超短脈沖紫外激光加工場鏡

T/COEMAXXXX—2024

超短脈沖紫外激光加工用場鏡

1范圍

本文件給出了超短脈沖紫外激光加工場鏡產(chǎn)品的術(shù)語和定義、技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則、標(biāo)

志、包裝、運(yùn)輸和貯存。

本文件適用于波長340nm～360nm的超短脈沖紫外激光加工場鏡產(chǎn)品。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，

僅該日期對(duì)應(yīng)的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本

文件。

GB/T191包裝儲(chǔ)運(yùn)圖示標(biāo)志

GB/T10987—2009光學(xué)系統(tǒng)參數(shù)的測(cè)定

GB/T13962光學(xué)儀器術(shù)語

GB/T15313激光術(shù)語

ISO21254-1：2011激光和激光相關(guān)設(shè)備激光導(dǎo)致?lián)p傷閾值的試驗(yàn)方法第1部分：定義與一

般原則

ISO21254-2：2011激光和激光相關(guān)設(shè)備激光導(dǎo)致?lián)p傷閾值的試驗(yàn)方法第2部分：閾值測(cè)定

ISO21254-3：2011激光和激光相關(guān)設(shè)備激光損傷閾值試驗(yàn)方法第3部分：激光功率（能量）

處理能力的保證

ISO/TR21254-4：2011激光和激光相關(guān)設(shè)備激光感應(yīng)損壞閾值的試驗(yàn)方法第4部分：檢驗(yàn)，檢

測(cè)和測(cè)量

MIL—PRF—13830B性能標(biāo)準(zhǔn)

MIL—STD—105E抽樣標(biāo)準(zhǔn)

3術(shù)語和定義

GB/T13962及GB/T15313界定的術(shù)語和定義適用于本文件。

4技術(shù)要求

一般要求

產(chǎn)品應(yīng)按規(guī)定審批流程審批通過的圖紙及技術(shù)文件制造。

原材料要求

產(chǎn)品原材料應(yīng)符合以下要求：

a)應(yīng)采用熔石英材料。

b)應(yīng)符合ROHS要求。

外觀要求

產(chǎn)品外觀應(yīng)滿足以下要求：

a)不可有劃痕、油污、拋光粉塵等；

b)產(chǎn)品表面光潔度應(yīng)滿足以下要求：

1)有效區(qū)內(nèi)：20/10；

2)有效區(qū)外：40/20。

尺寸要求

1

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產(chǎn)品的尺寸要求為50mm～150mm，公差為±0.02mm。

性能要求

產(chǎn)品的技術(shù)參數(shù)應(yīng)滿足表1的要求。

表1技術(shù)參數(shù)

序號(hào)指標(biāo)要求

1焦距50mm～200mm

2最大光斑直徑（取決于振鏡）10mm

3掃描范圍30mm×30mm～110mm×110mm

4透過率＞94%

5損傷閾值0.2J/cm2@15ps，355nm，800kHz

6反射率R＜0.1%@355nm&R＜0.2%@345～365nm,A01=0～15°

5試驗(yàn)方法

原材料試驗(yàn)

產(chǎn)品原材料來料檢驗(yàn)應(yīng)符合：

a)產(chǎn)品原材料應(yīng)有合格的質(zhì)量證明文件；

b)產(chǎn)品原材料應(yīng)符合國家法律法規(guī)及國家標(biāo)準(zhǔn)和行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)要求；

c)應(yīng)根據(jù)檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行來料測(cè)試，符合相關(guān)檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)要求方可使用。

外觀試驗(yàn)

按照美國軍用標(biāo)準(zhǔn)MIL—PRF—13830B標(biāo)準(zhǔn)所述步驟進(jìn)行。

尺寸試驗(yàn)

運(yùn)用誤差不大于0.01mm的量具測(cè)量。

性能試驗(yàn)

5.4.1技術(shù)參數(shù)

5.4.1.1焦距

按照GB/T10987—2009規(guī)定方法進(jìn)行。

5.4.1.2最大光斑直徑

通過在平面物體（如激光相紙）上進(jìn)行打標(biāo)，對(duì)打標(biāo)圖案進(jìn)行實(shí)際測(cè)量。

5.4.1.3透過率

運(yùn)用分光計(jì)測(cè)量。

5.4.1.4損傷閾值

按照ISO21254系列標(biāo)準(zhǔn)所述步驟進(jìn)行。

5.4.1.5反射率

運(yùn)用分光光度計(jì)進(jìn)行檢測(cè)。

6檢驗(yàn)規(guī)則

出廠檢驗(yàn)

6.1.1按MIL—STD—105E的規(guī)定，采用正常檢驗(yàn)單次抽樣方案，一般檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)Ⅱ級(jí)，允收標(biāo)準(zhǔn)（AQL）

2

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為2.5。不良品超過允收限值（AQL），則判定該批產(chǎn)品不合格。

6.1.2出廠檢驗(yàn)項(xiàng)目包括本標(biāo)準(zhǔn)中的4.3、4.4。

型式檢驗(yàn)

6.2.1屬下列情況時(shí)，應(yīng)進(jìn)行型式檢驗(yàn)：

a)新產(chǎn)品或老產(chǎn)品轉(zhuǎn)廠生產(chǎn)試制定型時(shí)；

b)產(chǎn)品設(shè)計(jì)、工藝、材料作較大修改，可能影響產(chǎn)品性能時(shí)；

c)產(chǎn)品停產(chǎn)3年以上，恢復(fù)生產(chǎn)時(shí)；

d)國家質(zhì)量技術(shù)監(jiān)督、檢測(cè)機(jī)構(gòu)提出要求時(shí)。

6.2.2型式檢驗(yàn)項(xiàng)目包括本標(biāo)準(zhǔn)第4章的全部項(xiàng)目。

6.2.3型式檢驗(yàn)的樣機(jī)的抽樣方案按MIL—STD—105E的規(guī)定，采用正常檢驗(yàn)單次抽樣方案，一般檢驗(yàn)

標(biāo)準(zhǔn)Ⅱ級(jí)，允收標(biāo)準(zhǔn)（AQL）為2.5。不良品超過允收限值（AQL），則判定該批產(chǎn)品不合格。

6.2.4判定規(guī)則

檢驗(yàn)結(jié)果中，若有不符合要求的項(xiàng)目，允許返工，復(fù)檢后，該項(xiàng)目符合要求，則判為“合格品”，

該項(xiàng)目仍不符合要求的，則判為“不合格品”。

7標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和貯存

標(biāo)志

7.1.1產(chǎn)品金屬外殼上應(yīng)印有產(chǎn)品編碼、產(chǎn)品適用波長、焦距等；

7.1.2鏡體應(yīng)滿足以下標(biāo)志要求：

a)元件標(biāo)識(shí)；

b)材料；

c)鍍膜詳細(xì)資料(如適用)；

d)操作和存儲(chǔ)說明；

e)潛在的危險(xiǎn)(如毒性/致癌性)。

如果膜層或元件有毒或有危險(xiǎn)性或易吸潮,均應(yīng)在標(biāo)簽上清晰地標(biāo)出。

包裝

應(yīng)滿足以下包裝要求：

a)應(yīng)符合GB/T191的規(guī)定；

b)產(chǎn)品采用保護(hù)橡膠蓋包裝后，再放置在專用包裝盒內(nèi)；

c)應(yīng)采取防震措施，保證產(chǎn)品在箱內(nèi)無任何方向的竄動(dòng)；

d)應(yīng)將內(nèi)包裝箱裝在有防霉、防潮、防震的運(yùn)輸外包裝箱內(nèi)。

運(yùn)輸

運(yùn)輸過程中應(yīng)有防雨、防曬等措施；搬運(yùn)過程中，應(yīng)避免重壓、拋摔。

貯存

應(yīng)貯存在處于通風(fēng)、干燥、陰涼的環(huán)境下，且周圍無易燃，易爆以及腐蝕性物質(zhì)。

3

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參考文獻(xiàn)

[1]GB/T37396.1—2019激光器和激光相關(guān)設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)光學(xué)元件第1部分：紫外、可見和近紅

外光譜范圍內(nèi)的元件（ISO1115-1：2015，MOD）

[2]ISO10110-l：2019光學(xué)和光子學(xué)光學(xué)元件和系統(tǒng)圖紙的制備第1部分：通用要求

[3]ISO10110-5：2015光學(xué)和光子學(xué)光學(xué)元件和系統(tǒng)圖紙的制備第5部分：表面形位公差

[4]ISO10110-6：2015光學(xué)和光學(xué)儀器光學(xué)元件和系統(tǒng)圖紙的制備第6部分：中心偏差公

差

[5]ISO10110-7：2017光學(xué)和光學(xué)儀器光學(xué)元件和系統(tǒng)圖紙的制備第7部分：表面缺陷公

差

[6]ISO10110-8：2019光學(xué)和光學(xué)儀器光學(xué)元件和系統(tǒng)圖紙的制備第8部分：表面紋理

[7]ISO10110-9：2016光學(xué)和光學(xué)儀器光學(xué)元件和系統(tǒng)圖紙的制備第9部分：表面處理和

涂層

[8]ISO10110-11：2016光學(xué)和光學(xué)儀器光學(xué)元件和系統(tǒng)圖紙的制備第10部分：非公差數(shù)

據(jù)

[9]ISO10110-12：2019光學(xué)和光子學(xué)光學(xué)元件和系統(tǒng)圖紙的制備第12部分：非球面表面

[10]ISO10110-14：2018光學(xué)和光子學(xué)光學(xué)元件和系統(tǒng)圖紙的制備第14部分：波前畸變公

差

[11]ISO10110-16：2023光學(xué)和光子學(xué)光學(xué)元件和系統(tǒng)圖紙的制備第16部分：衍射表面

[12]ISO10110-17：2004光學(xué)和光子學(xué)光學(xué)元件和系統(tǒng)圖紙的制備第17部分：激光輻照損

傷閾值

[13]ISO10110-18：2018光學(xué)和光子學(xué)光學(xué)元件和系統(tǒng)圖紙的制備第18部分：應(yīng)力雙折

射、氣泡和夾雜物、均勻性和條紋

[14]ISO10110-19：2015光學(xué)和光子學(xué)光學(xué)元件和系統(tǒng)圖紙的制備第19部分：表面和組件

的通用描述

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ICS31.260

CCSL51

團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)

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超短脈沖紫外激光加工場鏡

UVfieldlensesforultrashortpulsedlaserprocessing

（征求意見稿）

2024-XX-XX發(fā)布2024-XX-XX實(shí)施

中國光學(xué)光電子行業(yè)協(xié)會(huì)發(fā)布

T/COEMAXXXX—2024

超短脈沖紫外激光加工用場鏡

1范圍

本文件給出了超短脈沖紫外激光加工場鏡產(chǎn)品的術(shù)語和定義、技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則、標(biāo)

志、包裝、運(yùn)輸和貯存。

本文件適用于波長340nm～360nm的超短脈沖紫外激光加工場鏡產(chǎn)品。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，

僅該日期對(duì)應(yīng)的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本

文件。

GB/T191包裝儲(chǔ)運(yùn)圖示標(biāo)志

GB/T10987—2009光學(xué)系統(tǒng)參數(shù)的測(cè)定

GB/T13962光學(xué)儀器術(shù)語

GB/T15313激光術(shù)語

ISO21254-1：2011激光和激光相關(guān)設(shè)備激光導(dǎo)致?lián)p傷閾值的試驗(yàn)方法第1部分：定義與一

般原則

ISO21254-2：2011激光和激光相關(guān)設(shè)備激光導(dǎo)致?lián)p傷閾值的試驗(yàn)方法第2部分：閾值測(cè)定

ISO21254-3：2011激光和激光相關(guān)設(shè)備激光損傷閾值試驗(yàn)方法第3部分：激光功率（能量）

處理能力的保證

ISO/TR21254-4：2011激光和激光相關(guān)設(shè)備激光感應(yīng)損壞閾值的試驗(yàn)方法第4部分：檢驗(yàn)，檢

測(cè)和測(cè)量

MIL—PRF—13830B性能標(biāo)準(zhǔn)

MIL—STD—105E抽樣標(biāo)準(zhǔn)

3術(shù)語和定義

GB/T13962及GB/T15313界定的術(shù)語和定義適用于本文件。

4技術(shù)要求

一般要求

產(chǎn)品應(yīng)按規(guī)定審批流程審批通過的圖紙及技術(shù)文件制造。

原材料要求

產(chǎn)品原材料應(yīng)符合以下要求：

a)應(yīng)采用熔石英材料。

b)應(yīng)符合ROHS要求。

外觀要求

產(chǎn)品外觀應(yīng)滿足以下要求：

a)不可有劃痕、油污、拋光粉塵等；

b)產(chǎn)品表面光潔度應(yīng)滿足以下要求：

1)有效區(qū)內(nèi)：20/10；

2)有效區(qū)外：40/20。

尺寸要求

1

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產(chǎn)品的尺寸要求為50mm～150mm，公差為±0.02mm。

性能要求

產(chǎn)品的技術(shù)參數(shù)應(yīng)滿足表1的要求。

表1技術(shù)參數(shù)

序號(hào)指標(biāo)要求

1焦距50mm～200mm

2最大光斑直徑（取決于振鏡）10mm

3掃描范圍