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Q/LB.□XXXXX-XXXXYS/TXXXXX—XXXX前言本文件按照GB/T1.1—2020《標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第1部分:標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》的規(guī)定起草。請(qǐng)注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利。本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識(shí)別專利的責(zé)任。本文件由全國(guó)有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)(TC243)與全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)材料分技術(shù)委員會(huì)(SAC/TC203/SC2)共同提出并歸口。本文件起草單位:本文件主要起草人:半導(dǎo)體材料摻雜用擴(kuò)散膜范圍本文件規(guī)定了半導(dǎo)體材料摻雜用擴(kuò)散膜(以下簡(jiǎn)稱“擴(kuò)散膜”)的術(shù)語(yǔ)和定義、分類、技術(shù)要求、檢驗(yàn)規(guī)則、標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存、隨行文件及訂貨單內(nèi)容,描述了相應(yīng)的試驗(yàn)方法。本文件適用于用沉淀、掛膜等制造方法制造的用于制備光電子、微電子等器件的半導(dǎo)體材料摻雜用擴(kuò)散膜。規(guī)范性引用文件下列文件中的內(nèi)容通過(guò)文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中,注日期的引用文件,僅該日期對(duì)應(yīng)的版本適用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改單)適用于本文件。GB/T14264半導(dǎo)體材料術(shù)語(yǔ)GB/T2828.1計(jì)數(shù)抽樣檢驗(yàn)程序第1部分:按接收質(zhì)量限(AQL)檢索的逐批檢驗(yàn)抽樣計(jì)劃GB/T6616半導(dǎo)體硅片電阻率及硅薄膜薄層電阻測(cè)試方法GB/T13389摻硼摻磷摻砷硅單晶電阻率與摻雜劑濃度換算規(guī)程術(shù)語(yǔ)和定義GB/T14264界定的以及下列術(shù)語(yǔ)和定義適用于本文件。擴(kuò)散膜用特殊工藝制成的把雜質(zhì)元素?cái)U(kuò)散到半導(dǎo)體材料的膜。磷擴(kuò)散膜摻雜主元素以磷為主的擴(kuò)散膜。硼擴(kuò)散膜摻雜主元素以硼為主的擴(kuò)散膜。擴(kuò)散膜主元素?cái)U(kuò)散膜中含有的主要元素。分類擴(kuò)散膜按摻雜元素分為以下幾種:磷擴(kuò)散膜;硼擴(kuò)散膜。技術(shù)要求表面質(zhì)量表面應(yīng)無(wú)裂紋、夾雜、凹坑、孔洞、缺邊、沾污等。顏色磷膜:粉色或粉紅色;硼膜白色或藍(lán)色或灰色;中性膜白色或藍(lán)色。也可雙方約定,并在訂單中說(shuō)明。尺寸偏差尺寸允許偏差不應(yīng)大于1mm。客戶若有特殊需求,則由供需雙方協(xié)商確定并在訂貨單中注明。擴(kuò)散膜主元素濃度磷膜主元素濃度應(yīng)符合表1的要求,硼膜主元素濃度應(yīng)符合表2的要求??蛻羧粲刑厥庑枨螅瑒t由供需雙方協(xié)商確定并在訂貨單中注明。磷膜主元素濃度要求型號(hào)主元素濃度(CONC)A級(jí)品B級(jí)品C級(jí)品P402.07*1021±5%±6%±10%P502.25*1021P602.32*1021P70-12.69*1021P70-22.57*1021P752.69*1021硼膜主元素濃度要求型號(hào)主元素濃度(CONC)A級(jí)品B級(jí)品C級(jí)品B101.63*1021±5%±6%±10%B201.94*1021B303.0*1021B404.6*1021濃度分布均勻度擴(kuò)散膜濃度分步均勻性誤差邊緣與中心小于15%。更高均勻度的要求,由供需雙方協(xié)商確定并在訂貨單中注明。試驗(yàn)方法表面質(zhì)量自然光下目視檢查。顏色自然光下目視檢查。尺寸偏差用分度值為0.5mm的直尺測(cè)量。摻雜主元素濃度按照GB/T13389的規(guī)定進(jìn)行測(cè)定。濃度分布均勻度按照GB/T6616的規(guī)定進(jìn)行測(cè)定。檢驗(yàn)規(guī)則檢查和驗(yàn)收產(chǎn)品應(yīng)由供方或第三方進(jìn)行檢驗(yàn),保證產(chǎn)品質(zhì)量符合本文件及訂貨單的規(guī)定。需方可對(duì)收到的產(chǎn)品按照本文件的規(guī)定進(jìn)行檢驗(yàn)。如檢驗(yàn)結(jié)果與本文件或訂貨單的規(guī)定不符,應(yīng)以書面形式向供方提出,由供需雙方協(xié)商解決。屬于外形尺寸或表面質(zhì)量的異議,應(yīng)在收到產(chǎn)品之日起1個(gè)月內(nèi)提出,屬于其他性能的異議,應(yīng)在收到產(chǎn)品之日起3個(gè)月內(nèi)提出。如需仲裁,仲裁取樣應(yīng)由供需雙方共同進(jìn)行。組批產(chǎn)品應(yīng)成批提交驗(yàn)收,每批應(yīng)由供需雙方一致確認(rèn)的相同技術(shù)指標(biāo)的擴(kuò)散膜組成。檢驗(yàn)項(xiàng)目每批擴(kuò)散膜應(yīng)對(duì)表面質(zhì)量、顏色、尺寸偏差、燃燒殘留、摻雜主元素濃度和濃度分布均勻度進(jìn)行檢驗(yàn)。取樣每批擴(kuò)散膜的檢驗(yàn)按照GB/T2828.1抽樣檢查,或按供需雙方商定的方法抽樣。如需對(duì)其他項(xiàng)目進(jìn)行檢驗(yàn),可由供需雙方協(xié)商確定并在訂貨單中注明。檢驗(yàn)結(jié)果的判定如需方抽檢有任一不合格,判該批產(chǎn)品為不合格。標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存和隨行文件標(biāo)志每個(gè)擴(kuò)散膜包裝盒上都有標(biāo)簽,標(biāo)簽上注明公司名稱、公司地址及聯(lián)系電話、產(chǎn)品名稱、保存條件、保質(zhì)期、擴(kuò)散膜批號(hào)、型號(hào)、尺寸、數(shù)量。包裝每批次檢驗(yàn)合格的擴(kuò)散膜,裝入包裝袋后密封,再裝入適當(dāng)?shù)陌b盒內(nèi),四周襯上軟性材料,以免損傷,再將包裝盒裝入包裝箱內(nèi),附上隨行文件。運(yùn)輸產(chǎn)品在運(yùn)輸過(guò)程中應(yīng)輕裝輕卸、勿擠勿壓,并有防震措施。貯存磷擴(kuò)散膜、中性擴(kuò)散膜室溫(50℃以下)密封保存,存放于干燥環(huán)境中,避免紫外線輻射。硼擴(kuò)散膜(包括硼鋁擴(kuò)散膜)密封,長(zhǎng)期儲(chǔ)存需冷藏保存,保存溫度-10~10℃,短期存放(2周以內(nèi))溫度30℃以下。避免紫外線輻射。
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