《連續(xù)式光學磁控濺射鍍膜設(shè)備》征求意見稿

1連續(xù)式光學磁控濺射鍍膜設(shè)備本文件適用于連續(xù)式光學磁控濺射鍍膜設(shè)備（以下簡稱“設(shè)備”）的研發(fā)、生產(chǎn)、檢驗和GB/T2680建筑玻璃可見光透射比、太陽光直接透射比、太陽能總透射比、紫外線透射比及有GB/T5226.1機械電氣安全機械電氣設(shè)備第1部分：通GB/T11164—2011真空鍍膜設(shè)備通用技術(shù)GB/T11186.1漆膜顏色的測量方法第1部分：原理GB/T13384機電產(chǎn)品包裝通用技術(shù)GB/T18209.1機械電氣安全指示、標志和操作第1部分：關(guān)于視覺、聽覺和觸覺信號的要求GB/T33051光學功能薄膜表面硬化薄膜硬化層厚度測定方法GB/T38518柔性薄膜基體上涂層厚度的測量3.1連續(xù)式光學磁控濺射鍍膜設(shè)備continuousopticalmagnetronsputteringcoating將材料濺射到工件表面進而沉積形成具有一定光學性能薄膜的連續(xù)生產(chǎn)設(shè)備，常見有采用立式鍍3.23.3包括了輸送輥道動作、進出口腔室充放氣和翻板閥動3.4腔室泄漏率chamberleakag24.2抽氣系統(tǒng)4.3真空測量系統(tǒng)4,4鍍膜系統(tǒng)4.5傳動系統(tǒng)4,6控制系統(tǒng)a)進水溫度20～25）℃;5.2壓縮空氣a)氣體為潔凈干燥空氣；b)空氣壓力0.4±0.1）MPa。5.3溫濕度a)主機房的相對濕度保持在30%～65%；c)主機房溫度應(yīng)保持不高于35℃,或隔離電氣機箱保持溫度不高于35℃;35.5供電電源6.2技術(shù)參數(shù)12），3），456），789最小工藝節(jié)拍，s6.3.1關(guān)鍵部件的水冷系統(tǒng)中應(yīng)有斷水或水壓不足的報警裝置，并與電源、真空系統(tǒng)、傳動系統(tǒng)相關(guān)應(yīng)能根據(jù)設(shè)計需求自動關(guān)閉或自動打開。遇突然停電時，閥門應(yīng)能自動6.3.3控制系統(tǒng)應(yīng)裝配有急停開關(guān)，一旦有重大異常情況時，可通過觸動開關(guān)停下設(shè)備；開關(guān)應(yīng)加裝6.3.4控制柜應(yīng)加裝有報警燈，可實時反映設(shè)6.3.7操作中突然斷電后，再恢復(fù)供電時應(yīng)能防止電器自行6.3.8設(shè)備的高壓危險部分、高溫部分、各種電極引線部分、機械傳動部位應(yīng)有明顯的警示標識。其47.2技術(shù)參數(shù)a)腔體及蓋板內(nèi)部的焊接工作及清潔工作已全部完成；b)蓋板密封件安裝就位并按工作狀態(tài)與腔體配置到位；噴吹的順序為由上至下，由近至遠；然后采用接入真空系統(tǒng)的氦質(zhì)系統(tǒng)可設(shè)定的最大速度前出現(xiàn)故障，則最大機械傳動速度為掛1——所有測試點位所測范圍內(nèi)最大膜層厚度，單位為nm。2——所有測試點位所測范圍內(nèi)最小膜層厚度，單位為nm。5A——傳動速度穩(wěn)定性；d1——線速度計測量值，單位為m/s。a）大氣狀態(tài)下的輸送輥道及門閥的機械節(jié)拍已經(jīng)調(diào)試到最b）進出口腔室從大氣至規(guī)定真空度的時間已經(jīng)過測試，并穩(wěn)定在一個數(shù)值；從入口閥板開啟開始計時，至該閥板再次打開7.3安全防護按GB15760規(guī)定進行，電氣安全按GB/T522——新產(chǎn)品試制；——產(chǎn)品在設(shè)計、工藝或所用材料有重大變更，可能影響產(chǎn)品性能時；——產(chǎn)品批量生產(chǎn)時。9標志、包裝、運輸和貯存b)設(shè)備型號及名稱；9.1.2每臺設(shè)備及其附屬裝置應(yīng)在有高壓、高溫、化學品、傳動裝置、電磁波、紫外線等危險源的適69.2.1設(shè)備包裝前應(yīng)對未做防銹處理的金屬表面涂以防銹油脂。對整機包裝的設(shè)備包裝前鍍膜室應(yīng)抽成真空狀態(tài)并關(guān)閉所有閥門。裝箱前應(yīng)將設(shè)備中的殘余積水或廢屑清9.3運輸設(shè)備的運輸方式和運輸中所采取的措施應(yīng)保證設(shè)備及其包裝不發(fā)生損傷；設(shè)備在運輸中有可能松散的零部件應(yīng)有防松、墊、托等措施；運輸中應(yīng)有防止設(shè)備9.4貯存9.4