浙江師范大學(xué)LED芯片研發(fā)中心

性能要求1現(xiàn)遠(yuǎn)程監(jiān)控和報(bào)警。a.Cl2：b.BCl3：a.SiH43f.PN21.自動(dòng)檢測(cè)氣體是2.自動(dòng)警示氣體泄3.自動(dòng)消除泄漏氣體。達(dá)到壹段預(yù)警時(shí)，氣體房中相應(yīng)的報(bào)警燈紅燈閃爍，關(guān)閉相應(yīng)的氣柜。通過(guò)圖控軟件隔離按鈕能夠隔離報(bào)警信號(hào)的輸出。臺(tái)的報(bào)警燈紅燈同時(shí)關(guān)閉上游相3.氣源藝氮?dú)饷姘澹胀ǖ獨(dú)饨拥獨(dú)夤?。更換氣瓶時(shí)對(duì)應(yīng)的特氣排放至燃燒水洗式尾氣處理裝置用單鋼瓶工藝供氣系統(tǒng)，吹掃所使用高純氮?dú)饨幼远栊詺怏w房工藝氮?dú)饷姘?，普通氮?dú)饨幼詺夤?。性氣體房工藝氮?dú)饷姘?，普通氮?dú)饨幼詺夤?。焊接形式。更換氣瓶時(shí)對(duì)應(yīng)的特氣排放至燃燒水洗式尾氣處理裝置1.氣路基本要求：a.各種氣體管道應(yīng)設(shè)置明顯標(biāo)志。c.按照需求設(shè)計(jì)吹掃和氣管路。d.抽氣管路必須遵從本地編碼及適用的工2.氣瓶柜結(jié)構(gòu)(1)氣瓶柜構(gòu)造環(huán)氧涂層，且且所有材料均必須是非易燃的。d.氣瓶柜的底面設(shè)計(jì)要便于放置或移走鋼瓶而不必調(diào)整鋼瓶f.氣瓶柜要適當(dāng)?shù)拿芊?。?yīng)的氣柜。g.進(jìn)氣窗口要安裝灰塵過(guò)濾器。h.氣瓶架四面不必有面板但必須要有支架。i.所有氣瓶柜應(yīng)該標(biāo)明內(nèi)部存儲(chǔ)氣體的種類及其精確濃度。氣掃或排氣。(2)氣柜門(mén)a.氣柜門(mén)能夠自動(dòng)關(guān)閉，自動(dòng)卡鎖及用鑰匙鎖定。c.所有的氣柜門(mén)及窗子使用同樣的鑰匙。d.氣柜門(mén)能夠平穩(wěn)的打開(kāi)及關(guān)閉,保證于開(kāi)關(guān)是不產(chǎn)生火花。a.操作窗口能夠自動(dòng)關(guān)閉，自動(dòng)卡鎖及用鑰匙鎖定。c.窗口背面要安裝隔離玻璃嵌板。(4)氣瓶柜的排氣裝置節(jié)氣瓶柜內(nèi)適當(dāng)?shù)某轱L(fēng)量。b.排氣狀態(tài)的持續(xù)監(jiān)控信號(hào)要顯示于控制屏上且和控制器聯(lián)動(dòng)以提供抽風(fēng)量不足時(shí)的停機(jī)或報(bào)警選項(xiàng)。(5)氣柜系統(tǒng)設(shè)計(jì)排氣管是否堵塞。b.于更換鋼瓶時(shí)，Pigtail必須保持小流量的PN2吹出。d.盤(pán)面構(gòu)造應(yīng)該盡可能沒(méi)有死角以減少污染和腐蝕的可能。g.調(diào)壓閥要安裝于便于調(diào)節(jié)壓力及維護(hù)的位置。h.必須使用標(biāo)準(zhǔn)結(jié)構(gòu)的部件，以減少死角。i.除了Vent管，不得使用彎管器彎管，壹律使用焊接配件。3.氣瓶柜安全要求時(shí)冷卻氣瓶。同時(shí)要裝有溫度傳感器且和盤(pán)面控制器聯(lián)動(dòng)。于排氣管上。護(hù)型。e.信號(hào)燈（可選項(xiàng)信號(hào)燈的警報(bào)信號(hào)根據(jù)不同的顏色分為f.接地：所有的氣瓶柜/氣瓶架、帶電部件和盤(pán)面必須接地。4.氣瓶柜動(dòng)力需求投標(biāo)方必須考慮氣瓶柜所需求的電源電線連接、工藝管路設(shè)計(jì)、吹掃管路設(shè)計(jì)、真空管路設(shè)計(jì)、壓縮空氣和排風(fēng)系統(tǒng)（包括直接排放部分和需要尾氣處理部分）等等。b.聲光報(bào)警等安裝于有人員操作的潔凈室通道處。c.系統(tǒng)主控制盤(pán)體和人機(jī)界面位于潔凈室內(nèi)。他壹些系統(tǒng)數(shù)據(jù)顯示于監(jiān)控電腦上。6.偵測(cè)器b.偵測(cè)器量程設(shè)定：隔離按鈕能夠隔離報(bào)警信號(hào)的輸出。鳴器啟動(dòng)，同時(shí)關(guān)閉上游相應(yīng)的氣柜。通過(guò)圖控軟件隔離按鈕能夠隔離報(bào)警信號(hào)的輸出。a.主體顯示――廠房的layout圖，設(shè)備的Layout圖；b.細(xì)節(jié)顯示――偵測(cè)器圖符中的讀值顯示，壹段、二段和故障c.趨勢(shì)顯示――顯示偵測(cè)器濃度值的實(shí)時(shí)曲線圖；d.報(bào)警顯示――于即時(shí)窗口顯示相應(yīng)的報(bào)警內(nèi)容；e.歷史記錄――于歷史記錄窗口顯示相應(yīng)的歷史記錄；f.用戶登陸――提供多個(gè)用戶登陸，用戶名和密碼由客戶設(shè)置和更改；8.配管工程：(1)管道總體要求：9.供氣方式b.氣體進(jìn)入設(shè)備機(jī)臺(tái)前,若各機(jī)臺(tái)對(duì)壓力有不同要求,需安裝二次減壓面板。(1)管道、閥門(mén)采用滿足相應(yīng)氣體純度要求的不銹鋼材質(zhì)；之上。(1)氧氣管道和其它氣體管道同架鋪設(shè)時(shí)，其間距不得小于(2)氣體管道不得和電纜、導(dǎo)電線同架鋪設(shè)；橋架有富裕，可滿足將來(lái)壹定的擴(kuò)容要求。(3)穿過(guò)實(shí)驗(yàn)室墻體或樓板的氣體管道應(yīng)敷于預(yù)埋套管內(nèi)，套管內(nèi)的管段不應(yīng)有焊縫、螺紋和法蘭。管道和套管之(4)管道支架為柔性支架，和管道接觸部分不得為碳鋼。(1)設(shè)備上的測(cè)量用儀器儀表及設(shè)備聯(lián)接件使用公制單位。(2)儀器儀表應(yīng)選用優(yōu)質(zhì)品牌，提供有資質(zhì)的檢驗(yàn)合格證。16.焊接要求(1)所有管道焊接均必須于氬氣保護(hù)的環(huán)境下進(jìn)行，包括管道內(nèi)部均要通有氬氣。(2)正式焊接前必須作試焊，試焊樣品交需方保存，于焊接質(zhì)量確定無(wú)問(wèn)題后再正式焊接。(3)焊接必須由資質(zhì)的公司和作業(yè)員來(lái)做，且必須有3個(gè)之上同類工程的經(jīng)驗(yàn)。a.提供使用說(shuō)明書(shū)、維修手冊(cè)、產(chǎn)品檢驗(yàn)證書(shū)、泄漏報(bào)警裝b.管道、閥門(mén)等材質(zhì)證明。c.減壓閥、泄漏報(bào)警裝置、低壓報(bào)警器等各部件均提供檢測(cè)合格證及/或出廠方案。d.提供的方案：開(kāi)工方案、隱蔽工程檢查方案、檢測(cè)方案、竣工方案等。e.竣工時(shí)要給軸測(cè)圖，且標(biāo)注管道的尺寸。2.測(cè)試進(jìn)行殼體壓力試驗(yàn)和密封試驗(yàn)。c.整體管路作氮?dú)獯祾叩奈屙?xiàng)試驗(yàn)。培訓(xùn)；構(gòu)造特點(diǎn)、操作程序及方法、使用操作注意事項(xiàng)、訓(xùn)時(shí)間、課件等由投標(biāo)人自報(bào)，人員不限?；蛸u方用戶等非公司專職技術(shù)人員提供培訓(xùn)，否則用戶方將拒絕接受；培訓(xùn)開(kāi)始前由賣方提供詳細(xì)的培訓(xùn)計(jì)劃大綱，且需得到用戶方認(rèn)可。2.設(shè)備的備件和附件：的備品備件及易損、易耗材料。此項(xiàng)備品備件及易損、易耗材料的名稱、規(guī)格、數(shù)量及單價(jià)應(yīng)詳細(xì)列出清單，作為標(biāo)書(shū)的附件，其報(bào)價(jià)應(yīng)包含于投標(biāo)總價(jià)中，檢驗(yàn)驗(yàn)收應(yīng)和主機(jī)要求壹致。調(diào)試儀器所需耗材由賣方自行負(fù)擔(dān)。列出名稱、規(guī)格、及單價(jià)，價(jià)格不含于投標(biāo)總價(jià)之內(nèi)。賣備保修期滿后3年所需備件的價(jià)格折扣率要大于或等同于維修工夾具，其報(bào)價(jià)包含于投標(biāo)總價(jià)之中，專用工具及維修工夾具名稱、規(guī)格、數(shù)量及單價(jià)應(yīng)詳細(xì)列出清單作為投標(biāo)書(shū)的附件。保稅）倉(cāng)庫(kù),應(yīng)注明倉(cāng)庫(kù)的地點(diǎn)及規(guī)模。3.維護(hù)：賣方必須有專職的工程師，提供專業(yè)的維修服務(wù)和技術(shù)處理，每次維修最多不超過(guò)2個(gè)工作日完成，且保證零配件和消耗性材料的充足供應(yīng)。易耗品和技術(shù)支持需另行提供文件。4.技術(shù)服務(wù)：為了使買方使用儀器設(shè)備達(dá)到最佳效果,確保正常工作,賣方除承擔(dān)安裝、調(diào)試、驗(yàn)收和培訓(xùn)等義務(wù)外，仍將繼續(xù)為買方提供技術(shù)支持。其中仍包括保修期外的修理、技術(shù)指導(dǎo)和配件供應(yīng)。5.技術(shù)資料和圖紙資料：（4）儀器設(shè)備/系統(tǒng)操作維護(hù)說(shuō)明手冊(cè)、編程手冊(cè)、軟硬件說(shuō)明、報(bào)警手冊(cè)等；6.售后服務(wù)和保證設(shè)備發(fā)生任何非誤操作造成的故障和損壞，均由供貨方負(fù)責(zé)免費(fèi)修復(fù)，失效零件予以免費(fèi)更換，更換時(shí)所發(fā)生的商檢、運(yùn)輸、清關(guān)等費(fèi)用均由供貨方負(fù)擔(dān)。若用戶認(rèn)為確需方應(yīng)負(fù)責(zé)壹次免費(fèi)全面檢查，且寫(xiě)出正式方案，如發(fā)現(xiàn)潛于問(wèn)題，應(yīng)負(fù)責(zé)排除。質(zhì)保期結(jié)束后賣方應(yīng)提供終身維保訪?？鄢|(zhì)量保證金金額或保修期延長(zhǎng)待機(jī)時(shí)間的3價(jià)。2(4)設(shè)備整體防腐。(5)必須是全自動(dòng)觸摸屏操