電子級N-甲基-2-吡咯烷酮 編制說明

《電子級N-甲基-2-吡咯烷酮》征求意見稿編制說明2一、工作簡況N-甲基-2-吡咯烷酮作為優(yōu)良的溶劑，在平板顯示、集成電路等產(chǎn)業(yè)具有廣泛的應(yīng)用，而對于產(chǎn)品的等級劃分，市場上沒有統(tǒng)一的標準,導(dǎo)致各家電子級的產(chǎn)品品質(zhì)參差不齊，2023年12月1日國家標準化管理委員會下達了《電子級N-甲基-2-吡咯烷酮》國家標準計劃，由TC203（全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標準化技術(shù)委員會）歸口管理，主管部門為國家標準化管理委員會，《電子級N-甲基-2-吡咯烷酮》正式立項。2024年1月面向各有關(guān)單位公開征集標準編制組成員，目前處于起草階段，起草單位為晶瑞電子材料股份有限公司、上海集成電路材料研究院。1.2工作過程的說明58號），《電子級N-甲基-2-吡咯烷酮》正式立項。2024年2月，晶瑞電子材料股份有限公司、上海集成電路材料研究院對國際、國內(nèi)電子級N-甲基-2-吡咯烷酮產(chǎn)品生產(chǎn)情況進行了深入調(diào)研和分析，將國外產(chǎn)品的技術(shù)標準和國內(nèi)實際生產(chǎn)情況相結(jié)合，于2024年4月份完成了標準的討論稿。2024年5月，晶瑞電子材料股份有限公司、上海集成電路材料研究院依據(jù)自身企業(yè)內(nèi)部標準和質(zhì)量管理要求，以及自身對于標準中的各項技術(shù)指標驗證情況，對標準討論稿進一步修改，并提交至TC203秘書處。標準起草小組首先開始搜集相關(guān)的資料，國際半導(dǎo)體設(shè)備與材料組織（SEMI）制定的國際工業(yè)標準中，現(xiàn)行的電子級N-甲基-2-吡咯烷酮標準是：SEMIC33-0213《SpecificationandGuideforn-METHYL2-PYRROLIDONE》，由于該標準定義了三個等級，純度偏低，金屬離子雜質(zhì)只定義了ppb級別，已經(jīng)不能滿足半導(dǎo)體工業(yè)的要求，起草小組未采用。起草小組對國際、國內(nèi)電子級N-甲基-2-吡咯烷酮產(chǎn)品生產(chǎn)情況進行了深入調(diào)研和分析，將國外產(chǎn)品的技術(shù)標準和國內(nèi)實際生產(chǎn)情況相結(jié)合，于2024年2月份提出了標準的草案，提交討論。2024年6月，在標委會秘書處的組織下，電子級N-甲基-2-吡咯烷酮國家標準起草小組以及電子化學(xué)品領(lǐng)域標準專家在蘇州召開標準研討及啟動會。會上就技術(shù)指標與國外先進標準和行業(yè)技術(shù)現(xiàn)狀進行了對比，對標準草案進行了逐條研討，并針對標準的英文名稱、技術(shù)參數(shù)規(guī)范性、技術(shù)指標分級和檢驗規(guī)則進行了詳細的討論，并提出了后續(xù)修改意見（意見如下表）。編制組按照研討會的要求，對標準草案進行進一步修改，形成征求意見稿，提交標委會。3序號送審稿條款號修改情況1范圍刪除掩膜版清洗，修改為主要應(yīng)用于集成電路、顯示面板等制造工藝的清洗過程。2產(chǎn)品規(guī)格“面板級、半導(dǎo)體級”改為“E1、E2級”，使用對象分級修改為技術(shù)規(guī)格分級35.15.1-5.7技術(shù)規(guī)格合并一個表格處理45.6表3和表4并表處理56.1增加具體列6.1.1、6.1.2……66.1試劑：標明具體的純度要求7A.2.2刪除“天平”87.1刪除“第5章”96.6確定是否直接引用GB/T34672的規(guī)定，做具體的實驗數(shù)據(jù)進行驗證。7.4刪除“第5章”7.4“允許復(fù)檢”修改為“允許加倍取樣復(fù)檢”7.3.2“四氟乙烯”修改為“聚四氟乙烯”7.3.2“7級”修改為“千級”6.7針對不同規(guī)格等級完善稀釋方法7.5刪除檢驗人員簽名7.5“制造方名稱、地址、電話、傳真”簡化為“制造方信息”；增加產(chǎn)品等級；調(diào)整信息描述順序。8.4“干燥”修改為“陰涼”二國家標準的制定原則本標準按照GB/T1.1－2020《標準化工作導(dǎo)則第1部分：標準化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》的規(guī)定起草。積極采用行業(yè)標準和國外先進技術(shù)指標，本著促進技術(shù)進步，提高產(chǎn)品質(zhì)量；合理利用資源，提高經(jīng)濟效益的原則編寫。三標準的主要內(nèi)容本標準是在國內(nèi)高速發(fā)展的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)及集成電路制造業(yè)的前提下，結(jié)合目前行業(yè)缺乏相應(yīng)電子級N-甲基-2-吡咯烷酮標準及測量方法的情況下，開展電子級N-甲基-2-吡咯烷酮的痕量金屬離子檢測技術(shù)研究，通過對國外典型產(chǎn)品的指標進行測試驗證，并進行整理分析，參照國內(nèi)外類似標準，綜合考量后確定各項技術(shù)指標范圍，具備廣泛性、代表性和合理性。3.1技術(shù)要求電子級N-甲基-2-吡咯烷酮產(chǎn)品的質(zhì)量應(yīng)符合表1的要求。表1技術(shù)要求指標E1N-甲基-2-吡咯烷酮含量，w/%≥游離胺（以CH3NH2計）含量(mg/kg)≤1///11111///3.2檢驗規(guī)則規(guī)定了批次定義及抽樣和合格判定標準等內(nèi)容。電子級N-甲基-2-吡咯烷酮的采樣安全應(yīng)符合GB/T3723中對危險物質(zhì)的具體規(guī)定，采樣方法方式則應(yīng)符合GB6680中采樣操作方法的相關(guān)規(guī)定。3.3試驗方法對電子級N-甲基-2-吡咯烷酮含量、游離胺、陰離子（氯化物、硝酸鹽、硫酸鹽、磷酸鹽）、金屬陽離子、顆粒數(shù)的測試方法進行了規(guī)定。3.4標志、包裝、運輸及貯存的要求四與國外標準對比情況標準起草小組搜集到相關(guān)的資料，國際半導(dǎo)體設(shè)備與材料組織（SEMI）制定的國際工業(yè)標準中，現(xiàn)行N-甲基-2-吡咯烷酮的標準是：SEMIC45-0518《SpecificationandGuideforn-METHYL2-PYRROLIDONE》。兩份標準的各項指標對比見下表。參數(shù)指標本標準SEMI標準E1E2Grade1Grade2Grade3組分純度/%≥99.80≥99.85≥99.5%≥99.8%≥99.8%色度（APHA)≤50≤50水分/ppm≤500≤300≤500≤500≤300游離胺（以CH3NH2計）含量(mg/kg)≤100≤50≤1000≤500≤300/////≤5000≤500≤250/≤20////≤300≤100≤20≤100≤20///≤100≤100≤100≤0.5≤100≤100≤100///////////////////////////≤100≤20/≤20////////////////////////////≤20////////////≤20//////////////////////≤100////顆粒粒徑0.5μm以上(個///////////五預(yù)期效果本標準適用于平板顯示以及半導(dǎo)體用的電子級N-甲基-2-吡咯烷酮。本標準的頒布實施將為生產(chǎn)、使用、貿(mào)易三方提供了技術(shù)依據(jù)；制定的標準對我國集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展具有重要意義，能更