離子注入設備行業(yè)市場分析報告2024年

2024年離子注入設備行業(yè)市場分析報告匯報人：XXX日期：XXX1contents目錄行業(yè)發(fā)展概述行業(yè)環(huán)境分析行業(yè)現(xiàn)狀分析行業(yè)格局及趨勢12342Part01行業(yè)發(fā)展概述行業(yè)定義行業(yè)發(fā)展歷程行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈3行業(yè)定義離子注入機主要應用于半導體和光伏領域，半導體領域中屬于晶圓制造設備，主要用于晶圓制造流程中的注入（摻雜）工序，主要方式和目的是通過加入少量雜質(zhì)使得原本導電性能很差的純凈硅變?yōu)橐环N有用的半導體。通過離子注入機的加速和引導，將需摻雜離子以離子束形式入射到材料中去，發(fā)生一系列理化反應從而優(yōu)化材料表面性能。離子注入相較以往的高溫熱擴散法存在精確控制能量和劑量、均勻性好、純度高等優(yōu)點，已基本取代高溫熱擴散法成為主流工藝。根據(jù)離子束電流和束流能量范圍，一般可以把離子注入機分為低能大束流離子注入機、高能離子注入機和中低束離子注入機，應用存在區(qū)別，如高能離子注入機因電子束能量較高，主要用于深埋層。離子注入機主要用于摻雜工藝。目前從摻雜工藝技術上有2種方法:一是高溫熱擴散法，即將摻雜氣體導入放有硅片的高溫爐，將雜質(zhì)擴散到硅片內(nèi)的一種方法；二是離子注入法，通過離子注入機的加速和引導，將要摻雜的離子以離子束形式入射到材料中去，離子束與材料中的原子或分子發(fā)生一系列理化反應，入射離子逐漸損失能量，并引起材料表面成分、結(jié)構和性能發(fā)生變化，最后停留在材料中，從而優(yōu)化材料表面性能，或使材料獲得某些新的性能。4行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈離子注入機就是在離子源部分將雜質(zhì)分子進行電離，從而產(chǎn)生大量的各種各樣的離子，通過萃取極的高壓，將所有的離子吸取出來進而獲得所需的注入能量，然后利用束線部分的磁場，四極棱鏡，孔徑篩選器，來篩選出所需能量的離子及均勻性，最后利用靶室的各部件的相對運動對硅片的均勻注入。機械材料、電氣材料、儀器儀表、真空系統(tǒng)、掃描系統(tǒng)離子注入機設計、離子注入機制造集成電路制造、IGBT制造、太陽能電池制造、AMOLED制造產(chǎn)業(yè)鏈概述5行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈機械材料、電氣材料、儀器儀表、真空系統(tǒng)、掃描系統(tǒng)產(chǎn)業(yè)鏈上游離子注入機設計、離子注入機制造產(chǎn)業(yè)鏈中游集成電路制造、IGBT制造、太陽能電池制造、AMOLED制造產(chǎn)業(yè)鏈下游6Part02行業(yè)環(huán)境分析行業(yè)政治環(huán)境行業(yè)經(jīng)濟環(huán)境行業(yè)社會環(huán)境行業(yè)驅(qū)動因素7行業(yè)政治環(huán)境描述8行業(yè)政治環(huán)境2突破集成電路關鍵裝備和材料，加強集成電路裝備、材料與工藝結(jié)合，研發(fā)光刻機、刻蝕機、離子注入機等關鍵設備《國家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展推進綱要》主要包括6英寸/8英寸/12英寸集成電路生產(chǎn)線所用的光刻機、刻蝕機、離子注入機、退火設備、單晶生長設備、薄膜生長設備、化學機械拋光設備、封裝設備、測試設備等《戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)重點產(chǎn)品和服務指導目錄(2016)》將高效N型晶體硅太陽能離子注入機等太陽能電池生產(chǎn)裝備，以及中束流、大束流、高能離子注入機等集成電路生產(chǎn)裝備列入名錄《首臺（套)重大技術裝備推廣應用指導目錄(2019年版）》集成電路為重點發(fā)展領域，“十四五”規(guī)劃建設世界級產(chǎn)業(yè)集群。在裝備材料方面，加強裝備材料創(chuàng)新發(fā)展，突破光刻設備、刻蝕設備、薄膜設備、離子注入設備、濕法設備,檢測設備等集成電路前道核心工藝設備言戰(zhàn)網(wǎng)《上海市先進制造業(yè)發(fā)展“十四五”規(guī)劃》901020304行業(yè)社會環(huán)境整體光伏產(chǎn)業(yè)來看，根據(jù)中國光伏行業(yè)協(xié)會（CPIA）的統(tǒng)計，2018年全球光伏設備市場規(guī)模為48億美元，同比增8%。太陽能光伏設備可分為硅片生產(chǎn)、電池生產(chǎn)和組件生產(chǎn)三個環(huán)節(jié)的設備，其中離子注入主要用于電池生產(chǎn)，由于全球僅萬業(yè)企業(yè)旗下凱世通、美國Intevac和日本真空技術三家生產(chǎn)太陽能離子注入機，根據(jù)萬業(yè)企業(yè)公告，2017年萬業(yè)企業(yè)旗下凱世通和Intevac分別銷售15和2臺離子注入機（日本真空技術未披露銷量），以600萬人民幣的平均單價來測算，則2017年離子注入機的市場規(guī)模至少為02億人民幣，占2017年全球光伏設備市場規(guī)模為0.3%以上。展望未來，隨著國內(nèi)光伏建設的政策支持與方案落地，疊加歐洲、印度與其他新興國家的發(fā)力，全球光伏裝機量有望持續(xù)增長，從而帶來整體光伏設備與太陽能離子注入設備行業(yè)的繼續(xù)成長。10行業(yè)驅(qū)動因素1234政策支持在中美持續(xù)對弈、中方政策高度重視、國有基金資金助力的情況下，離子注入機的國產(chǎn)化進程正在加速到來。由于離子注入機在集成電路制造前道設備中的不可替代性和目前被美日龍頭企業(yè)壟斷的市場現(xiàn)狀，我國在政策上對離子注入機重視程度較高，在多項政策中將離子注入機的研發(fā)列為戰(zhàn)略發(fā)展目標。中國晶圓廠加速擴建產(chǎn)能,半導體專用設備需求巨大離子注入設備占前道晶圓設備市場33份額，目前全球每年市場規(guī)模約1B億美元。根據(jù)離子注人設備產(chǎn)率和工藝注入量的不同.估計成熟制程產(chǎn)線每方片/月需要約2臺大束流離子注入機，先進制程產(chǎn)線每萬片/月需要約4-5臺大末流離子注入機。如中芯計劃投資76億美元新建的北京亦莊2Bnm一期.設計產(chǎn)能10方片/月,約需40臺離子注入機.總計價值約12億人民幣。長江存儲—條月產(chǎn)5方片12英寸存儲制造線.已采購30余臺離子注入機。有望快速突破OLED面板離子注入技術瓶頸需求驅(qū)動:AMOLED已經(jīng)成為智能移動設備面板的首選，除智能手機，AMOLED面板已滲透到智能手表、車載顯示和虛擬現(xiàn)實可穿戴設備等更多應用領域。至2020年,AMOLED面板需求面積年復合增長率將達40.7%。技術需求:目前主流TFT-LCD顯示的前段制造工藝和AMOLED前段制造工藝大部分設備相同,由于AMOLED采用LTPSTFT背板,需額外添加激光結(jié)晶設備和離子注入機。光伏需求加速離子注入設備改造N-PERT電池產(chǎn)線離子注入高效低成本,中國企業(yè)凱世通光伏領城實力強。全球光伏離子注入企業(yè)僅有三家，除凱世通外,還有美國Irntevac和日本真空。凱世通專注離子注入技術，緊抓中國巨大的市場，光伏領域出貨量世界第一、占據(jù)光侯離子注入絕對領導地位。中國光伏離子注入機潛在市場規(guī)模約為225億元:根據(jù)國家能源局2018年公布2017年全國新增光伏裝機58Gw,其中生產(chǎn)線超過000條，未來光伏的發(fā)展趨勢是高效單品的路線，通過產(chǎn)業(yè)鏈交流假如按照30%技術升級的需求進行估算,中國有近30O條生產(chǎn)線需耍用離子注入設備來改造為N-PERT電池產(chǎn)線,市場空間較大。11Part03行業(yè)現(xiàn)狀分析行業(yè)現(xiàn)狀行業(yè)痛點12行業(yè)現(xiàn)狀下游消費電子需求回暖，疊加汽車電子產(chǎn)業(yè)快速擴張，全球半導體產(chǎn)業(yè)景氣度高漲帶動半導體設備市場規(guī)模持續(xù)擴張，數(shù)據(jù)顯示，2021年全球半導體設備市場規(guī)模達1024億美元，經(jīng)歷了2019年產(chǎn)業(yè)的整體萎縮，產(chǎn)業(yè)回彈規(guī)模更快細分產(chǎn)品類型而言，晶圓制造設備種類眾多且技術壁壘深厚，如光刻機等產(chǎn)品價格極高，是半導體設備的主要組成部分，相較2020年結(jié)構（晶圓制造設備占比84%、封裝和測試分別占比9%和6%），封裝設備因銷售額同比增長87%左右，遠高于晶圓設備增速（44%）和測試設備（30%），占比提升至12%左右。離子注入機屬于半導體設備的關鍵設備，占比晶圓制造設備價值量4-6%左右。13行業(yè)市場情況隨著下游消費電子領域回升和汽車電子等需求持續(xù)增長，2020-2021年全球半導體產(chǎn)業(yè)景氣度回升，離子注入機市場規(guī)?？焖贁U張，2019年達18億美元左右，根據(jù)半導體設備總體規(guī)模變化情況預測，2021年全球離子注入機市場規(guī)模將超過30億美元，2022年上半年來看，主要晶圓廠訂單減少，整體半導體設備領域增長將降速，離子注入機需求增長有限。目前，全球離子注入機仍以大束流離子注入機為主，數(shù)據(jù)顯示，大束流離子注入機占全部離子注入機市場份額的61%，中低束流離子注入機及高能離子注入機分別占比20%和18%。主要原因是14行業(yè)市場規(guī)模2016年中國離子注入機的市場規(guī)模約為222億元，2020年增長至453億元，年復合增長率為168%，近3年復合增長率為223%。從過去市場表現(xiàn)來看，國內(nèi)市場規(guī)模增速均高于行業(yè)增速，未來隨著國內(nèi)晶圓廠加速擴張，對離子注入機的采購需求將隨之快速增長，中國市場有望持續(xù)領跑全球增速。離子注入機按下游應用領域不同，可以分為集成電路離子注入機、光伏離子注入機和AMOLED離子注入機。據(jù)統(tǒng)計，截至2020年我國離子注入機總產(chǎn)量為26臺，同比2019年增加了6臺。15行業(yè)現(xiàn)狀進出口目前高端集成電路離子注入機仍嚴重依賴進口，就數(shù)量而言，進口和出口整體皆表現(xiàn)為穩(wěn)步增長趨勢，進口增速略高于出口增速，尤其2021年國內(nèi)半導體產(chǎn)也需求大幅度上升背景下，離子注入機進口量增加154臺，進口金額增長45%至13億美元，出口而言雖然出口量有所上升，但產(chǎn)品主要為中低端產(chǎn)品，對比進出口均價而言，單臺離子注入機進口均價是出口均價的40倍以上。進口來源地就我國離子注入機進口來源分布而言，美國是最大供給國，數(shù)據(jù)顯示2021年我國從美國進口234臺離子注入機，金額達11億美元，除此之外，日韓等半導體發(fā)展較快的發(fā)達國家也是進口關鍵來源國，分別從日本和韓國進口74和35臺。16流通環(huán)節(jié)有待完善離子注入設備產(chǎn)品種類繁多，消費數(shù)量較大，質(zhì)量參差不齊，試劑流通管理難以完善，導致離子注入設備行業(yè)目前在流通領域還面臨許多問題。（1）在產(chǎn)品的流通中，許多環(huán)節(jié)缺少安全的冷鏈和冷庫設施供應。在目前運輸多為汽車和鐵路運輸?shù)那闆r下，離子注入設備行業(yè)生產(chǎn)企業(yè)普遍采用運輸箱內(nèi)置冰凍袋的冷藏方式，在高溫天氣或長距離運輸?shù)那闆r下無法確保運輸溫度的穩(wěn)定，影響試劑的安全性。（2）監(jiān)管人員技術水平有待提高。離子注入設備產(chǎn)品是一種高技術含量的產(chǎn)品，產(chǎn)品研發(fā)涉及生物學、信息技術、電子技術、工程學等多項學科，而目前從事離子注入設備行業(yè)的人員50%以上是工商、質(zhì)檢管理等專業(yè)背景的人員，缺少必要的專業(yè)技術知識。知識背景的不匹配使得管理流程漏洞頻發(fā)，離子注入設備行業(yè)整體監(jiān)管水平有待提高。（3）中間環(huán)節(jié)加價嚴重。出于安全的考慮，國家對離子注入設備行業(yè)進出口標準與流程嚴格把控，環(huán)節(jié)復雜，中間環(huán)節(jié)加價嚴重，代理公司的介入可能使產(chǎn)品出廠價格上漲至少一倍以上，導致產(chǎn)品市場競爭力下降，阻礙本土離子注入設備行業(yè)企業(yè)的國際化進程。流通環(huán)節(jié)問題中間環(huán)節(jié)加價嚴重供應鏈質(zhì)量監(jiān)管Part04行業(yè)競爭格局及趨勢行業(yè)發(fā)展趨勢行業(yè)競爭格局行業(yè)代表企業(yè)18&&&行業(yè)競爭格局概述行業(yè)競爭格局概述中國政府正大力推動社會資本進入離子注入設備行業(yè)，對離子注入設備行業(yè)產(chǎn)品需求被迅速拉動，需求量呈現(xiàn)上升趨勢，離子注入設備行業(yè)企業(yè)進軍國民經(jīng)濟大產(chǎn)業(yè)的戰(zhàn)略窗口期已經(jīng)來臨。離子注入設備行業(yè)各業(yè)態(tài)企業(yè)競爭激烈，當前，市場上50%以上的離子注入設備行業(yè)企業(yè)有外資介入，包括中外獨（合）資、臺港澳與境內(nèi)合資、外商獨資等，純內(nèi)資本土離子注入設備行業(yè)企業(yè)數(shù)目較少，約占離子注入設備行業(yè)企業(yè)總數(shù)的25%。此外，商業(yè)銀行逐步進入離子注入設備行業(yè)，興業(yè)銀行、中心銀行、民生銀行等先后成立金融公司，涉足設備融資租賃業(yè)務。中國本土離子注入設備行業(yè)企業(yè)根據(jù)租賃公司股東背景及運營機制的不同又可以劃分為廠商系、獨立系和銀行系三類三類離子注入設備行業(yè)企業(yè)各有優(yōu)劣勢：（1）離子注入設備行業(yè)企業(yè)具有設備技術優(yōu)勢，主要與母公司設備銷售聯(lián)動，以設備、耗材的銷售利潤覆蓋融資租賃成本；（2）獨立系離子注入設備行業(yè)企業(yè)產(chǎn)業(yè)化程度高，易形成差異化商業(yè)模式，提供專業(yè)化的融資租賃服務；（3）銀行系離子注入設備行業(yè)企業(yè)背靠銀行股東，能夠以較低成本獲取資金，且在渠道體系等方面具備一定優(yōu)勢。行業(yè)競爭格局全球離子注入機的領先企業(yè)主要分布在中國、美國和日本，其中，中國大陸擁有凱世通和中科信兩家離子注入機行業(yè)的龍頭企業(yè)，凱世通在光伏離子注入機方面遙遙領先。而美國則擁有近乎壟斷IC離子注入機市場的應用材料，以及Axcelis、等企業(yè)，前者占據(jù)了70%左右的市場份額，而后者則占據(jù)了20%左右的市場份額。日本也擁有日新、日本真空、住友重工等離子注入機知名廠商。凱世通作為萬業(yè)企業(yè)旗下子公司，2020年受疫情影響離子注入機營收大幅度下降，2021年產(chǎn)業(yè)回暖，達23億元，毛利水平整體較高。綜合來看，目前市場上離子注入機主要由美國和日本的廠商壟斷，知名公司還有臺灣AIBT漢辰科技、日本住友、日新公司、日本真空，VARIAN（瓦里安）,SEN和Invetac等，其中日新公司是AMOLED離子注入機市場壟斷廠家，漢辰科技產(chǎn)品主要服務于臺積電，而國內(nèi)起步較晚，目前主要代表性的企業(yè)僅有凱世通和北京中科信電子裝備兩家:（1）中電科電子裝備自主研發(fā)的國內(nèi)首臺中束流離子注入機在中芯國際大生產(chǎn)線上穩(wěn)定流片逾200萬，首臺200mmCMP設備實現(xiàn)了銷售。這是電科裝備承擔“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”科技重大02專項所取得重大成果的縮影。（2）光伏競爭格局目前全球只有凱世通、美國Intevac公司、日本真空3家公司主要從事光伏離子注入機的生產(chǎn)制造，凱世通的光伏離子注入機更被廣泛應用，市場占有率全球第一。20行業(yè)競爭格局全球離子注入機的領先企業(yè)主要分布在中國、美國和日本，其中，中國大陸擁有凱世通和中科信兩家離子注入機行業(yè)的龍頭企業(yè)，凱世通在光伏離子注入機方面遙遙領先。而美國則擁有近乎壟斷IC離子注入機市場的應用材料，以及Axcelis、等企業(yè)，前者占據(jù)了70%左右的市場份額，而后者則占據(jù)了20%左右的市場份額。日本也擁有日新、日本真空、住友重工等離子注入機知名廠商。凱世通作為萬業(yè)企業(yè)旗下子公司，2020年受疫情影響離子注入機營收大幅度下降，2021年產(chǎn)業(yè)回暖，達23億元，毛利水平整體較高。競爭格局1（1）中電科電子裝備自主研發(fā)的國內(nèi)首臺中束流離子注入機在中芯國際大生產(chǎn)線上穩(wěn)定流