TCP/IP交換數(shù)據(jù)。4)識別通信中的錯誤條件。5)在確認(rèn)連接雙?不再需要TCP/IP協(xié)議時結(jié)束通信。6)通過連接測試來確認(rèn)通信連接的完整性．7)對于不兼容標(biāo)準(zhǔn)消息予以丟棄。nSECS3.1.HSMS報?格式SECSIIHSMSHSMS所?： (4字節(jié))(占?10個字節(jié))SECS-II信息圖2-4HSMS報?格式HSMS報?由3部分組成：1)前4個字節(jié)包含了整個HSMS消息的長度信息(消息長度是包含了消息SMS不同的消息類型以及消息的基本信息?？砂?G的數(shù)據(jù)信息其中HSMS報?頭10個字節(jié)的含義如下表2-3所?：科技?學(xué)碩?學(xué)位論?S為SECS-II信息。它值的時候表?HSMS消息為控制消息。如下表2-4所?：gersp表2-5HSMS消息類型結(jié)構(gòu)其中00000000A表?的是控制消息的長度為?個字節(jié)。S巧為0表?此消息為數(shù)據(jù)消息。在HSMS消息頭之后緊接著的就是SECS-II的消CSIITCPIP再把SECS-II消息體的內(nèi)容取出來。下圖2(a)(b)所?的是HSMS-SS數(shù)據(jù)消息中連接??所發(fā)送的S1F1SECS-II消息的例?。3.2.HSMS的狀態(tài)圖2-9HSMS狀態(tài)轉(zhuǎn)換不能通過HSMS協(xié)議傳輸SECS-II數(shù)據(jù)。S下表2-6還顯?了這?個狀態(tài)之間的觸發(fā)條件：表2-6HSMS選擇流程CTEDSSELECTEDSECSII3.3.HSMS的通信流程以及超時處理HSMS的通訊過程分為以下?個流程：ve為服務(wù)器端偵聽來??產(chǎn)設(shè)備的連接請求?以建?連接。SECSHSMSSELECTED。SELECTEDHSMS成才可以進?SECS數(shù)據(jù)交換。如果收到的回應(yīng)的狀態(tài)不為0，Select過程失敗。請求可以在TCP/IP協(xié)議連接建?后(狀態(tài)為CONNECTED后)的任何時間執(zhí)?。常是在斷開TCP/IP連接之前?先結(jié)束HSMS會話。為NOTSELECTED。T5。SPIP這些分段發(fā)送的數(shù)據(jù)需要經(jīng)過較長的時間才能完全傳送完整。?T8則是對這個時間進?計時，如果消息傳送時間?于T8并且HSMS的通信流程模型可以通過下?的圖形2-10到2-13表?出來：圖2-11數(shù)據(jù)消息通信流程圖2-13控制消息斷開通信流程5.GEM標(biāo)準(zhǔn)模型介紹加以規(guī)范化。在這些規(guī)范化的模型中，GEM標(biāo)準(zhǔn)定義了主機與?產(chǎn)設(shè)備通信的最基本的實容。備的通信狀態(tài)模型。2)控制狀態(tài)模型。3)設(shè)備的?產(chǎn)過程模型。其它額外的功能包括：5)參數(shù)收集。6)跟蹤數(shù)據(jù)收集。7)狀態(tài)數(shù)據(jù)收集。8)報警管理。)遠(yuǎn)程控制。序管理。端服務(wù)。產(chǎn)企業(yè)與不同的供應(yīng)商做不同的通信軟件及接?。GEM標(biāo)準(zhǔn)的提出簡化了半導(dǎo)體?產(chǎn)制造??C