GB/T 42838-2023 半導(dǎo)體集成電路 霍爾電路測(cè)試方法（正式版）

ICS31.200半導(dǎo)體集成電路霍爾電路測(cè)試方法國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)IGB/T42838—2023本文件按照GB/T1.1—2020《標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第1部分：標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》的規(guī)定起草。請(qǐng)注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專(zhuān)利。本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識(shí)別專(zhuān)利的責(zé)任。本文件由中華人民共和國(guó)工業(yè)和信息化部提出。本文件由全國(guó)半導(dǎo)體器件標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)(SAC/TC78)歸口。本文件起草單位：中國(guó)電子技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化研究院、南京中旭電子科技有限公司、合肥美菱物聯(lián)科技有1GB/T42838—2023半導(dǎo)體集成電路霍爾電路測(cè)試方法本文件規(guī)定了半導(dǎo)體集成電路霍爾電路(以下稱(chēng)為器件)電特性測(cè)試方法。本文件適用于半導(dǎo)體集成電路霍爾電路電特性的測(cè)試。下列文件中的內(nèi)容通過(guò)文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，僅該日期對(duì)應(yīng)的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改單)適用于本文件。GB/T17574—1998半導(dǎo)體器件集成電路第2部分：數(shù)字集成電路3術(shù)語(yǔ)和定義3.5下列術(shù)語(yǔ)和定義適用于本文件。Bop在工作點(diǎn)上垂直穿過(guò)單位面積的磁力線的數(shù)量。釋放點(diǎn)磁感應(yīng)強(qiáng)度magneticreleasepointBrp在釋放點(diǎn)上垂直穿過(guò)單位面積的磁力線的數(shù)量。在儀表全部測(cè)量范圍內(nèi)，被測(cè)量值上行和下行所得到的兩條特性曲線之間的最大偏差。tr電路輸出由低電平變?yōu)楦唠娖剿璧臅r(shí)間。tr電路輸出由高電平變?yōu)榈碗娖剿璧臅r(shí)間。2GB/T42838—2023b)避免外界干擾對(duì)測(cè)試準(zhǔn)確度的影響；c)測(cè)試設(shè)備在計(jì)量有效期內(nèi)，測(cè)試設(shè)備引起的測(cè)試準(zhǔn)確度偏差符合相關(guān)文件的規(guī)定；d)施于被測(cè)器件的電源電壓與規(guī)定值偏差應(yīng)在士1%以?xún)?nèi)，施于被測(cè)器件的其他電參量的準(zhǔn)確度符合相關(guān)文件的規(guī)定；e)確保被測(cè)器件與測(cè)試外圍電路連接良好；f)被測(cè)器件與測(cè)試系統(tǒng)連接或斷開(kāi)時(shí)，承受的電應(yīng)力不超過(guò)相關(guān)文件中規(guī)定的最大非破壞應(yīng)力g)避免因靜電放電而引起器件損傷；h)非被測(cè)輸入端和輸出端是否懸空應(yīng)符合相關(guān)文件的規(guī)定。5功能測(cè)試根據(jù)規(guī)定的要求設(shè)置程序。按器件的功能原理生成測(cè)試向量或真值表，通過(guò)測(cè)試系統(tǒng)或信號(hào)發(fā)生定的真值表要求。測(cè)試原理圖如圖1所示。3輸入端輸輸入端輸出端a)環(huán)境或參考點(diǎn)溫度；b)電源電壓；c)輸入端條件；a)將被測(cè)器件接入測(cè)試系統(tǒng)中；b)電源端施加規(guī)定的電壓；c)非被測(cè)輸入端施加規(guī)定的條件；d)被測(cè)輸入端設(shè)置輸入激勵(lì)信號(hào)，檢測(cè)相應(yīng)的輸出端信號(hào)是否符合相關(guān)文件規(guī)定的6靜態(tài)參數(shù)測(cè)試測(cè)試使電路導(dǎo)通的磁場(chǎng)大小。6.1.2測(cè)試原理圖測(cè)試原理框圖見(jiàn)圖2所示。4GB/T42838—2023磁場(chǎng)調(diào)節(jié)器被測(cè)器件V標(biāo)引符號(hào)說(shuō)明：Vcc-—電源電壓；Vour——輸出端電壓。圖2測(cè)試電路圖6.1.3測(cè)試條件測(cè)試期間，下列測(cè)試條件應(yīng)符合器件詳細(xì)規(guī)范的規(guī)定：a)環(huán)境或參考點(diǎn)溫度；b)電源電壓；c)輸入端條件；d)輸出端電壓；e)負(fù)載電阻。6.1.4測(cè)試程序測(cè)試期間，應(yīng)按以下程序進(jìn)行測(cè)試：a)將被測(cè)器件接入測(cè)試系統(tǒng)中；b)電源端施加規(guī)定的電壓值；c)調(diào)節(jié)磁場(chǎng)調(diào)節(jié)器；d)非被測(cè)輸入端施加規(guī)定的條件；e)當(dāng)電壓表從高電位變?yōu)榈碗娢坏乃查g，從磁強(qiáng)計(jì)讀出Bop。6.2釋放點(diǎn)磁感應(yīng)強(qiáng)度BRp測(cè)試使電路關(guān)斷的磁場(chǎng)大小。6.2.2測(cè)試原理圖測(cè)試原理框圖見(jiàn)圖2所示。5GB/T42838—2023a)環(huán)境或參考點(diǎn)溫度；b)電源電壓；c)輸入端條件；e)負(fù)載電阻。a)將被測(cè)器件接入測(cè)試系統(tǒng)中；b)電源端施加規(guī)定的電壓值；c)調(diào)節(jié)磁場(chǎng)調(diào)節(jié)器；d)非被測(cè)輸入端施加規(guī)定的條件；e)當(dāng)電壓表從低電位變?yōu)楦唠娢坏乃查g，從磁強(qiáng)計(jì)讀出BRP。6.3回差BH測(cè)量磁場(chǎng)上行和下行所得到的兩條特性曲線之間的最大偏差。測(cè)試原理框圖見(jiàn)圖2所示。a)按6.1、6.2的規(guī)定，分別測(cè)量得到工作點(diǎn)磁感應(yīng)強(qiáng)度Bop和釋放點(diǎn)磁感應(yīng)強(qiáng)度BRp;b)由工作點(diǎn)磁感應(yīng)強(qiáng)度Bop減去釋放點(diǎn)磁感應(yīng)強(qiáng)度BRp得到回差。a)環(huán)境或參考點(diǎn)溫度；b)電源電壓；c)輸入端條件；d)輸出端電壓；e)負(fù)載電阻。按GB/T17574—1998第IN篇測(cè)試方法中第2節(jié)的第2章。6.5輸入低電平電流In(需要時(shí))按GB/T17574—1998第IV篇測(cè)試方法中第2節(jié)的第2章。6被測(cè)器被測(cè)器件磁場(chǎng)調(diào)節(jié)器6.6輸出高電平電流Ion(需要時(shí))測(cè)試原理框圖見(jiàn)圖3所示。oA0Vcc—--電源電壓；Vo——輸出端電壓；a)環(huán)境或參考點(diǎn)溫度；b)電源電壓Vcc;c)輸入端條件；d)輸出端條件；e)磁場(chǎng)小于或等于釋放點(diǎn)磁感應(yīng)強(qiáng)度B≤BRp。b)電源端施加規(guī)定的電壓值；d)被測(cè)輸出端施加規(guī)定的電壓Vo;其余輸出端開(kāi)路；e)在被測(cè)輸出端測(cè)得輸出高電平電流IoH;7GB/T42838—20236.7輸出低電平電壓VoL測(cè)試原理框圖見(jiàn)圖4所示。磁場(chǎng)調(diào)節(jié)器mT件V件V被測(cè)器圖4輸出低電平電壓測(cè)試電路圖a)環(huán)境或參考點(diǎn)溫度；b)電源電壓Vcc;d)磁場(chǎng)大于或等于工作點(diǎn)磁感應(yīng)強(qiáng)度B≥Bop。a)在規(guī)定的環(huán)境條件下，將被測(cè)器件接入測(cè)試系統(tǒng)中；b)電源端施加規(guī)定的電壓值；d)在被測(cè)輸出端測(cè)得輸出低電平電壓Vou;8被測(cè)路被測(cè)路件輸入端6.8電源電流Icc測(cè)試原理框圖見(jiàn)圖5所示。Aa)環(huán)境或參考點(diǎn)溫度；b)電源電壓Vce;c)輸入端條件。b)電源端施加規(guī)定的電壓值；c)輸出端開(kāi)路；d)在電源端測(cè)得電源電流Icc。9GB/T42838—2023測(cè)試驗(yàn)證器件處于靜態(tài)模式下的電流是否穩(wěn)定。6.9.2測(cè)試電路圖測(cè)試電路圖如圖5所示。6.9.3測(cè)試條件相關(guān)文件應(yīng)規(guī)定下列條件：a)環(huán)境或參考點(diǎn)溫度；b)電源電壓；c)輸入端條件；d)輸出端開(kāi)路；e)每次測(cè)試間隔時(shí)間。6.9.4測(cè)試程序測(cè)試程序如下：a)按照6.6在規(guī)定間隔的時(shí)間進(jìn)行電流測(cè)量；b)按式(1)計(jì)算出電流偏移量，對(duì)同一電路在不同的時(shí)刻進(jìn)行靜態(tài)電流的測(cè)試，每次測(cè)試的間隔時(shí)間需按照規(guī)定的時(shí)間設(shè)置，而測(cè)試的值之間的差值就是電流偏移量。電流偏移量達(dá)到相應(yīng)的規(guī)范的要求判斷為合格。△Icca=IccQ()—IccQ(i-1) (1)式中：△Iccg——電流偏移量；IccQ()——第i次測(cè)量靜態(tài)電流的測(cè)量值；7動(dòng)態(tài)參數(shù)測(cè)試7.1輸出電平下降時(shí)間(tp)測(cè)試輸入端在施加規(guī)定的條件時(shí)，輸出脈沖電壓由高電平到低電平變化時(shí)，輸出脈沖沿上規(guī)定的參考電壓間的時(shí)間。波形