Polymide(聚酰亞胺樹脂簡稱PI)光刻膠工藝引入項目 研制總結(jié)報告

名稱：Polymide光刻膠工藝引入項目 3Polyimide(聚酰亞胺樹脂簡稱PI)是指主鏈上還有酰亞胺環(huán)的一類子聚合物，是目前能夠?qū)嶋H應用的耐高溫性能最齊，價格波動明顯。隨著中國聚酰亞胺市場的不斷不斷加劇。高端聚酰亞胺市場中，國際巨頭如杜邦他光致抗蝕劑一樣先將它溶于某一溶劑，再涂布成膜拉伸強度，加上耐腐蝕性和高溫穩(wěn)定性，其4器件提供可靠的保護。廣泛應用于航空航天、衛(wèi)星通信工業(yè)、國防軍工、精密電子機械等高精尖領域。超高開發(fā)，選取SP341PI膠進行工藝開發(fā)，主要包含現(xiàn)有設備自主工藝開發(fā)實驗及產(chǎn)品實驗。模組通過對我司在線機臺5原機臺涂膠為Bellowspump模式，適改造：膠瓶由玻璃更改為不銹鋼高壓膠瓶，增強輸入端抗6膠量增大后下排端廢液量增加，為防止堵塞，更改并縮短下排管路使其熱蒸發(fā)的大量溶劑混合體會在熱板腔體頂部冷熱板排風系統(tǒng)，使蒸發(fā)的氣體能更好的流通，避7警體系均需更改為氮氣加壓供給體系，結(jié)合硬件改造方式通過修改他光致抗蝕劑一樣先將它溶于某一溶劑，再涂布成為滿足退火的需求，部門購買高溫厭氧烘箱來實現(xiàn)這一工藝流程，將8和降溫的過程中會出現(xiàn)輕微形變，從而引發(fā)圓片針對上述問題，臨時措施優(yōu)化取片方式，取片時單片品驗證，最終驗證合格，成功解決常規(guī)金屬cassette卡片問題，采購新C、ThicknessMeasurementTools：9中右下塊塊塊塊塊塊整后協(xié)片抽測B、涂覆光刻膠種類：EF0111/D3A、Substrate：BareSiWC、TracktoolsID/CoaD、EXPtoolsID/EXPCondition：PNS03/WJ014ExpwaferID200230260290320350380410440470500530560FPCPR040.07334.37336.84341.8341.8341.8339.32341.8341.8341.8341.8341.8341.8341.8336.84C、TracktoolsID/CoaterRecipeD、EXPtoolsID/EXPCondition：PNS03/WJ0143-A、Substrate：BareSiWC、EXPtoolsID/EXPCondition：PNS03/WJ狀套刻標記圖形清晰，名稱略微黏D、EXPtoolsID/EXPCondition：PNS03/WJ014FPCPR47.21FP中上右下左A、Substrate：AE17658/實驗片。D、EXPtoolsID/EXPCondition：PNS03/WJ0143-PIQ。E、DEVtoolsID/DEVcondition：含量小于5%時，光檢圓片顏色正常（亮黃A、Substrate：詳見下表。D、EXPtoolsID/EXPCondition：PNS03/WJ0143-PIQ。350℃60min兩種固化條件下的結(jié)果一致，無明顯差異?？紤]生D、EXPtoolsID/EXPCondition：PNS03/WJ0143-PIQ。D、bake：350℃,60min。))))WJ0143AAN-0C40TECNCPYieWJ0235AAN-0C40TECNCPYieAR00763.1WJ0143AAN-0C40AR00764.1WJ0143AAN-0C40AR00797.1WJ0143AAN-0C40AR00738.1WJ0235AAN-0C40AR00844.1WJ0235AAN-0C40AR00845.1WJ0235AAN-0C40WJ0143AAN-0C40ECNCPYie中膠泵，因?qū)⒃O備原有噴膠管路需要為改造為氮在隨后的旋涂勻膠過程中，采用三段式低加速度進行勻膠分的溶劑混合體，但由于熱板在烘烤時是一個密劑混合體會在熱板腔體頂部凝聚附著，積累到一同時調(diào)整冷熱板排風系統(tǒng)，使蒸發(fā)的氣體能更在軌道機主手臂將其送入熱板的途中，對手臂造成了況，在升溫和降溫的過程中會出現(xiàn)輕微形變的方向是否對其有影響，因此設計了平邊方向的實驗對卡屬檔桿相切的晶圓進行高溫作業(yè)，作業(yè)結(jié)束后，發(fā)現(xiàn)正面金屬壁，溫度傳導能力逐步增加，卡片的現(xiàn)象也cassette自身屬性已無法滿足正常的固化流程，需要采購新的金屬的工藝進行取片，降低取片風險。長遠措施光刻申之后對背金作業(yè)流程進行跟蹤監(jiān)控，鎖定異常在貼膜至撕膜過程中，分析異，再加上自動貼膜機在平邊附近的高溫部件和自動撕后經(jīng)產(chǎn)品客戶端可靠性測試，驗證可靠性