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0圖1GaN晶圓圖2三安光電圖4六英寸Si基GaN圖5OMMIC公司6英寸晶圓GaN生產(chǎn)工藝公司和工藝穿電壓功車密度最高頻率效率場(chǎng)板(英襯底BAE系統(tǒng)公司6有43無(wú)4Fraunhofer(德國(guó))66有45有42無(wú)45有37可選3可選3無(wú)3發(fā)中)1無(wú)3圖6品圓目檢工序

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