堿拋 不良種類分析總結(jié)

1.堿拋（環(huán)形過拋）原因：進(jìn)去PSG機(jī)臺(tái)反片（多為補(bǔ)片）解決方案：1、稽核人員操作，規(guī)范作業(yè)2、醒目處張貼注意事項(xiàng)2.堿拋（大面積過拋）原因：1、擴(kuò)散面PSG不均勻；2、添加劑濃度低、拋光槽藥液壽命超極限；解決方案：1、排查擴(kuò)散形成PSG情況；2、補(bǔ)加添加劑，無(wú)改善重復(fù)配液3.堿拋（邊緣帶狀過拋）原因：1、正面水膜流量偏低，保護(hù)不足解決方案：1、加大水膜流量4.堿拋（漏拋）原因：1、去PSG時(shí)，背面局部未接觸HF，PSG去除不凈2、HF濃度低；3、氧化層厚度過大或不均勻解決方案：1、檢查去PSG液位高度，1/3滾輪處較佳2、測(cè)試滾輪水平度度。5.堿拋（外觀水痕）原因：1、添加劑特性不同影響，在慢提拉槽疏水性不佳解決方案：1、慢提拉槽改冷水（初配和溢流）6.堿拋（氣流印）原因：1、可能為NaOH反應(yīng)導(dǎo)致（業(yè)內(nèi)暫未確定）2、外觀不可見，EL可見解決方案：1、NaOH更換為KOH（有改善）7.堿拋（邊緣白臟污亮點(diǎn)）原因：1、暫不清楚8.堿拋（外觀花籃齒?。┰颍?、機(jī)械臂異常，導(dǎo)致慢提拉槽停留時(shí)間過久（300s）2、下料不及時(shí)，導(dǎo)致慢提拉停留時(shí)間過久；3、花籃問題（慢提拉問題，暫不確定，待進(jìn)一步驗(yàn)證）解決方案：1、反饋設(shè)備，解決機(jī)械臂的穩(wěn)定性2、要求生產(chǎn)及時(shí)下料，禁止下料堵片3、飽和花籃（外觀缺陷花籃隔離返修）9.堿拋（正面邊緣過拋）原因：1、水膜覆蓋不完全解決方案：1、檢查去PSG各道水膜出水情況2、加大PSG刻蝕機(jī)臺(tái)的水膜流量。10.堿拋（背面局部欠拋）原因：1、去PSG時(shí)，背面局部未接觸HF，導(dǎo)致局部PSG去除不凈解決方案：1、檢查去PSG液位高度，1/3滾輪處較佳；2、測(cè)試滾輪水平度度。11.堿拋（EL籃齒印）原因：1、花籃涂層破損嚴(yán)重解決方案：1、隔離破損嚴(yán)重花籃，返修、噴涂納米氟2、慢提調(diào)節(jié)成弱酸性（關(guān)閉慢提前的水槽溢流）12.堿拋（背面雨點(diǎn)?。┰颍?、拋光槽堿濃度過低，導(dǎo)致拋光反應(yīng)不充分；2、反應(yīng)時(shí)間不足；3、進(jìn)料時(shí)，未到到設(shè)備問題。解決方案：1、補(bǔ)加1-3LKOH，提高拋光槽堿濃度，嚴(yán)重時(shí)重新配液2、有改善，可臨時(shí)提升自補(bǔ)量13.堿拋（臟污）原因：1、堿洗藥液不均勻2、堿洗濃度偏低解決方案：1、補(bǔ)加3-5LH2O2、1LKOH2、有改善，臨時(shí)提升自補(bǔ)量14.堿拋（條形臟污）原因：1、制絨和堿拋花籃混用；解決方案：1、要求嚴(yán)格管控花籃，禁止不同工序混用；15.堿拋（舟框位置臟污）原因