《電子級異丙醇》編制說明

CSTM團體標準《電子級氨水》編制說明

（立項階段□征詢意見階段√審定階段□報批階段□）

1、目的意義

1.1項目提出的背景

電子級異丙醇主要用于液晶面板、集成電路（半導體）、印刷電路板等制程用化學品，

如清洗液。

隨著信息技術的大力發(fā)展，對芯片、顯示屏等需求量巨大。目前，半導體芯片主要依賴

于進口，但是由于中美貿(mào)易戰(zhàn)的發(fā)生導致其電子化學品等相關行業(yè)出現(xiàn)發(fā)現(xiàn)受限且由于國際

市場的限制嚴重的影響了其相關企業(yè)的發(fā)展，電子級異丙醇作為電子化學品行業(yè)尤其是半導

體行業(yè)清洗環(huán)節(jié)必不可少的清洗劑，其高品質(zhì)、高要求的電子級異丙醇成為其在清洗環(huán)節(jié)舉

足輕重的關鍵點。目前研究數(shù)據(jù)表明，電子級異丙醇的品質(zhì)嚴重影響其電子化學品成品的合

格率。隨著國內(nèi)電子級異丙醇市場需求量不斷攀升，需要建立與該行業(yè)適應的質(zhì)量標準控制

要求，可以更為有效的滿足客戶和市場對其質(zhì)量的高標準需求。同時，高標準、高質(zhì)量的電

子級異丙醇對于電子化學品以及其他行業(yè)的發(fā)展，建立電子級異丙醇的團體標準對于該行業(yè)

的有序發(fā)展、規(guī)范必將起到重要的助力作用。

當前電子級異丙醇市場需求穩(wěn)定，生產(chǎn)能力逐年提高，主要產(chǎn)能集中在濱州載元裕能新

材料科技有限公司、浙江建業(yè)微電子材料有限公司、深圳新宙邦科技股份有限公司、江陰江

化微電子材料股份有限公司、江蘇達諾爾科技股份有限公司、蘇州晶瑞化學股份有限公司等

企業(yè)中。

目前國內(nèi)外生產(chǎn)工業(yè)級異丙醇的生產(chǎn)方法主要分為丙烯水合法、丙酮加氫法、乙酸異丙

酯氫化法。工業(yè)用異丙醇目前發(fā)布實施的國家標準為GB/T7814-2017工業(yè)用異丙醇。

電子級異丙醇以工業(yè)級異丙醇為原料，經(jīng)加熱氣化、精餾提純、過濾純化制得。電子級

異丙醇主要用于液晶面板、集成電路（半導體）、印刷電路板等制程用化學品，如清洗液。

1.2標準制定可行性

1.2.1標準所采取的技術符合行業(yè)主流發(fā)展方向和國家發(fā)展戰(zhàn)略.

1.2.2國內(nèi)企業(yè)具備制訂本標準的技術基礎。

1.3制定標準的目的和意義

1.3.1確保產(chǎn)品質(zhì)量

對產(chǎn)品技術要求、相應的檢測方法及包裝、運輸、貯存等提出要求。

1.3.2促進生產(chǎn)企業(yè)質(zhì)量管理的科學化和規(guī)范化

目前我國同類型生產(chǎn)企業(yè)經(jīng)營管理水平及條件設備參差不齊。實施產(chǎn)品標準將會提高生

產(chǎn)企業(yè)加強自身質(zhì)量管理的自覺性，提高質(zhì)量管理水平。

1.3.3有利于產(chǎn)品進入國際市場

產(chǎn)品的質(zhì)量可以成為衡量一個企業(yè)經(jīng)營管理優(yōu)劣的重要依據(jù)，產(chǎn)品標準的發(fā)布實施將會

提高我國同類型產(chǎn)品在國際貿(mào)易中的競爭力。

1.3.4提高相關部門對生產(chǎn)企業(yè)進行監(jiān)督檢查的水平

14

可使相關部門對產(chǎn)品生產(chǎn)企業(yè)的監(jiān)督檢查工作更具科學性和針對性，提高對行業(yè)企業(yè)的

監(jiān)督管理水平。

1.3.5促進生產(chǎn)企業(yè)的公平競爭

產(chǎn)品標準勢必提高產(chǎn)品的質(zhì)量，從而帶來良好的市場信譽和經(jīng)濟效益，同時也能起到樣

板作用，調(diào)動落后企業(yè)執(zhí)行產(chǎn)品標準的積極性。通過加強產(chǎn)品的監(jiān)督檢查，還可以淘汰一些

不具備生產(chǎn)條件的企業(yè)，起到扶優(yōu)劣汰的作用。

以市場需求為導向，圍繞標準與創(chuàng)新技術相結(jié)合，開展新業(yè)態(tài)、新技術、新產(chǎn)品或新應

用及高質(zhì)量、高效率標準的制（修）定，達到引領市場、規(guī)范市場、促進創(chuàng)新成果產(chǎn)業(yè)化落

地的目的。主要介紹標準的立項背景，包括國內(nèi)外概況、社會需求、存在問題、技術優(yōu)勢等。

2、預期的社會效益、經(jīng)濟效益

2.1擬解決主要問題

隨著國內(nèi)電子級異丙醇市場需求量不斷攀升，需要建立與該行業(yè)適應的質(zhì)量標準控制要

求。

建立和規(guī)范產(chǎn)品要求，有助于有效指導工藝生產(chǎn)、產(chǎn)品市場推廣，提高產(chǎn)品質(zhì)量，從而

進一步提升行業(yè)品質(zhì)水平，滿足下游客戶不斷提升的品質(zhì)需求，推動產(chǎn)業(yè)升級和可持續(xù)發(fā)展，

減少貿(mào)易摩擦和提高國際市場競爭力?？梢愿鼮橛行У臐M足客戶和市場對其質(zhì)量的高標準需

求。

本擬定標準依據(jù)行業(yè)內(nèi)最新技術水平制定，性能指標通過大量的試驗驗證，選擇的試驗

方法具有可行性。充分考慮了用戶的需求，符合我國當前的技術發(fā)展要求。

2.2預期的社會效益、經(jīng)濟效益

目前雖有該產(chǎn)品的工業(yè)級國家標準，但半導體行業(yè)發(fā)展迅速，半導體芯片產(chǎn)業(yè)對電子級

異丙醇從技術指標和試驗方法提出了更為嚴格的要求，以至于各企業(yè)依據(jù)客戶要求組織生

產(chǎn)，但是未形成統(tǒng)一的指標要求。制定該行業(yè)的團體標準對于我國工業(yè)發(fā)展質(zhì)量的提高以及

電子化學品中高端價值鏈的實現(xiàn)將有事半功倍的推動作用。

實現(xiàn)電子級異丙醇生產(chǎn)標準的自主化且實現(xiàn)與國際市場標準的一致性，有利于提高其在

國際市場中的競爭力，有效的減少其電子化學品行業(yè)對于該產(chǎn)品依賴于進口的局面。同時，

能有效緩解由于貿(mào)易戰(zhàn)引起國內(nèi)企業(yè)生產(chǎn)發(fā)展受限的問題，實現(xiàn)下游企業(yè)原料的國產(chǎn)自主化

替代問題，有效促進國內(nèi)企業(yè)發(fā)展的良性循環(huán)。該標準的建立能有效遏制其高端產(chǎn)品依賴于

進口的局面，對于整個電子化學品行業(yè)乃至下游企業(yè)的發(fā)展會產(chǎn)生良好社會效益和經(jīng)濟效

益。

3、工作簡況

3.1任務來源

標準項目名稱：電子級異丙醇。

根據(jù)CSTM標準委員會的文件《關于CSTM標準<電子級異丙醇>的立項公告（材試標字

[2022]192號）》的要求，由濱州載元裕能新材料科技有限公司作為主起草單位承擔本標準

的制定工作。計劃編號為CSTMLX050001041-2022，完成時間為2023年。

3.2協(xié)作單位

接到任務后，本標準牽頭單位組建了本擬定標準起草工作組。

主要承辦單位：濱州載元裕能新材料科技有限公司、浙江建業(yè)新材料有限公司、江化微

（鎮(zhèn)江）電子材料有限公司等單位。

協(xié)作單位：晶瑞（湖北）電子材料有限公司、聯(lián)仕昆山化學材料有限公司、濮陽邁奇化

學股份有限公司、江蘇美陽電子材料有限公司、浙江聯(lián)盛化學股份有限公司。

3.3主要工作過程

3.3.1起草階段

本擬定標準經(jīng)過了前期的調(diào)研、查閱國內(nèi)外相關標準及技術資料，于2022年6月召開

的CSTM/FC05/TC04化學試劑標準化技術委員會團體標準立項會議上立項，6月CSTM標委會

批準立項并進行公示，隨后我們成立標準起草工作組，制定工作計劃，工作步驟及工作進度，

并對各生產(chǎn)單位及委員發(fā)出標準征詢函，征詢各主要生產(chǎn)廠家的生產(chǎn)工藝、近三年的產(chǎn)量等，

然后通過實驗驗證，編制了電子級氨水征求意見稿、編制說明及實驗報告。

3.3.2征求意見階段

本擬定標準于2023年11完成標準征求意見稿，CSTM化工材料領域橡膠標準化技術委員會

秘書處向全體委員單位及社會上公開征求意見。

3.3.3標準起草單位和工作組成員

主要協(xié)作起草單位：濱州載元裕能新材料科技有限公司、浙江建業(yè)新材料有限公司、江

化微（鎮(zhèn)江）電子材料有限公司、晶瑞（湖北）電子材料有限公司、聯(lián)仕昆山化學材料有限

公司、濮陽邁奇化學股份有限公司、江蘇美陽電子材料有限公司、浙江聯(lián)盛化學股份有限公

司。

起草工作組主要成員：宋彥磊、鐘九生、顧燕玲、張嘯虎、付登等。主要負責本擬定標

準項目的總體規(guī)劃，各階段標準文本的編寫和修改以及實驗數(shù)據(jù)收集、整理和分析工作；其

他參與單位參與各階段標準的編寫和修改，負責對標準內(nèi)容的確認、審核及出具意見。

4、標準編制的原則

4.1制修訂標準的依據(jù)

按照GB/T1.1—2020《標準化工作導則第1部分：標準化文件的結(jié)構和起草規(guī)則》和

GB/T20001.10—2014《標準編寫規(guī)則第10部分：產(chǎn)品標準》的規(guī)定起草本標準。

制定本擬定標準的原則是務實求新，制定適用于電子級異丙醇的標準，性能指標通過大

量的試驗驗證，選擇的試驗方法具有可行性。通過本擬定標準的制定，適度提升產(chǎn)品的技術

要求并給技術的發(fā)展留有空間，使其更適合產(chǎn)業(yè)發(fā)展。

4.2制修訂標準的原則

4.2.1標準要具有科學性、先進性和可操作性?？茖W性是指新標準的指標值確定應有充分依

據(jù)，新標準有利于新產(chǎn)品開發(fā)，有利于產(chǎn)品質(zhì)量的提高；先進性是指新標準要盡可能采用國

際標準或發(fā)達國家標準；可操作性是指新標準不能脫離我國國情，70％企業(yè)能做到，30％企

業(yè)需要經(jīng)過努力才能做到。

4.2.2與相關標準法規(guī)協(xié)調(diào)一致。與現(xiàn)有的相關標準，包括產(chǎn)品標準和檢驗方法以及安全生

產(chǎn)法、產(chǎn)品質(zhì)量法等相關法規(guī)要相一致。

4.2.3促進行業(yè)健康發(fā)展與技術進步。制定產(chǎn)品標準，有利于促進技術進步，提高產(chǎn)品質(zhì)量，

應符合企業(yè)、用戶要求，保護消費者利益，成為對最終產(chǎn)品的被動管控轉(zhuǎn)向?qū)φ麄€生產(chǎn)過程

實施主動標準化管控的標志。

5、確定標準主要技術內(nèi)容的依據(jù)

5.1標準主要技術內(nèi)容制定參考依據(jù)

5.1.2國內(nèi)生產(chǎn)企業(yè)及下游用戶要求，調(diào)查階段收到的建議。

5.1.3相關產(chǎn)品標準、指標，企業(yè)標準。

企業(yè)標準：Q/BJY濱州載元裕能新材料科技有限公司等。

國家標準：GB/T7814-2017工業(yè)用異丙醇。

行業(yè)標準：T/JSSES12-2021電池制造、電子器件制造行業(yè)用異丙醇再生液。

國際標準參考資料：SEMI指標。韓國企業(yè)產(chǎn)品指標。

5.1.4生產(chǎn)廠家多批次試驗數(shù)據(jù)、產(chǎn)品質(zhì)量報告（參見附錄）。

5.2標準主要內(nèi)容

5.2.1標準的范圍

本文件規(guī)定了電子級異丙醇的命名、技術要求、試驗方法、檢驗規(guī)則、標志、包裝、運

輸和貯存。

本文件適用于以工業(yè)級異丙醇為原料，經(jīng)提純制得的電子級異丙醇。主要用作液晶面板、

集成電路（半導體）、印刷電路板等制程用化學品。

5.2.2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構成本文件必不可少的條款。其中，注日期

的引用文件，僅該日期對應的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括

所有的修改單）適用于本文件。

GB190危險貨物包裝標志

GB/T601化學試劑標準滴定溶液的制備

GB/T602化學試劑雜質(zhì)測定用標準溶液的制備

GB/T603化學試劑試驗方法中所用制劑及制品的制備

GB/T3143液體化學試劑產(chǎn)品顏色測定法(Hazen單位-鉑-鈷色號)

GB/T3723工業(yè)用化學產(chǎn)品采樣安全通則

GB/T6324.8有機化工產(chǎn)品試驗方法第8部分：液體產(chǎn)品水分測定卡爾.費休庫侖電

量法

GB/T6678化工產(chǎn)品采樣總則

GB/T6680液體化工產(chǎn)品采樣通則

GB/T6682分析實驗室用水規(guī)格和試驗方法

GB/T7814—2017工業(yè)用異丙醇

GB/T8170數(shù)值修約規(guī)則與極限數(shù)值的表示和判定

GB/T9722化學試劑氣相色譜法通則

GB/T11446.1電子級水

SJ/T11637電子化學品電感耦合等離子體質(zhì)譜法通則

SJ/T11638電子化學品中顆粒的測試方法

GB/T13508聚乙烯吹塑容器

GB13690化學品分類和危險性公示通則

GB18564.1道路運輸液體危險貨物罐式車輛第1部分：金屬常壓罐體技術要求

GB30000.7化學品分類和標簽規(guī)范第7部分：易燃液體

GB/T34672化學試劑離子色譜法測定通則

GB/T50591潔凈室施工及驗收規(guī)范

5.2.3技術要求

電子級異丙醇的技術指標應符合表1的規(guī)定。

表1電子級異丙醇的技術指標

指標

項目

I級II級III級

外觀無色透明液體

異丙醇/wt，%≥99.9999.9899.95

丙酮/wt，%≤0.00020.00100.0030

正丙醇/wt，%≤0.00050.00150.0030

水分/wt，%≤0.00500.00700.0100

色度，Hazen單位（鉑-鈷色號）≤5510

酸度（以CH3COOH計），mg/kg≤3510

氯化物（以Cl-計），μg/kg≤11020

硝酸鹽（以NO3-計），μg/kg≤11020

硫酸鹽（以SO42-計），μg/kg≤11020

3-

磷酸鹽（以PO4計），μg/kg≤11020

銀（Ag），ng/kg≤5100300

鋁（Al），ng/kg≤5100300

砷（As），ng/kg≤5100300

金（Au），ng/kg≤5100300

硼（B），ng/kg≤50300500

鋇（Ba），ng/kg≤5100300

鈣（Ca），ng/kg≤5200500

鎘（Cd），ng/kg≤5100300

鈷（Co），ng/kg≤5100300

鉻（Cr），ng/kg≤5100300

銅（Cu），ng/kg≤5100300

鐵（Fe），ng/kg≤10300500

鎵（Ga），ng/kg≤5100300

鍺（Ge），ng/kg≤5100300

鉀（K），ng/kg≤10100300

鋰（Li），ng/kg≤5100300

鎂（Mg），ng/kg≤5100300

錳（Mn），ng/kg≤5100300

鈉（Na），ng/kg≤10200500

鎳（Ni），ng/kg≤5100300

指標

項目

I級II級III級

鉛（Pb），ng/kg≤5100300

錫（Sn），ng/kg≤5100300

鍶（Sr），ng/kg≤5100300

鈦（Ti），ng/kg≤5100300

鎢（W），ng/kg≤5100300

鋅（Zn），ng/kg≤5100300

≥0.5μm，個/mL≤1050100

顆粒數(shù)

≥0.3μm，個/mL≤50200500

5.2.4產(chǎn)品分類

電子級異丙醇按純度、金屬、顆粒等指標分為Ⅰ級、Ⅱ級和Ⅲ級共3個等級。I級主要

用于半導體行業(yè)；II級主要用于高制程面板行業(yè)；III級主要用于低制程面板行業(yè)。

5.2.5指標項目的確定

通過對國內(nèi)外標準資料的檢索，目前沒有查閱到對應的國際標準或國外先進標準，本次

標準制定主要根據(jù)搜集到的國內(nèi)主要生產(chǎn)企業(yè)企標或產(chǎn)品指標、國內(nèi)生產(chǎn)實際情況和用戶的

要求確定相應的指標。

根據(jù)標準制定工作組會議討論，擬設置外觀、異丙醇、丙酮、正丙醇、水分、色度、酸

度、氯化物、硝酸鹽、硫酸鹽、磷酸鹽、顆粒數(shù)及金屬元素銀、鋁、砷、金、硼、鋇、鈹、

鉍、鈣、鎘、鈷、鉻、銅、鐵、鎵、鍺、鉀、鋰、鎂、錳、鈉、鎳、鉛、銻、錫、鍶、鈦、

鎢、鋅多項指標。

5.2.6指標參數(shù)的確定

5.2.6.1外觀

外觀用于對產(chǎn)品是否正常、是否有其它機械雜質(zhì)混入進行直觀和定性的考察。生產(chǎn)工藝

不同，生產(chǎn)出的產(chǎn)品顏色存在差異。大部分企業(yè)標準中均設置外觀指標。

本標準規(guī)定其外觀為無色透明液體，無可見機械雜質(zhì)

5.2.6.2異丙醇、丙酮、正丙醇

異丙醇、丙酮、正丙醇：

異丙醇作為高純度試劑純度需要在99.95%以上，但是丙酮和正丙醇作為其合成過程中的

必須存在的雜質(zhì)其雜質(zhì)的大小會影響其純度的降低，且會影響其在后期清洗過程中的清洗效

果。

5.2.6.3水分

水分：水分可以與某些化學物質(zhì)反應，導致純度降低。過多的水分可能會影響化學品的

物理性質(zhì)，為了確保電子化學品的質(zhì)量，需要對制備過程中的水分進行嚴格的控制。本擬定

標準中，I級≤0.0050%、II級≤0.0070%、III級≤0.0100%。

5.2.6.4色度

色度：色度的對濕電子化學品產(chǎn)品質(zhì)量的意義主要體現(xiàn)在色度可以反映出產(chǎn)品的純度，

因此，通過嚴格控制色度，可以確保產(chǎn)品純度的一致性。本擬定標準中，I級≤5、II級≤5、

III級≤10。

5.2.6.5酸度

酸度：酸度控制可以確保產(chǎn)品的穩(wěn)定性以及一致性。具有特定酸度的化學品能夠更好地

滿足工藝需求。良好的酸度控制還能避免產(chǎn)品變質(zhì)或失效的可能性。本擬定標準中，I級≤

3mg/kg、II級≤5mg/kg、III級≤10mg/kg。

5.2.6.6氯化物

氯化物：氯化物等負離子污染物在半導體制程生產(chǎn)中會造成漏電、侵蝕和金屬物質(zhì)的

電離等影響，故根據(jù)半導體產(chǎn)業(yè)用戶對產(chǎn)品的需求，本標準對電子級異丙醇中氯化物指標劃

分為Ⅰ級≤1ng/kg、Ⅱ級≤10ng/kg、Ⅲ級≤20ng/kg三個級別。

5.2.6.7硝酸鹽

硝酸鹽：硝酸鹽、等負離子污染物在半導體制程生產(chǎn)中會造成漏電、侵蝕和金屬物質(zhì)

的電離等影響，故根據(jù)半導體產(chǎn)業(yè)用戶對產(chǎn)品的需求，本標準對電子級異丙醇中硝酸鹽指標

劃分為Ⅰ級≤1ng/kg、Ⅱ級≤10ng/kg級、Ⅲ級≤20ng/kg三個級別。

5.2.6.8硫酸鹽

硫酸鹽：硫酸鹽等負離子污染物在半導體制程生產(chǎn)中會造成漏電、侵蝕和金屬物質(zhì)的電

離等影響，故根據(jù)半導體產(chǎn)業(yè)用戶對產(chǎn)品的需求，本標準對電子級異丙醇中硫酸鹽指標劃分

為Ⅰ級≤1ng/kg、Ⅱ級≤10ng/kg、Ⅲ級≤20ng/kg三個級別。

5.2.6.9磷酸鹽

磷酸鹽：磷酸鹽等負離子污染物在半導體制程生產(chǎn)中會造成漏電、侵蝕和金屬物質(zhì)的電

離等影響，故根據(jù)半導體產(chǎn)業(yè)用戶對產(chǎn)品的需求，本標準對電子級異丙醇中磷酸鹽指標劃分

為Ⅰ級≤1ng/kg、Ⅱ級≤10ng/kg、Ⅲ級≤20ng/kg三個級別。

5.2.6.10顆粒數(shù)

顆粒數(shù)：在半導體制程工藝中，需要在納米級別尺度生產(chǎn)和加工集成電路，極其微小的

粒子污染就會嚴重影響產(chǎn)品的質(zhì)量，大大降低產(chǎn)品良率。本標準結(jié)合半導體產(chǎn)業(yè)用戶對產(chǎn)品

的需求，對電子級異丙醇中顆粒物指標劃分為Ⅰ級、Ⅱ級、Ⅲ級三個級別。

表2顆粒數(shù)

項目I級II級III級

≥0.5μm，個/mL≤1050100

顆粒數(shù)

≥0.3μm，個/mL≤50200500

5.2.6.11金屬元素

金屬元素：隨著半導體制程線寬已達納米級別，細微的金屬污染都可能改變半導體的性

質(zhì)，電子級異丙醇是芯片濕法清洗的關鍵材料，需要直接與硅片接觸，其金屬離子的控制對

于確保產(chǎn)品良率至關重要。結(jié)合半導體產(chǎn)業(yè)用戶對產(chǎn)品的需求，本標準對電子級異丙醇金屬

元素劃分為了Ⅰ級、Ⅱ級、Ⅲ級三個級別。

5.2.7產(chǎn)品測試方法

5.2.7.1外觀的測定

取適量樣品置于50mL燒杯中，在日光燈或自然光下目測觀察。

5.2.7.2異丙醇、正丙醇及丙酮等雜質(zhì)質(zhì)量分數(shù)的測定

采用氣相色譜法，在選定的工作條件下，將試樣氣化后通過色譜柱，使待測定的各組分

分離，用氫火焰離子化檢測器檢測，采用面積歸一法計算異丙醇、正丙醇及丙酮等雜質(zhì)的質(zhì)

量分數(shù)。

5.2.7.3水分的測定

樣品稱取量為0.5g～3g（精確至0.0001g）,按GB/T6324.8的規(guī)定進行測定。

5.2.7.4色度的測定

按GB/T6324.6的規(guī)定進行測定，或按GB/T3143的規(guī)定進行測定。

GB/T6324.6規(guī)定的方法為仲裁法。

5.2.7.5酸度的測定

按GB/T7814—2017中5.7的規(guī)定進行測定。

5.2.7.6陰離子的測定

按GB/T34672的規(guī)定進行測定，相應的檢測環(huán)境應符合GB50591規(guī)定的潔凈度等級為5

級的要求。

5.2.7.7金屬離子的測定

按SJ/T11637的規(guī)定進行，相應的檢測環(huán)境應符合GB50591規(guī)定的潔凈度等級為5級的

要求。直接進樣，有機方法。

5.2.7.8顆粒數(shù)的測定

按SJ/T11638的規(guī)定進行，相應的檢測環(huán)境應符合GB50591規(guī)定的潔凈度等級為5級的

要求。

5.2.7.9等效說明

允許采用等效檢驗方法，但在出現(xiàn)爭議時應以本標準規(guī)定的檢驗方法為基準方法。

5.2.8檢驗規(guī)則

5.2.8.1出廠檢驗

本文件第4章規(guī)定的項目均為出廠檢驗項目，出廠檢驗每批都進行檢測金屬含量。

5.2.9標志、包裝、運輸、貯存

結(jié)合行業(yè)實際特點，對標志、包裝、運輸、貯存、安全作出規(guī)定。

6、主要試驗（或驗證）情況分析

1、重點生產(chǎn)企業(yè)產(chǎn)品檢驗檢測數(shù)據(jù)

參見附錄試驗報告。

2、結(jié)果分析

通過國內(nèi)幾家重點生產(chǎn)企業(yè)提供的對電子級異丙醇檢驗檢測多批次數(shù)據(jù)進行比對，可以

得到本擬定標準的技術指標數(shù)據(jù)符合國內(nèi)產(chǎn)品的生產(chǎn)現(xiàn)狀要求，檢驗檢測方法可以滿足實際

生產(chǎn)、銷售、下游用戶的應用要求，試驗方法可行。

7、與國際、國外同類標準水平的對比情況

電子級異丙醇大多使用國際半導體設備和材料組織（SEMI）規(guī)定的標準，本標準技術水

平達到國際同類產(chǎn)品的先進水平。

本標準指標與國際半導體設備和材料組織（SEMI）相比，多了還原物質(zhì)、顆粒度、Ag、

Au、Ba、Be、Bi等18種元素的要求。檢測方法與SEMI相比僅存在一些微小差異，測定方法中

涉及有國標或行標通則的，都采用通則測定。

本標準與相關標準主要參數(shù)對比見表3。

表3本標準與相關標準主要參數(shù)對比表

企業(yè)標準

國家標準

擬立項標準指標Q-321112

GB/T7814-2017

項目CJE006-2018

III

I型II型III型-

E1E2優(yōu)等品合格品

異丙醇w/%≥99.9999.9899.9599.999.999.999.999.7

丙酮w/%≤0.00020.00100.0030-----

正丙醇w/%≤0.00050.00150.0030------

水分，mg/kg≤5070100100100050010002000

色度，Hazen單位

≤551010551010

（鉑-鈷色號）

酸度（以CH3COOH

≤3510515152020

計），mg/kg

氯化物（以Cl-

≤110201020050--

計），μg/kg

硝酸鹽（以NO3-

≤1102010------

計），μg/kg

硫酸鹽（以SO42-

≤110201020050--

計），μg/kg

磷酸鹽（以PO43-

≤1102010----

計），μg/kg

銀（Ag），ng/kg≤5100300100--104--

鋁（Al），ng/kg≤5100300100105104--

砷（As），ng/kg≤5100300100--104--

金（Au），ng/kg≤5100300100--104--

硼（B），ng/kg≤50300500100--104--

鋇（Ba），ng/kg≤5100300100105104--

鈣（Ca），ng/kg≤5200500100105104--

鎘（Cd），ng/kg≤5100300100--104--

鈷（Co），ng/kg≤5100300100------

鉻（Cr），ng/kg≤5100300100--104--

銅（Cu），ng/kg≤5100300100105104--

鐵（Fe），ng/kg≤10300500100105104--

鎵（Ga），ng/kg≤5100300100------

鍺（Ge），ng/kg≤5100300100--104--

鉀（K），ng/kg≤10100300100-104--

鋰（Li），ng/kg≤5100300100--104--

鎂（Mg），ng/kg≤5100300100105104--

錳（Mn），ng/kg≤5100300100105----

鈉（Na），ng/kg≤10200500100105----

鎳（Ni），ng/kg≤5100300100105----

鉛（Pb），ng/kg≤5100300100105104--

企業(yè)標準

國家標準

擬立項標準指標Q-321112

GB/T7814-2017

項目CJE006-2018

III

I型II型III型-

E1E2優(yōu)等品合格品

錫（Sn），ng/kg≤5100300100--104--

鍶（Sr），ng/kg≤5100300100--104--

鈦（Ti），ng/kg≤5100300100--104--

鎢（W），ng/kg≤5100300-----

鋅（Zn），ng/kg≤5100300100105104--

≥0.5μm，個

顆≤105010020----

/mL

粒

≥0.3μm，個

數(shù)≤50200500-----

/mL

8、與有關的現(xiàn)行法律、法規(guī)和強制性國家標準的關系

本標準充分參照相關國家標準進行制定，不違背現(xiàn)行相關法律、法規(guī)和強制性標準。本

標準在編制過程中，有關條款參照了現(xiàn)有國家標準或行業(yè)標準，盡量避免重復，力求簡化。

內(nèi)容上力求突出電子級氨水的性能技術要求及其試驗方法，層次上盡量體現(xiàn)與各標準之間的

銜接配套關系。

9、知識產(chǎn)權情況說明

經(jīng)中華人民共和國國家知識產(chǎn)權局專利檢索，本標準不涉及專利。

10、重大分歧意見的處理經(jīng)過和依據(jù)

無。

11、貫徹標準的要求和措施建議

本標準為國內(nèi)首次制定，建議化工材料標準化委員會秘書處在標準頒布后及時組織相

關標準宣貫活動，讓相關生產(chǎn)企業(yè)及相關用戶及時了解到標準最新信息，了解熟悉檢測新

技術并能更好地應用于日常質(zhì)量控制之中，推動標準的順利實施。

12、替代或廢止現(xiàn)行有關標準的建議

本標準是新制定評定電子級氨水的產(chǎn)品標準，所以不涉及廢止現(xiàn)行相關標準的建議。

13、其他應予說明的事項

無。

附錄：產(chǎn)品多批次檢測數(shù)據(jù)

表1江陰江化微公司多批次產(chǎn)品檢測數(shù)據(jù)

批號12345678

無色透明無色透明無色透明無色透明無色透明無色透明無色透明無色透明

外觀

液體液體液體液體液體液體液體液體

異丙醇含量

99.99699.99799.99399.99299.99199.99799.99399.998

%99.99-

水份

0.0040.0040.0040.0040.0040.0040.0040.004

%-0.005

色度

黑曾（Hazen）<5<5<5<5<5<5<5<5

-5

酸度(以H+計)

mmol/100g-0.0100.0120.0120.0100.0100.0100.0100.010

0.015

氯化物(Cl)

<50<50<50<50<50<50<50<50

ppb-50

硝酸鹽(NO3)

<50<50<50<50<50<50<50<50

ppb-50

硫酸鹽(SO4)

<50<50<50<50<50<50<50<50

ppb-50

磷酸鹽(PO4)

<10<10<10<10<10<10<10<10

ppb-10

銀(Ag)

<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01

ppb-0.1

鋁(Al)

<0.01<0.010.020<0.010.0510.0150.092<0.01

ppb-0.1

砷(As)

0.0110.0150.0120.014<0.01<0.01<0.010.011

ppb-0.1

金(Au)

<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01

ppb-0.1

硼(B)

0.0920.0870.0700.0670.0700.0900.0730.066

ppb-0.1

鋇(Ba)

<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01

ppb-0.1

鈣(Ca)

0.0600.0500.0500.0550.0600.0430.0910.054

ppb-0.1

鎘(Cd)

<0.01<0.010.012<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01

ppb-0.1

鈷(Co)

<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01

ppb-0.1

鉻(Cr)

0.0120.0120.0150.0130.0160.0110.0180.021

ppb-0.1

銅(Cu)

<0.010.0130.021<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01

ppb-0.1

鐵(Fe)

<0.01<0.010.0190.0140.0190.0160.011<0.01

ppb-0.1

鎵(Ga)

<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01

ppb-0.1

鍺(Ge)

<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01

ppb-0.1

鉀(K)

<0.01<0.010.0120.015<0.010.069<0.01<0.01

ppb-0.1

鋰(Li)

<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01

ppb-0.1

鎂(Mg)

<0.010.013<0.010.0210.0120.0230.0110.020

ppb-0.1

錳(Mn)

<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01

ppb-0.1

鈉(Na)

0.0180.0260.0180.0270.0190.024<0.010.028

ppb-0.1

鎳(Ni)

<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01

ppb-0.1

鉛(Pb)

<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01

ppb-0.1

錫(Sn)

<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01

ppb-0.1

鍶(Sr)

<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01

ppb-0.1

鈦(Ti)

<0.01<0.01<0.01<0.010.013<0.010.013<0.01

ppb-0.1

鋅(Zn)

<0.010.0250.070<0.010.034<0.01<0.01<0.01

ppb-0.1

鎢(W)ppb-<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01<0.01

顆粒(≥0.5μm)

4.81.51.13.51.81.83.61.7

個/mL-

顆粒(≥0.3μm)

14.34.15.313.14.85.88.65.1

個/mL-15

表2濱州載元裕能公司多批次產(chǎn)品檢測數(shù)據(jù)

序號1234567

無色透明無色透明無色透無色透明無色透明無色透明無色透明

外觀

液體液體明液體液體液體液體液體

IPA/%99.993899.995699.98799.996599.995599.996199.9946

丙酮/%000.000190000

正丙醇/%0000000

水分mg/kg49403858505236

色度Hazen1.71.20.60.700.91.6

酸度（以CH3COOH）計mg/kg4.674.925.375.484.33.786.95

0.1or0.1or0.1or0.1or

氯化物（以Cl-計）μg/kg0.420.270.34

lesslesslessless

0.1or0.1or0.1or0.1or

硝酸鹽（以NO3-計）μg/kg0.190.210.79

lesslesslessless

0.1or0.1or0.1or0.1or

硫酸鹽（以SO42-計）μg/kg0.320.450.91

lesslesslessless

0.1or0.1or0.1or0.1or

3-

磷酸鹽（以PO4計）μg/kg0.280.620.63

lesslesslessless

1or

銀（Ag）ng/kg245424

less

1or1or1or1or

鋁（Al）ng/kg596

lesslesslessless

1or1or1or1or1or

砷（As）ng/kg