GBT 29845-2013 半導(dǎo)體制造設(shè)備的最終裝配、包裝、運輸、拆包及安放導(dǎo)則_第1頁
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Guideforfinalassembly,packagin中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局 I 13縮略語 4清潔和包裝材料 26三層包裝 27包裝程序 3 3 410監(jiān)控設(shè)備安裝程序 511標(biāo)記和標(biāo)簽 5 6 6 6 7本標(biāo)準(zhǔn)按照GB/T1.1--2009給出的規(guī)則起草。本標(biāo)準(zhǔn)由全國半導(dǎo)體設(shè)備與材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(SAC/TC1GB/T25915.1潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第1部分：空氣潔凈度等級SEMIF63半導(dǎo)體加工用超純水指南(GuidelinesforUltrapureWaterUsedinSemiconductorAPA:美國工程木材協(xié)會(theengineeredwoodassocEPS:發(fā)泡聚苯乙烯(expandedpolystyrene)SME:半導(dǎo)體制造設(shè)備(semiconductor——IPA(參見SEMIC41);2拭巾和棉簽蘸取用UPW稀釋的10%～70%IPA溶液進(jìn)行清洗，然后立即進(jìn)入到潔凈裝配區(qū)。5.2.1SME所有組件應(yīng)在至少滿足GB/T25915.1中ISO6級及以上要求的潔凈室里裝配。真空吸塵，用經(jīng)過過濾的空氣吹掃，用無塵的擦拭巾和棉簽蘸取用UPW稀釋的10%～70%IPA溶液5.3.3帶真空室的SME應(yīng)將真空室和真空管線在真空狀態(tài)下密封和裝運。5.3.5SME完成總裝和測試后，所有暴露在外的表面應(yīng)通過擦拭巾和棉簽蘸取用UPW稀釋的10%~5.3.6應(yīng)徹底檢查SME的清潔度。5.3.7供應(yīng)商應(yīng)隨SME提供其檢查結(jié)6.1下列程序支持全部密封SME、獨立組件或支撐部件的包裝規(guī)范，使用三層包裝(見第7章)以使每6.2根據(jù)以下指南在特定的交貨和搬運階段(見第14章)去除各層包裝：—中間包裝：在到達(dá)至少滿足GB/T25915.1中ISO7級要求的中間預(yù) 部件和組件到達(dá)客戶裝貨碼頭/接收區(qū)時，應(yīng)去除外部裝運材料。外層包裝也應(yīng)進(jìn)行清潔并3于5層。4—-32kg/m3~64kg/m3的聚乙烯泡沫；-64kg/m3~96kg/m3的聚乙烯泡沫。8.3.3對于對溫度更加敏感的SME,可使用非一次性(即可再次使用)的電池操作的溫度測量記錄5

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